一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管制造技术

一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管，属于半导体器件技术领域。本发明专利技术提供的双栅隧穿场效应晶体管中，第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域，第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域，第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆盖的沟道区上表面和部分漏区上表面，第二漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第二沟道区氧化层覆盖的沟道区下表面和部分漏区下表面，且第一漏区氧化层的厚度大于第一沟道区氧化层，第二漏区氧化层的厚度大于第二沟道区氧化层。该双栅隧穿场效应晶体管在不影响器件的开态电流的前提下，有效地抑制了器件的双极性电流，保证器件具有较好的开关特性，可应用于大规模集成电路中。

A dual gate tunable transistor for effectively suppressing bipolar current

The utility model relates to a double gate tunneling field effect transistor which can effectively suppress bipolar current, and belongs to the technical field of semiconductor devices. In the double gate tunneling field effect transistor provided by the invention, the oxide layer of the first channel area covers the upper surface area of the channel area, the oxide layer of the second channel area covers the lower surface area of the channel area, and the oxide layer of the first leakage area covers the upper surface of the channel area and part of the leakage area of the channel area which is not covered by the oxide layer of the first channel area. On the surface, the oxide layer of the second leakage zone is covered on the lower surface of the channel zone and part of the lower surface of the leakage zone which is not covered by the oxide layer of the second channel zone, and the oxide layer of the first leakage zone is thicker than the oxide layer of the first channel zone, and the oxide layer of the second leakage zone is thicker than the oxide layer of the second channel zone. The double gate tunneling field effect transistor can effectively suppress the bipolar current of the device without affecting the on-state current of the device, and ensure the device has good switching characteristics, so it can be used in large scale integrated circuits.

