玻璃硬化光学镀膜腔体制造技术

本发明专利技术公开了玻璃硬化光学镀膜腔体，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。本发明专利技术提前将靶材加工成若干个丝状或扁条状的靶材体，这样等于在腔体底板上均匀摊铺靶材，避免了蒸镀蒸汽在基材上散布不均，在基材上镀得的膜厚薄均一；冷却套和加热套的设置使得对腔体顶板和腔体侧板的冷却更均匀、腔体底板的加热更均匀，并且简化了冷却结构，省去了真空腔体的冷却水管。

Glass hardened optically coated cavity

The invention discloses the glass hardened optical coating cavity, including the cavity body. The cavity body is composed of the cavity top plate, the cavity floor plate and the cavity side plate. The cavity top plate and the cavity floor are set and set in parallel. The side plate of the cavity is perpendicular to the top plate of the cavity. The target material is fixed on the cavity plate, the target is made of several filaments. The target body is uniformly arranged on the cavity bottom plate. The target is processed into a number of filamentous or flat strip targets in advance, which equals the spread of target on the floor of the cavity, avoiding the uneven distribution of steam on the substrate, and the uniformity of the thickness of the film deposited on the substrate, and the cooling jacket and the setting of the heating sleeve make the cooling of the cavity top plate and the side plate more uniform. The heating of the cavity bottom plate is more uniform, and the cooling structure is simplified, and the cooling water pipe of the vacuum chamber is omitted.

