一种圆弧型加热带及加热带包覆方法技术

一种圆弧型加热带，系用来包覆管路并保持前述管路之温度，其包含：圆弧型带体；加热丝，其系分布于前述圆弧型带体中；及固定装置，其系用来将前述圆弧型带体固定至前述管路上。藉由上述特征，当以该圆弧型加热带包覆管路时，能与管路紧密接触，达到均匀的温度分布，同时也能适用于管路弯曲处，增加其通用性。

【技术实现步骤摘要】
一种圆弧型加热带及加热带包覆方法
本专利技术系关于一种圆弧型加热带，特别是关于应用于半导体设备管路上的一种圆弧型加热带及加热带包覆方法。
技术介绍
在半导体镀膜工艺过程中，有多种气体透过管路通入腔室。为避免气体冷凝，需要对气体管路进行加热以保持温度。现有的加热带，如以图1所示之习知缠绕式加热带，则会因为缠绕的方式不同，而无法有均匀的加热效果。此外，以此方法缠绕时，缠绕式加热带11不能与管路12紧密接触，在包覆管路12时会产生间隙，从而产生热区13(HotSpot)和冷区14(ColdSpot)的受热不均现象，同时对于管路弯曲处更是无法妥善的包覆。而如以图2所示之习知加热套21(HeaterJacket)，则会需要按管路22的尺寸设计订做，使得其泛用性较差，且也无法随管路调整弯曲角度。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种圆弧型加热带，当其包覆管路时，能与管路紧密接触，达到均匀的温度分布，同时也能适用于管路弯曲处，增加其通用性。本专利技术提供一种圆弧型加热带，系用来包覆管路并保持前述管路之温度，其包含：圆弧型带体；加热丝，其系分布于前述圆弧型带体中；及固定装置，其系用来将前述圆弧型带体固定至前述管路上。较佳地，前述圆弧型带体的前述长度方向系与前述管路的前述轴向平行。较佳地，圆弧型带体的截面为半圆形。较佳地，其中前述加热丝系以彼此并联的方式电气连接。较佳地，前述加热丝系沿前述圆弧型带体所环绕的周方向饶曲。较佳地，前述圆弧型加热带进一步包含温度感测器，其系用来量测前述加热带的温度资讯。本专利技术另提供一种加热带包覆方法，其中包含：使用圆弧型加热带；将前述圆弧型带体以其长度方向沿前述管路的轴向的方式，包覆前述管路；及用前述固定装置将前述圆弧型带体固定至前述管路。较佳地，前述圆弧型带体的前述长度方向系与前述管路的前述轴向平行。较佳地，其中前述加热丝系以彼此并联的方式电气连接。较佳地，前述加热丝系沿前述圆弧型带体所环绕的周方向饶曲。较佳地，前述圆弧型加热带进一步包含温度感测器，其系用来量测前述加热带的温度资讯。藉由上述专利技术，可使圆弧型加热带充分地包覆管路，使管路均匀地受热。此外，藉由圆弧型的设计，于管路弯曲处更能随之调整包覆方式，增加其泛用性。附图说明图1所示为习知缠绕式加热带之立体图；图2所示为习知加热套之立体图；图3所示为本专利技术第一实施例之圆弧型加热带立体图；图4所示为本专利技术第一实施例之圆弧型带体透视图；图5所示为本专利技术第一实施例之半圆型带体包覆于管路后与长度方向垂直的截面图；图6所示为本专利技术第一实施例之半圆型带体包覆于管路后沿长度方向的纵颇面图；图7所示为本专利技术第一实施例之圆弧型带体包覆于弯折管路的立体图；图8所示为本专利技术第二实施例之圆弧型加热带立体图；图中编号分别为：11缠绕式加热带12管路13热区14冷区21加热套22管路31圆弧型加热带311圆弧型带体312固定装置313加热丝314导线32管路33热电耦34保温棉61管路612弯折处71圆弧型加热带711圆弧型带体712固定装置714导线72管路A长度方向B轴向C长度方向D轴向具体实施方式为利于本专利技术之技术特征、内容与优点及其所能达成之功效，兹将本专利技术配合附图，并以实施例之表达形式详细说明如下，而其中所使用之图式，其主旨仅为示意及辅助说明书之用，不受限于图式及样式，未必为本专利技术实施后之真实比例与精准配置，故不应就所附之图式的比例与配置关系解读、局限本专利技术于实际实施上的权利范围，合先叙明。本专利技术所述「圆弧型加热带」，系指其包覆于管路后，其截面呈现半圆形之加热带。所谓「半圆形」系指圆弧型加热带包覆管路时，其绕管路之圆周角为90°～270°，较佳为110°～120°，较佳为170°～180°。本专利技术所述「圆弧型带体」，系为具有一定饶曲性之带状物体，可以是自由状态时截面即呈现圆弧型，亦可以是包覆状态时截面呈现圆弧型。其材质可系选自硅胶及玻璃纤维材质或其任意组成，但不以此为限。本专利技术所述「加热丝」，具体可由电阻丝、镍洛合金丝或其任意组成所构成，但不以此为限。