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一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管制造技术
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文档序号:18660701
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一种有效抑制双极性电流的双栅隧穿场效应晶体管,属于半导体器件技术领域。本发明提供的双栅隧穿场效应晶体管中,第一沟道区氧化层覆盖沟道区上表面部分区域,第二沟道区氧化层覆盖沟道区下表面部分区域,第一漏区氧化层覆盖在沟道区中未被第一沟道区氧化层覆...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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