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本发明公开一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，包括一组炉体、与每一炉体配套使用并通过炉体管道相连的炉体泵以及一个滑阀真空泵；所述的滑阀真空泵通过设置的气动蝶阀组件连接有滑阀真空泵管道；所述的滑阀真空泵管道又连接安装有分路管道；而...
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