一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，包括一组炉体、与每一炉体配套使用并通过炉体管道相连的炉体泵以及一个滑阀真空泵；所述的滑阀真空泵通过设置的气动蝶阀组件连接有滑阀真空泵管道；所述的滑阀真空泵管道又连接安装有分路管道；而所述的分路管道又连接安装有钢丝波纹管道。本发明专利技术中设置一台使用的和一台备用的滑阀真空泵并通过设置的滑阀真空泵管道、分路管道、钢丝波纹管道以及对应安装的气动蝶阀组件和止回阀，再配合连接炉体泵和铸锭炉的炉体，通过PLC程序控制和炉体泵的相互切换实现在炉体熔化2阶段的时候暂时关闭炉体泵的操作，从而有效的实现智能控制抽真空系统中各阶段操作中节约电能的目的。

An intelligent energy saving device for vacuum system of polysilicon ingot furnace

The invention discloses an intelligent energy-saving device for vacuum system of polycrystalline silicon ingot furnace, which comprises a set of furnace body, a furnace body pump matched with each furnace body and connected through the furnace body pipeline, and a slide valve vacuum pump. The slip valve vacuum pump pipe is connected with a shunt pipe, and the shunt pipe is connected with a steel wire corrugated pipe. In the invention, one used and one spare slide valve vacuum pump are provided, and through the set slide valve vacuum pump pipeline, shunt pipeline, steel wire corrugated pipeline, the corresponding installed pneumatic butterfly valve assembly and check valve, and with the furnace body connecting the furnace body pump and ingot furnace, the furnace body is controlled by PLC program and the furnace body pump is switched between each other. Temporarily shutting down the operation of the furnace pump in the second stage of the furnace melting, thus effectively realizing the purpose of saving electric energy in the operation of each stage of the intelligent control vacuum system.

【技术实现步骤摘要】
一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置
本专利技术涉及多晶硅铸锭炉抽真空系统的辅助使用装置，具体的说是一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置。
技术介绍
现有多晶硅铸锭炉的抽真空系统装置中，每一台多晶硅铸锭炉均需要配备有一台炉体泵，现有的炉体泵多设置为机械泵或罗茨泵，现有的铸锭炉在运行的时候，从炉体开始投炉一直到炉体内熔化2阶段的过程中，炉体泵均处于工作状态，而在抽真空的状态时又不需要炉体泵的工作，因此多台炉体泵一直工作导致电源能耗较大，并且多台炉体泵一直开着产生的噪声大、废气多，节能效果非常差。
技术实现思路
