The invention provides a multi-layer crucible and a manufacturing method thereof. The multi-layer crucible is composed of at least two crucible layers, wherein the outer crucible layer located in the outer side of the adjacent two crucible layers is attached to the outer wall of the inner crucible layer. The multi-layer crucible provided by the invention and its manufacturing method have the advantages of simple structure, high utilization ratio and low cost.
【技术实现步骤摘要】
一种多层坩埚及其制造方法
本专利技术涉及坩埚
，尤其涉及一种多层坩埚及其制造方法。
技术介绍
本专利技术对于
技术介绍
的描述属于与本专利技术相关的相关技术，仅仅是用于说明和便于理解本专利技术的
技术实现思路
，不应理解为申请人明确认为或推定申请人认为是本专利技术在首次提出申请的申请日的现有技术。热解氮化硼(简称PBN)坩埚由PBN制成，即使在高温下，也不会与原料化合物反应，同时PBN坩埚纯度高(99.999％)，表面致密，耐高温，热膨胀系数小，热导率高，且有着明显的各向异性，浸润角大等优点。热解法制备的BN坩埚具有自身纯度高、较高的高温性能等优点。但有时，坩埚内的原料经过高温加热后会粘结在坩埚内壁上，不易分离，且由于原料的膨胀率与坩埚的膨胀率相差较大，导致冷却时造成坩埚破裂，从而需要更换新的坩埚，坩埚整体的利用率低。例如，铝或银在坩埚内进行高温加热蒸发后，残余的铝或银液体会粘结在坩埚内壁上，低温冷却收缩后会使坩埚破裂，致使坩埚只能报废，不能再次利用，这会使坩埚的利用率降低，并且更换坩埚需要时间，会降低生产效率，提高生产成本。
技术实现思路
为了解决坩埚利用率低的问题，...
【技术保护点】
1.一种多层坩埚，其特征在于，所述多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。
【技术特征摘要】
1.一种多层坩埚，其特征在于，所述多层坩埚由至少两个坩埚层构成，其中相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。2.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，相邻两个坩埚层中位于外侧的坩埚层通过化学气相沉积法附着在位于内侧的坩埚层的外壁上。3.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，所述坩埚为气相沉积而成的氮化硼坩埚。4.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，构成所述多层坩埚的至少两个坩埚层中最外侧的坩埚层的厚度占所述多层坩埚总厚度的二分之一至四分之三。5.根据权利要求1所述的多层坩埚，其特征在于，构成所述多层坩埚的至少两个坩埚层中，除了最外侧的坩埚层，其他坩埚层的厚度基本相同，所述基本相同是指所述其他坩埚层每一层的实际厚度与所述其他坩埚层的总厚度除以所述其他坩埚层的层数所得平均后的厚度差不超过10％。...
【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇天津半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：天津,12
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。