【技术实现步骤摘要】
玻璃硬化光学镀膜腔体
本专利技术涉及玻璃硬化光学镀膜腔体。
技术介绍
OLED，即有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode)，又称为有机电激光显示(OrganicElectroluminesenceDisplay，OLED)。因为具备轻薄、省电等特性，因此在数码产品的显不屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚焦在平板显不器上，因为OLED是唯一在应用上能和TFT-LCD相提并论的技术，OLED是目前所有显示技术中，唯一可制作大尺寸、高亮度、高分辨率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；其中，在OLED的制作流程中，真空镀膜工艺是OLED制作流程中一个很重要的工艺，真空镀膜是指在真空腔体中把蒸发源加热蒸发或用加速离子轰击溅射，沉积到基片表面形成单层或多层薄膜。因为它是关系到OLED的品质高低及寿命长短的最重要因素之一，所以应用于真空镀膜工艺上的各种设备必须满足真空镀膜工艺的精度要求。现在的蒸镀工艺都需要经历抽真空、加热及镀膜等一系列过程，而在镀膜之前的加热过程中，由于靶材都是放在腔体底板中部，但这样靶材等于是聚成一团接收加热源的加热，仅位于腔体顶板中部的基材上蒸镀蒸汽较多，而位于腔体顶板非中部的基材则镀得的膜比较薄，无法做到蒸镀蒸汽在基材上散布均匀。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供玻璃硬化光学镀膜腔体，能够避免蒸镀蒸汽在基材上散布不均，在基材上镀得的膜厚薄均一；对腔体顶板和腔体侧板的冷却更均匀、腔体底板的加热更均匀，并且简化了冷却结构，省去了真空腔体的冷却水管。为实现上述目的，本专利技术的技术方案是设计玻璃硬化光学镀膜腔体，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。这样将原先聚成一团的置于腔体底板中部的靶材分散成多个条或丝，然后均布在腔体底板上，相当于在腔体底板上均匀摊铺靶材，这样整个腔体顶板上不论设置多少块基材，不论基材怎么布置，蒸镀蒸汽都能均匀分散到腔体顶板上，所以能够均匀沉积，做到每一个基材的镀膜都膜厚一致。进一步的技术方案是，腔体还包括包覆设置在腔体本体外表面上的冷却套，冷却套呈槽状，槽内壁的形状与腔体本体上部分的外形相适配，冷却套上设置通入冷却介质的入口和回收冷却介质的出口。冷却套套设在腔体本体的上部，这样不像以往还需要在腔体外表或内壁焊接呈S形设置的冷却水管，使得腔体的冷却结构变得简单，并且通过这种冷却套的方式，将腔体本体均匀包覆，冷却效果相比冷却水管要更均匀，因为冷却水管之间存在间隙，而冷却水管处冷却效果在初始阶段是高于未设冷却水管处的冷却效果的，但这种冷却套的方式则冷却效果很均一；冷却套上设置通入冷却介质的入口和回收冷却介质的出口能够将冷却介质循环利用。进一步的技术方案是，冷却套包括紧贴腔体本体外表面上的金属材质的导热面；冷却介质为冷却水或冷却空气。这样冷却套中紧靠腔体本体的那一层为导热效果好的金属材质，冷却套的其他表面可以采用隔热效果好的材料如陶瓷等；也可以整个冷却套都采用金属材质制成，加工方便，还使得冷却后的冷却套可以将部分热量传递给冷却套外的空气。进一步的技术方案为，腔体还包括设置在腔体底板下方的加热套，加热套呈壳体结构且其上表面紧贴腔体底板的下面，加热套的上表面采用金属材质制成，加热套的两个相对侧面分别设置热油进口和热油出口，热油进口与热油出口位于侧面上靠近顶端处。这样不需要以往的热源，而采用往加热套内注入加热介质，保证了腔体底板受热均匀，热油进口和热油出口可以将加热用的热油回收以循环利用。进一步的技术方案为，加热套下包覆设置槽状的保温套，保温套采用绝热材质制成，保温套的顶端低于热油进口及热油出口，保温套其槽内壁的形状与加热套外形相适配。这样可以保证热油的热量充分传导给腔体底板而不向外界空气传热，最小化热量的损耗。另一种技术方案是，腔体顶板上固定设置驱动机构，驱动机构的输出轴固定连接一个圆板，输出轴位于圆板的圆心位置处，驱动机构设置在顶板的中心处；圆板的下表面上设置直线往复运动机构，直线往复运动机构位于圆板的直径处，直线往复运动机构的运动部分固定连接基片承载盘，若干个基片固定连接在基片承载盘上。这样圆板由于驱动机构的驱动而转动，而基片则由于直线往复运动机构的驱动在圆板的直径上做往复直线运动，与圆板的旋转合成而成螺旋运动方式，也即基片是一边旋转一边逐渐向腔体顶板(也是圆板)的边缘靠近，设置直线往复运动机构的长度可以做到在基片接近腔体顶板的边缘后又逐渐一边旋转一边远离腔体顶板的边缘而回到圆板的圆心处，这样在整个蒸镀过程中，避免了不能保证靶材正对每串样品，远离靶材以及背对靶材的基片仅能沉积到少量薄膜的问题(目前为解决上述问题一般依靠基片自身的旋转，多采用的方式为公转和自转相结合的两轴转方式，但此方式镀膜效率较低，生产成本较高，而且结构复杂，另外，即使是公转配合自转的方式也无法做到每个基片都蒸镀均匀，因为正对靶材位置的腔体顶板处蒸镀蒸汽比较丰富，而腔体顶板上远离靶材位置处则蒸镀蒸汽比较少，因此公转自转的方式使得旋转直径小的基片上蒸镀的膜较厚，而旋转直径大的基片{即远离靶材的位置}上蒸镀的膜较薄，如果能实现基片逐渐远离靶材又逐渐接近靶材，则各个基片上蒸镀的膜才均一)。进一步的技术方案是，驱动机构包括固定在腔体顶板中部的驱动电机，驱动电机与减速机相连，减速机的输出轴固定连接在圆板其上表面的圆心处；直线往复运动机构为曲柄滑块机构，滑块下表面固定连接基片承载盘。另一种技术方案为，直线往复运动机构包括固定连接在圆板中心处的弹簧，弹簧上靠近另一端处固定连接基片承载盘，圆板的下表面位于直径处设置用于弹簧伸缩滑动的支撑滑轨，支撑滑轨通过连杆固定连接在圆板上，支撑滑轨呈矩形壳体状，支撑滑轨的下表面设置开口以便于基片承载盘随着弹簧的伸缩而往复平移，支撑滑轨的远离减速机的输出轴的一端处设置可上下滑动的挡板，支撑滑轨的远离减速机的输出轴的一端上设置用于挡板滑动的滑槽，滑槽设置在支撑滑轨的上表面及两个侧面，圆板的下表面设置用于允许挡板滑动时进入的矩形缺口；腔体顶板、腔体底板呈圆板状，腔体侧板呈圆筒状，在腔体侧板内壁上设置一圈环形磁铁，环形磁铁位于弹簧所在水平面，弹簧的端部固定设置一个长方体形的磁铁，其正对环形磁铁的一面为S极，而环形磁铁的正对弹簧的一面为N极；挡板平时由于自重落在滑槽内(弹簧不受力时的长度大于支撑滑轨的长度)以挡住弹簧不让其释放弹性势能，挡板的顶部固定设置铁质块，矩形缺口内设置电磁铁，电磁铁的电路与驱动电机的电路是串联的(也即驱动电机通电时电磁铁才得电，挡板才被吸上去，弹簧的弹性势能得到释放，而驱动电机动作后，圆板旋转，配合弹簧则形成基片承载盘的螺旋运动，而弹簧到达最远端后又聚集了一部分弹性势能，但肯定损失了一部分能量，因此环形磁铁的设置则补偿了失去的弹性势能，使得整个过程能够持续下去，蒸镀完毕后再将弹簧塞进支撑滑轨内并放下挡板即可为下次蒸镀做准备)。本专利技术的优点和有益效果在于：提前将靶材加工成若干个丝状或扁条状的靶材体，这样等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。

【技术特征摘要】
1.玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，包括腔体本体，腔体本体由腔体顶板、腔体底板及腔体侧板构成，腔体顶板和腔体底板相对设置且平行设置，腔体侧板垂直于腔体顶板设置，腔体底板上固定设置靶材，靶材由若干个丝状或扁条状的靶材体构成，靶材体在腔体底板上均匀设置。2.根据权利要求1所述的玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，所述腔体还包括包覆设置在腔体本体外表面上的冷却套，冷却套呈槽状，槽内壁的形状与腔体本体上部分的外形相适配，冷却套上设置通入冷却介质的入口和回收冷却介质的出口。3.根据权利要求2所述的玻璃硬化光学镀膜腔体，其特征在于，冷却...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿建强，瞿一涛，黄仕强，陆彬锋，
申请(专利权)人：江阴市光科真空机械有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32