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本发明公开了一种片状晶圆加工用的载具，包括开口方向朝上的壳体，壳体内设有用于调节产品水平倾角的调节机构，所述壳体内灌入磁流变液，以使得所述调节机构浸没于磁流变液内，当产品的下部连接于调节机构上时所述调节机构驱使产品摆动至设定位置后静置，且所...
该专利属于韩赛所有，仅供学习研究参考，未经过韩赛授权不得商用。

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