有机发光二极管器件的制作系统技术方案

本发明专利技术提供了一种有机发光二极管器件的制作系统，其包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送。所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°，从而达成翻转基板的功效。

【技术实现步骤摘要】
有机发光二极管器件的制作系统
本专利技术涉及一种有机发光二极管器件的制作系统。
技术介绍
有机发光二极管(OLED)器件在制作过程中，会涉及到蒸镀和封装两个工段，但这两个工段对基板方向要求不同，蒸镀工段要求基板朝向向下，封装工段要求基板朝向向上，这就要求从蒸镀段进入封装段必须要有一个基板翻转的环节。如图1所示，目前将基板100进行翻转的处理方法是：在蒸镀段或封装段设置一个翻转腔室200，以在翻转腔室200内完成基板100的翻转动作。但是，利用翻转腔室200将基板100进行翻转的方式会使生产节拍延长，并且翻转腔室200会占用一个工艺腔室300的位置，提高了生产设备成本。有鉴于此，确有必要对现有OLED器件的制作系统进行改进，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种有机发光二极管器件的制作系统，该制作系统可在传送基板的同时翻转基板，从而省略了进入翻转腔室的环节。为实现上述目的，本专利技术提供了一种有机发光二极管器件的制作系统，其包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送，所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°。作为本专利技术的进一步改进，所述传输腔室包括相对设置的顶壁和底壁以及相对设置的左右两侧壁，所述顶壁与底壁之间的距离以及左右两侧壁之间的距离均大于所述基板的长度，以方便所述基板在所述传输腔室内翻转180°。作为本专利技术的进一步改进，所述传输腔室呈六边形设置，所述传输腔室的相对设置的两边分别连接一个所述中间腔室，所述传输腔室的另外四边分别与四个工艺腔室相连。作为本专利技术的进一步改进，所述机械手可操作以在所述中间腔室与所述传输腔室之间及所述工艺腔室与所述传输腔室之间传输所述基板，所述机械手包括活动臂和固定臂，所述基板静电吸附在所述固定臂上。作为本专利技术的进一步改进，所述固定臂的末端设有静电吸附盘，以静电吸附所述基板。作为本专利技术的进一步改进，所述机械手设置在所述传输腔室的中心位置处，所述活动臂包括活动式连接的第一活动臂和第二活动臂，所述固定臂与所述第二活动臂的末端相连，以在伸缩所述活动臂时带动所述固定臂进入或退出所述中间腔室和所述工艺腔室。作为本专利技术的进一步改进，定义所述传输腔室的中心位置为所述机械手的原点位，当所述基板位于所述中间腔室时，定义所述固定臂与第二活动臂的连接点所处位置为工作点位，所述固定臂与第二活动臂的连接点自工作点位朝向原点位移动，并在到达原点位后，所述机械手带动所述基板旋转180°。作为本专利技术的进一步改进，所述固定臂与第二活动臂的连接点自工作点位朝向原点位移动时，所述固定臂和基板只在水平方向上发生位移。作为本专利技术的进一步改进，当所述固定臂与第二活动臂的连接点位于工作点位时，所述活动臂整体呈V字型，当所述固定臂与第二活动臂的连接点位于原点位时，所述活动臂整体呈一字型并与所述固定臂垂直。作为本专利技术的进一步改进，所述机械手可360°旋转。本专利技术的有益效果是：本专利技术的有机发光二极管器件的制作系统，通过在所述传输腔室内设置可旋转的机械手，从而可利用所述机械手静电吸附所述基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板翻转180°，进而达成翻转基板的功效。附图说明图1是目前的基板翻转方式结构图。图2是本专利技术中，当基板位于中间腔室时的结构示意图。图3是图2中机械手静电吸附基板时的独立结构示意图。图4是本专利技术中，当基板位于传输腔室时的结构示意图。图5是本专利技术中，基板翻转前的结构示意图。图6是本专利技术中，基板翻转后的结构示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述。请参阅图2所示，本专利技术揭示了一种有机发光二极管(OLED)器件的制作系统，其包括传输腔室10及与所述传输腔室10相连接的工艺腔室11和中间腔室12。因OLED器件的制作工段包括很多(例如：蒸镀和封装)，故相应的制作系统也较复杂，包括多个传输腔室10及连接相邻两个传输腔室10的中间腔室12，每个传输腔室10还分别连接多个工艺腔室11，以对基板13进行多步操作(包括蒸镀、封装、涂布等等)。本专利技术的制作系统可用于封装工段，也可用于蒸镀工段或其他工段，于此不予限制。以下说明书部分将以封装工段为例，对本专利技术的制作系统进行详细说明。所述传输腔室10内设置有机械手14，以将位于所述中间腔室12内的基板13(即蒸镀完成后的基板13)传送至对应的工艺腔室11，继而进行封装。需要说明的是：基板13在完成蒸镀后，会先被传送至中间腔室12内，继而再被另一传输腔室10内的机械手14传送至相应的工艺腔室11，以完成相应的操作，因而所述中间腔室12可操作以进行基板13的传送。所述机械手14设计为位于所述传输腔室10内且可旋转，从而在完成蒸镀后，可利用所述机械手14静电吸附所述中间腔室12内的基板13并在回归至所述传输腔室10后旋转180°，进而带动所述基板13在所述传输腔室10内翻转180°。所述基板13翻转完成后，所述机械手14再将所述基板13传送至其他工艺腔室11中，以进行后续的封装操作。本专利技术中，所述机械手14可360°旋转。所述制作系统还包括用于控制所述机械手14旋转的控制系统，所述控制系统与电脑相结合，以实现对所述机械手14的自动控制。所述传输腔室10包括相对设置的顶壁(未图示)和底壁(未图示)以及相对设置的左右两侧壁(未图示)，所述顶壁与底壁之间的距离以及左右两侧壁之间的距离均大于所述基板13的长度，以方便所述基板13在所述传输腔室10内翻转180°。本专利技术中，所述传输腔室10呈六边形设置，且所述传输腔室10的相对设置的两边分别连接一个所述中间腔室12，所述传输腔室10的另外四边分别与四个工艺腔室11相连，以便对所述基板13进行封装操作。当然，在其他实施例中，所述传输腔室10也可根据实际需要设置成四边形、八边形或其他形状，只要能够满足OLED器件的制作即可。请结合图3至图5所示，所述机械手14可操作以在所述中间腔室12与所述传输腔室10之间及所述工艺腔室11与所述传输腔室10之间传输所述基板13，所述机械手14包括活动臂141和固定臂142，所述基板13静电吸附在所述固定臂142上，以便垂直进入所述中间腔室12和所述工艺腔室11。需要注意的是：此处的“垂直进入”，是相对于对应的所述中间腔室12或所述工艺腔室11的开口侧而言，所述固定臂142带动所述基板13垂直进入腔室内。所述固定臂142的末端设有静电吸附盘143，以静电吸附所述基板13。具体来讲，所述固定臂142的末端设有两根相互平行的吸附杆144，以使得所述固定臂142大致呈Y型设置，所述静电吸附盘143设置在所述两根吸附杆144的下方，以便对所述基板13进行静电吸附。请结合图2至图4所示，所述机械手14设置在所述传输腔室10的中心位置处，所述活动臂141包括活动式连接的第一活动臂145和第二活动臂146，所述固定臂142与所述第二活动臂146的末端相连，以在伸缩所述活动臂141时带动所述固定臂142和所述基板13进入或退出所述中间腔室12和所述工艺腔室1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种有机发光二极管器件的制作系统，包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送，其特征在于：所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°。