本专利技术的目的是针对现有技术存在的不足，提供一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置。技术方案：本专利技术解决问题所采用的技术方案为：一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，包括一组炉体、与每一炉体配套使用并通过炉体管道相连的炉体泵以及一个滑阀真空泵；所述的滑阀真空泵通过设置的气动蝶阀组件连接有滑阀真空泵管道；所述的滑阀真空泵管道又连接安装有分路管道；而所述的分路管道又连接安装有钢丝波纹管道，所述的钢丝波纹管道上还连接安装有第一真空快装止回阀，而所述的第一真空快装止回阀还连接安装有真空快装三通组件，而所述的真空快装三通组件的两条支路则分别连通到炉体和炉体泵中，并且其中与炉体泵连通的支路上还安装有第二真空快装止回阀；所述的滑阀真空泵管道与分路管道之间还安装有一主管道；每一炉体均配套设置有一段主管道，全部的主管道相连构成整体主管道。作为优选，为了保证滑阀真空泵以及滑阀真空管道的稳定性，所述滑阀真空泵的气动蝶阀组件与真空泵管道之间还安装有真空快装止回阀、真空卡箍组件和波纹连接管道。作为优选，所述的分路管道上还安装有气动蝶阀组件以及真空快装堵板；为了便于控制分路管道以及保证其真空密封性，设置气动蝶阀组件和堵板。作为优选，所述的主管道的两端还分别安装有法兰封板，相邻主管道之间的法兰封板对接后通过设置的法兰盘相连构成整体主管道；通过法兰盘可以方便拆装连接安装主管道。作为优选，所述的钢丝波纹管道上还设置有真空卡箍组件用于真空快装三通组件的安装。作为优选，所述的炉体以及配套使用的炉体泵共设置有组；并且除了正在使用的滑阀真空泵，还设置有一备用的滑阀真空泵；本装置通过设置设置一台使用以及一台备用的滑阀真空泵可同时实现组铸锭炉的智能化节能。有益效果：本专利技术与现有技术相比，具有以下优点：本专利技术中设置一台使用的和一台备用的滑阀真空泵并通过设置的滑阀真空泵管道、分路管道、钢丝波纹管道以及对应安装的气动蝶阀组件和止回阀，再配合连接炉体泵和铸锭炉的炉体，通过PLC程序控制和炉体泵的相互切换实现在炉体熔化2阶段的时候暂时关闭炉体泵的操作，从而有效的实现智能控制抽真空系统中各阶段操作中节约电能的目的，并且在工作过程中产生的噪声和废气比较少；而且本装置中通过设置的主管道连接多组铸锭炉和炉体泵，可实现一台滑阀真空泵控制多组炉体，实现多组炉体的智能化节能目的。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术具体使用结构图；图3为图1中A处放大图。具体实施方式下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本专利技术，本实施例在以本专利技术技术方案为前提下进行实施，应理解这些实施例仅用于说明本专利技术而不用于限制本专利技术的范围。如图1、图2和图3所示，一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，包括一组炉体1、与每一炉体1配套使用并通过炉体管道2相连的炉体泵3以及一个滑阀真空泵4；所述的滑阀真空泵4通过设置的气动蝶阀组件5连接有滑阀真空泵管道6；所述的滑阀真空泵管道6又连接安装有分路管道7；而所述的分路管道7又连接安装有钢丝波纹管道8，所述的钢丝波纹管道8上还连接安装有第一真空快装止回阀9，而所述的第一真空快装止回阀9还连接安装有真空快装三通组件10，而所述的真空快装三通组件10的两条支路则分别连通到炉体1和炉体泵3中，并且其中与炉体泵3连通的支路上还安装有第二真空快装止回阀11；所述的滑阀真空泵管道6与分路管道7之间还安装有一主管道12；每一炉体1均配套设置有一段主管道12，全部的主管道12相连构成整体主管道。为了保证滑阀真空泵4以及滑阀真空管道6的稳定性，所述滑阀真空泵4的气动蝶阀组件5与真空泵管道6之间还安装有真空快装止回阀13、真空卡箍组件14和波纹连接管道15。所述的分路管道7上还安装有气动蝶阀组件5以及真空快装堵板16；为了便于控制分路管道7以及保证其真空密封性，设置气动蝶阀组件5和堵板16。所述的主管道12的两端还分别安装有法兰封板17，相邻主管道12之间通过设置的法兰盘相连构成整体主管道；通过法兰盘可以方便拆装连接安装主管道12。所述的钢丝波纹管道8上还设置有真空卡箍组件14用于真空快装三通组件9的安装。所述的炉体1以及配套使用的炉体泵3共设置有11组；并且除了正在使用的滑阀真空泵4，还设置有一备用的滑阀真空泵4；本装置通过设置设置一台使用以及一台备用的滑阀真空泵4可同时实现11组铸锭炉的智能化节能。