【技术实现步骤摘要】
一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管
本专利技术属于半导体器件
，涉及一种双栅隧穿场效应晶体管，具体涉及一种能够有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管。
技术介绍
随着微电子工艺的进步，器件的特征尺寸越来越小，对功耗的要求也越来越高。但是目前，电路中普遍采用的MOS晶体管由于漂移扩散的物理机制的限制，其亚阈值摆幅在常温下始终不能低于60mV/dec，无法随着器件的小型化而同步减小，漏致势垒降低、带带隧穿等效应会使得器件的关态泄露电流不断增大，增加了器件的功耗。为了降低器件的功耗，研发具有超陡峭亚阈值斜率的器件结构已成为研究工作者的关注焦点。隧穿场效应晶体管(TFET)不同于传统的MOSFET，其源漏掺杂类型相反，利用栅极控制反向偏置的PIN结的带带隧穿实现导通，克服了传统MOSFET亚阈值斜率60mV/dec的限制，有效减小了器件的功耗。目前，双栅隧穿场效应晶体管的结构如图2所示，其泄漏电流比较大，存在双极性问题，特别是在短沟道的情况下，泄漏电流恶化严重。对于N型双栅TFET，当器件处于关态时，随着栅电压的减小，漏极电流也逐渐增大，严重影响了器件的关断特性。这主要是因为当栅源电压小于0时，沟道区和漏区之间也会发生带带隧穿，且带带隧穿几率随着栅电压的减小而增大，最终导致漏极电流很大，影响器件的关断特性。
技术实现思路
本专利技术针对
技术介绍
存在的缺陷，提出了一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管。本专利技术隧穿场效应晶体管在不影响器件的正向导通电流的前提下，有效抑制了器件的双极性电流，保证器件具有较好的开关特性，可应用于大规模集成电路中。本专利技术的技术方案如下：一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管，包括源区110、沟道区111、漏区112、第一沟道区氧化层113、第二沟道区氧化层115、第一漏区氧化层114、第二漏区氧化层116、顶部栅电极117、底部栅电极118、源电极119和漏电极120，所述第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域，第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域，第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆盖的沟道区上表面部分和部分漏区上表面，第二漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第二沟道区氧化层覆盖的沟道区下表面部分和部分漏区下表面，第一漏区氧化层114的厚度比第一沟道区氧化层113的厚度厚，第二漏区氧化层116的厚度比第二沟道区氧化层115的厚度厚。进一步地，上述双栅隧穿场效应晶体管，对于N型双栅隧穿场效应晶体管，源区为P型重掺杂，漏区为N型重掺杂，沟道区为N型轻掺杂；对于P型双栅隧穿场效应晶体管，源区为N型重掺杂，漏区为P型重掺杂，沟道区为P型轻掺杂。进一步地，所述第一沟道区氧化层113的左边界与沟道区111的左边界重合，第二沟道区氧化层115的左边界与沟道区111的左边界重合；所述第一沟道区氧化层113和第二沟道区氧化层115的右边界与沟道区111的右边界之间的距离D满足：0＜D＜沟道区长度的一半。进一步地，所述第一沟道区氧化层113的右边界与第一漏区氧化层114的左边界重合，第二沟道区氧化层115的右边界与第二漏区氧化层116的左边界重合。第一漏区氧化层114和第二漏区氧化层116的右边界与漏区112的左边界之间的距离L满足：0＜L＜漏区的长度。进一步地，所述第一沟道区氧化层113、第二沟道区氧化层115、第一漏区氧化层114和第二漏区氧化层116的材料为二氧化硅或其它介电材料。。本专利技术的工作原理如下：本专利技术提供的双栅隧穿场效应晶体管中，第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域，第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域，第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆盖的沟道区上表面部分和部分漏区上表面，第二漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第二沟道区氧化层覆盖的沟道区下表面部分和部分漏区下表面，且第一漏区氧化层的厚度大于第一沟道区氧化层，第二漏区氧化层的厚度大于第二沟道区氧化层。当沟道区氧化层厚度及其它器件参数确定时，漏区氧化层厚度有一个最优厚度，这一最优厚度可以通过器件仿真软件得到，当漏区氧化层厚度为最优厚度，器件处于关态时，隧穿发生在沟道区和漏区界面附近时，该晶体管结构能改变器件的能带分布，使得能带在沟道和漏区界面附近的变化率减小(如图4所示)，沟道区和漏区界面附近的电场降低(如图5所示)，增大了器件的最小隧穿长度，减小了隧穿几率，使得隧穿较难发生，从而降低漏极电流，有效抑制了器件的双极性电流，改善了器件的开关特性，降低了器件的静态功耗。本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的双栅隧穿场效应晶体管在不影响器件的开态电流的前提下，有效地抑制了器件的双极性电流，保证器件具有较好的开关特性，可应用于大规模集成电路中。当器件处于关态时，器件的漏极电流被有效地抑制掉了，从而降低了器件的静态功耗，使器件具有很好的关断特性；而当器件处于开态时，器件的漏极电流与传统的双栅TFET相同。附图说明图1为本专利技术提供的一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管的结构示意图；图2为
技术介绍
中双栅隧穿场效应晶体管的结构示意图；图3为本专利技术实施例与
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中的双栅隧穿场效应晶体管工作时产生的转移特性对比曲线；图4为本专利技术实施例与
技术介绍
中的双栅隧穿场效应晶体管在Vgs＝-1.5V、漏极电压为1V时，沿着剖线方向(距离沟道区和氧化层界面下方1nm处，即图1和图2中虚线)的导带和价带的能带分布对比图；图5为本专利技术实施例与
技术介绍
中的双栅隧穿场效应晶体管在Vgs＝-1.5V、漏极电压为1V时，沿着剖线方向(距离沟道区和氧化层界面下方1nm处，即图1和图2中虚线)的电场分布对比图。具体实施方式下面结合附图和实施例，详述本专利技术的技术方案。如图1所示，为本专利技术提供的一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管的结构示意图。包括源区110、沟道区111、漏区112、第一沟道区氧化层113、第二沟道区氧化层115、第一漏区氧化层114、第二漏区氧化层116、顶部栅电极117、底部栅电极118、源电极119和漏电极120，所述第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域，第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域，第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆盖的沟道区上表面部分和部分漏区上表面，第二漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第二沟道区氧化层覆盖的沟道区下表面部分和部分漏区下表面；所述第一漏区氧化层的厚度大于第一沟道区氧化层，第二漏区氧化层的厚度大于第二沟道区氧化层；第一沟道区氧化层和第一漏区氧化层上方覆盖顶部栅电极，第二沟道区氧化层和第二漏区氧化层下方覆盖底部栅电极，源电极与源区相连，漏电极与漏区相连。进一步地，所述第一沟道区氧化层113、第二沟道区氧化层115、第一漏区氧化层114和第二漏区氧化层116的材料为二氧化硅或其它介电材料，其余区域为硅材料。实施例一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管，结构如图1所示。其中，源区、沟道区和漏区材料均为硅，沟道区111采用N型磷掺杂，浓度为1E15cm-3；源区110采用P型硼掺杂，浓度为1E20cm-3；漏区112采用N型磷掺杂，浓度为1E19cm-3；沟道区长度为50nm，源区和漏区长度均为60nm，沟道区、源区和漏区的厚度均为10nm，第一沟道区本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管，包括源区(110)、沟道区(111)、漏区(112)、第一沟道区氧化层(113)、第二沟道区氧化层(115)、第一漏区氧化层(114)、第二漏区氧化层(116)、顶部栅电极(117)、底部栅电极(118)、源电极(119)和漏电极(120)，所述第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域，第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域，第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆盖的沟道区上表面和部分漏区上表面，第二漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第二沟道区氧化层覆盖的沟道区下表面和部分漏区下表面，第一漏区氧化层(114)的厚度比第一沟道区氧化层(113)的厚度厚，第二漏区氧化层(116)的厚度比第二沟道区氧化层(115)的厚度厚。

【技术特征摘要】
1.一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管，包括源区(110)、沟道区(111)、漏区(112)、第一沟道区氧化层(113)、第二沟道区氧化层(115)、第一漏区氧化层(114)、第二漏区氧化层(116)、顶部栅电极(117)、底部栅电极(118)、源电极(119)和漏电极(120)，所述第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域，第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域，第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆盖的沟道区上表面和部分漏区上表面，第二漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第二沟道区氧化层覆盖的沟道区下表面和部分漏区下表面，第一漏区氧化层(114)的厚度比第一沟道区氧化层(113)的厚度厚，第二漏区氧化层(116)的厚度比第二沟道区氧化层(115)的厚度厚。2.根据权利要求1所述的有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管，其特征在于，所述第一沟道区氧化层的左边界与沟道区的左边界重合，第二沟道区氧化层的左边界与沟道区的左边界重合；所述第一沟道区氧化层和第二沟道区...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢倩，刘明军，王政，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：四川,51