【技术实现步骤摘要】
一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法
本专利技术属于痕量物质检测
，特别涉及一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法。
技术介绍
表面增强拉曼效应(surface-enhancedRamanscattering，SERS)能够将吸附分子的拉曼散射信号放大几个数量级，因此可用于痕量物质的高灵敏性检测，具有指纹辨识性、检测快速、简单易行、选择性好及无损检测等优点。表面增强拉曼效应需要利用金、银等贵金属纳米结构作为高灵敏性的增强基底，制备方法包括电化学氧化还原法、金属溶胶法、模版法、自组装法、电子束光刻法、倾斜角度沉积法等。当纳米颗粒沉积在硅基片、玻璃基片、有机物基片等表面时，贵金属薄膜与衬底材料的结合力往往较弱，使纳米薄膜在运输、使用和储存的过程中从基片脱落，影响了SERS基底的实际应用，大大限制了表面增强拉曼技术的发展。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，克服上述现有技术的不足，提供一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法。为了达到上述目的，本专利技术采用的技术方案如下：一种上述的提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法，其特征在于所述方法包括如...
【技术保护点】
1.一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)利用倾斜角度沉积方法，在衬底基片上首先沉积一层平整的过渡层薄膜，然后在过渡层薄膜上再生长一层银纳米棒阵列薄膜；2)利用低温原子层沉积方法在银纳米棒阵列薄膜表面均匀覆盖一层超薄的氧化物薄膜，形成氧化物包覆的复合纳米结构；3)将复合纳米结构在温度为150～300℃的条件下进行加热，即可得到具有优异膜基结合力的表面增强拉曼基底。
【技术特征摘要】
1.一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法，其特征在于该方法包括如下步骤：1)利用倾斜角度沉积方法，在衬底基片上首先沉积一层平整的过渡层薄膜，然后在过渡层薄膜上再生长一层银纳米棒阵列薄膜；2)利用低温原子层沉积方法在银纳米棒阵列薄膜表面均匀覆盖一层超薄的氧化物薄膜，形成氧化物包覆的复合纳米结构；3)将复合纳米结构在温度为150～300℃的条件下进行加热，即可得到具有优异膜基结合力的表面增强拉曼基底。2.如权利要求1所述的一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法，其特征在于：所述衬底基片采用硅基片、玻璃基片或有机物基片。3.如权利要求1所述的一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法，其特征在于：步骤1)中利用倾斜角度沉积方法在衬底基片上制备过渡层薄膜的步骤为：在室温下，将清洗过的基片固定在电子束蒸发镀膜机的样品台上，将镀膜机腔室抽至真空度为10－5Pa以下；调整基片台的角度，使蒸发束流的入射角为0°，并使样品台静止；采用Ti、Cr、TiN或ZrN为靶材，沉积速率控制在制备出平整的过渡层薄膜。4.如权利要求1、2或3所述的一种提高膜基结合力制备表面增强拉曼基底的方法，其特征在于：所述的过渡层薄膜的厚...
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