本装置中，一台滑阀真空泵通过主管道的连接设置与11组铸锭炉和炉体泵交互相连；由于在工作的时候，每一台铸锭炉的工作状态是处于不同状态的，在每一时间点均有铸锭炉需要进行抽真空操作，因此滑阀真空泵是一直处于工作状态的；而滑阀真空管上的气动蝶阀组件和真空快装止回阀也是同步启闭，在运行过程中处于常开状态。在某一铸锭炉在投炉开始时，炉体泵正常开启工作；分路管道上的气动蝶阀组件以及钢丝波纹管道上连接安装的第一真空快装止回阀关闭，而真空快装三通组件与炉体泵之间的第二真空快装止回阀开启，使滑阀真空泵的通路关闭，炉体泵的通路开启，铸锭炉正常工作，一直到工艺熔化1阶段结束；而当工艺熔化2阶段开始的时候，控制关闭炉体泵以及关闭第二真空快装止回阀，同时开启第一真空快装止回阀以及分路管道上的气动蝶阀组件，使滑阀真空泵的通路开启以及关闭炉体泵；通过滑阀真空泵使铸锭炉一直充到大气压后，再将分路管道上的气动蝶阀组件关闭；而下一投炉开始之后再开启炉体泵工作。由于在同一时间点，每一个炉体处于的工作状态不同，因此可通过开启分路管道上的气动蝶阀组件以及主管道的连通来控制滑阀真空泵与不同炉体之间的通路实现连通；达到一台滑阀真空泵连通多台炉体的目的，这样设置至始至终只有一台滑阀真空泵在工作；而11组炉体泵则处于间歇性工作状态，可大幅度的节约电能，达到智能化节能目的。本专利技术中设置一台使用的和一台备用的滑阀真空泵并通过设置的滑阀真空泵管道、分路管道、钢丝波纹管道以及对应安装的气动蝶阀组件和止回阀，再配合连接炉体泵和铸锭炉的炉体，通过PLC程序控制和炉体泵的相互切换实现在炉体熔化2阶段的时候暂时关闭炉体泵的操作，从而有效的实现智能控制抽真空系统中各阶段操作中节约电能的目的，并且在工作过程中产生的噪声和废气比较少；而且本装置中通过设置的主管道连接多组铸锭炉和炉体泵，可实现一台滑阀真空泵控制多组炉体，实现多组炉体的智能化节能目的。上述具体实施方式只是本专利技术的一个优选实施例，并不是用来限制本专利技术的实施与权利要求范围的，凡依据本专利技术申请专利保护范围所述的内容做出的等效变化和修饰，均应包括于本专利技术专利申请范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：包括一组炉体(1)、与每一炉体(1)配套使用并通过炉体管道(2)相连的炉体泵(3)以及一个滑阀真空泵(4)；所述的滑阀真空泵(4)通过设置的气动蝶阀组件(5)连接有滑阀真空泵管道(6)；所述的滑阀真空泵管道(6)又连接安装有分路管道(7)；而所述的分路管道(7)又连接安装有钢丝波纹管道(8)，所述的钢丝波纹管道(8)上还连接安装有第一真空快装止回阀(9)，而所述的第一真空快装止回阀(9)还连接安装有真空快装三通组件(10)，而所述的真空快装三通组件(10)的两条支路则分别连通到炉体(1)和炉体泵(3)中，并且其中与炉体泵(3)连通的支路上还安装有第二真空快装止回阀(11)；所述的滑阀真空泵管道(6)与分路管道(7)之间还安装有一主管道(12)；每一炉体(1)均配套设置有一段主管道(12)，全部的主管道(12)相连构成整体主管道。

【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：包括一组炉体(1)、与每一炉体(1)配套使用并通过炉体管道(2)相连的炉体泵(3)以及一个滑阀真空泵(4)；所述的滑阀真空泵(4)通过设置的气动蝶阀组件(5)连接有滑阀真空泵管道(6)；所述的滑阀真空泵管道(6)又连接安装有分路管道(7)；而所述的分路管道(7)又连接安装有钢丝波纹管道(8)，所述的钢丝波纹管道(8)上还连接安装有第一真空快装止回阀(9)，而所述的第一真空快装止回阀(9)还连接安装有真空快装三通组件(10)，而所述的真空快装三通组件(10)的两条支路则分别连通到炉体(1)和炉体泵(3)中，并且其中与炉体泵(3)连通的支路上还安装有第二真空快装止回阀(11)；所述的滑阀真空泵管道(6)与分路管道(7)之间还安装有一主管道(12)；每一炉体(1)均配套设置有一段主管道(12)，全部的主管道(12)相连构成整体主管道。2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨定勇，郭茂勇，
申请(专利权)人：扬州晶樱光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32