【技术特征摘要】
1.一种有机发光二极管器件的制作系统，包括传输腔室及与所述传输腔室相连接的工艺腔室和中间腔室，所述中间腔室可操作以进行基板的传送，其特征在于：所述制作系统还包括位于所述传输腔室内且可旋转的机械手，所述机械手静电吸附所述中间腔室内的基板并在回归至所述传输腔室后旋转180°，以带动所述基板在所述传输腔室内翻转180°。2.根据权利要求1所述的有机发光二极管器件的制作系统，其特征在于：所述传输腔室包括相对设置的顶壁和底壁以及相对设置的左右两侧壁，所述顶壁与底壁之间的距离以及左右两侧壁之间的距离均大于所述基板的长度，以方便所述基板在所述传输腔室内翻转180°。3.根据权利要求2所述的有机发光二极管器件的制作系统，其特征在于：所述传输腔室呈六边形设置，所述传输腔室的相对设置的两边分别连接一个所述中间腔室，所述传输腔室的另外四边分别与四个工艺腔室相连。4.根据权利要求1所述的有机发光二极管器件的制作系统，其特征在于：所述机械手可操作以在所述中间腔室与所述传输腔室之间及所述工艺腔室与所述传输腔室之间传输所述基板，所述机械手包括活动臂和固定臂，所述基板静电吸附在所述固定臂上。5.根据权利要求4所述的有机发光二极管器件的制作系统，其特征在于：所述固定臂的末端设有静电吸附盘，以静...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴疆，
申请(专利权)人：上海瀚莅电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31