本专利技术所述「热电耦」，可依所需温度精度的需求，采用市面上可用之任何型号即可，不限定为特定型号。本专利技术所述「长度方向」，系指与半圆型带体的截面垂直的方向。本专利技术所述「管路的轴向」，系指管路的中心轴延伸的方向。[第一实施例]请参考图3。图3所示系本专利技术第一实施例之圆弧型加热带31之立体图。圆弧型加热带31系由圆弧型带体311、及固定装置312所构成。如图所示，圆弧型带体311系为截面为半圆形的长片材，其内侧圆弧的半径系大致等于管路32的外径，且圆弧型带体311绕管路32的圆周角为180°。固定装置312则为C形固定装置，系由金属所构成，其内侧圆弧长系略小于圆弧型带体311的外侧弧长，藉此卡合圆弧型带体311。使用时，系以圆弧型带体311的长度方向A沿管路32的轴向B的方式，包覆于管路32上，再用固定装置312从圆弧型带体311的外侧，卡合圆弧型带体311使其固定于管路32上。请参考图4。图4系本专利技术第一实施例之圆弧型带体311的透视图。圆弧型带体311中，复数个加热丝313系以彼此平行的方式，沿着圆弧型带体311的长边方向A上等间距的配置。随着圆弧型带体311的所环绕的弧度，加热丝313系沿圆弧型带体311所环绕的周方向饶曲。另外，导线314系沿圆弧型带体的长度方向A设置，复数个加热丝313的两端分别电气连接至导线314，使得复数个加热丝313可以彼此并联的方式电气连接。请参考图5及图6。图5系本专利技术第一实施例之半圆型带体311包覆于管路32后与长度方向A垂直的截面图，图6系本专利技术第一实施例之半圆型带体311包覆于管路32后沿长度方向A的纵剖面图。如图所示，管路32上另外设有热电耦33，其系配置在加热丝313的附近，且外接到具有显示和控制功能的温度控制器上(图未示)，用来感测及控制管路32的温度，防止温度低于或高于设定温度。使用时，将当将圆弧型加热带31固定至管路32后，外侧再以保温棉34包裹，增加保热性。藉由导线314供电至加热丝313使其产生热能，并藉由管路32上的热电偶33来监控管路32的温度。当温度低于所希望的温度时，温度控制器控制使电流流过加热丝313而加热。当温度超过所希望的温度时，温度控制器控制使电流不再流过加热丝313。藉由本专利技术之圆弧型加热带，由于系以圆弧型带体311包覆管路32，故对于管路32的加热会更均匀，不会产生热区或冷区。此外，由于复数个加热丝313系以彼此平行的方式，电气性地并联设置，故圆弧型带体311的长度可根据管路32的长短进行裁切，而不会影响到其使用的功能，可进一步方便应用于不同长度的管路。请参考图7。图7所示系第一实施例之圆弧型带体311包覆于弯折管路的立体图。如图所示，将本专利技术之圆弧型带体311包至具弯折处612的管路61时，圆弧型带体311绕过弯折处612时，可以其长度方向C相对于管路61的轴向D为倾斜的方式，包覆管路61。如此一来，即可克服弯折处612所造成的内外周长差，使圆弧型带体311得以完整的包覆弯折处612，而能够增加圆弧型带体311的泛用性。[第二实施例]请参考图8。图8所示系本专利技术第二实施例之圆弧型加热带71之立体图。与第一实施例相同，圆弧型加热带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种圆弧型加热带，系用来包覆管路并保持前述管路之温度，其特征在于：包含：圆弧型带体；加热丝，其系分布于前述圆弧型带体中；及固定装置，其系用来将所述圆弧型带体固定至前述管路上。

【技术特征摘要】
1.一种圆弧型加热带，系用来包覆管路并保持前述管路之温度，其特征在于：包含：圆弧型带体；加热丝，其系分布于前述圆弧型带体中；及固定装置，其系用来将所述圆弧型带体固定至前述管路上。2.如权利要求1所述的一种圆弧型加热带，其特征在于：其中所述圆弧型带体的截面为半圆形。3.如权利要求1所述的一种圆弧型加热带，其特征在于：其中所述加热丝系以彼此并联的方式电气连接。4.如权利要求1所述的一种圆弧型加热带，其特征在于：其中所述加热丝系沿前述圆弧型带体所环绕的周方向饶曲。5.如权利要求1所述的一种圆弧型加热带，其特征在于：其中进一步包含热电偶，其系外接到具有显示和控制功能的温度控制器上，藉由该温度控制器来检测和控制前述加热带温度。...

【专利技术属性】
技术研发人员：周仁，张宝戈，孙泽江，吕欣，
申请(专利权)人：沈阳拓荆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21