生化传感器与其制作方法技术

本申请提供了一种生化传感器与其制作方法。该生化传感器包括：衬底，具有导电表面以及与导电表面相对的绝缘表面；导电结构，设置在导电表面上，导电结构包括沿远离导电表面依次设置的多个并联的纳米线结构，纳米线结构包括纳米线，任意相邻的纳米线间隔设置；两个电极，设置在导电结构的远离衬底的表面上，两个电极分别与各纳米线的两端电连接；敏感材料，设置在各纳米线上，且各纳米线上的敏感材料相互隔离设置。该生化传感器包括纳米线的堆叠三维结构，且在各纳米线结构上设置敏感材料，增大了待测物质与敏感材料的接触面积，进而提高了传感器的响应度以及灵敏度。

Biochemical sensor and its making method

The present invention provides a biochemical sensor and a method for making the same. The biochemical sensor includes a substrate, a conductive surface, and an insulated surface relative to the conductive surface; the conductive structure is set on a conducting surface. The conductive structure includes a plurality of parallel nanowire structures arranged along the surface of the conductive surface, the nanowire structure includes nanowires, and the spacing of any adjacent nanowires is set. The two electrodes are arranged on the surface of the conductive structure far away from the substrate, and the two electrodes are electrically connected to both ends of the nanowires, and the sensitive materials are set at the nanowires, and the sensitive materials on the nanowires are isolated from each other. The biosensor includes the stacked three-dimensional structure of nanowires, and the sensitive material is set on the nanowire structure. The contact area of the material to be measured and the sensitive material is increased, and the response degree and sensitivity of the sensor are improved.

【技术实现步骤摘要】
生化传感器与其制作方法
本申请涉及传感器领域，具体而言，涉及一种生化传感器与其制作方法。
技术介绍
生物和化学传感器(生化传感器)在化工、制药、生物医学、环境监测和食品安全等诸多领域有着广泛而重要的应用，与人们的生产生活息息相关。电阻型生化传感器因其结构简单、精度高、测量范围广、寿命长、以及易于实现微型化等，研究最为广泛和深入。电阻型生化传感器的工作原理为：将被测物理量的变化转换成电阻值的变化，再经相应的测量电路显示或记录被测量值的变化。电阻型生化传感器的响应度以及灵敏度是决定其性能好坏的关键参数，但是，目前，电阻型生化传感器的响应度以及灵敏度普遍较低。
技术实现思路
本申请的主要目的在于提供一种生化传感器与其制作方法，以解决现有技术中生化传感器的响应度以及灵敏度较低的问题。为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种生化传感器，该生化传感器包括：衬底，具有导电表面以及与上述导电表面相对的绝缘表面；导电结构，设置在上述导电表面上，上述导电结构包括沿远离上述导电表面依次设置的多个并联的纳米线结构，各上述纳米线结构包括纳米线，任意相邻的上述纳米线间隔设置；两个电极，设置在上述导电结构的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种生化传感器，其特征在于，所述生化传感器包括：衬底(1)，具有导电表面(10)以及与所述导电表面(10)相对的绝缘表面；导电结构，设置在所述导电表面(10)上，所述导电结构包括沿远离所述导电表面(10)依次设置的多个并联的纳米线结构(3)，各所述纳米线结构(3)包括纳米线(32)，任意相邻的所述纳米线(32)间隔设置；两个电极(4)，设置在所述导电结构的远离所述衬底(1)的表面上，且两个所述电极(4)分别与各所述纳米线(32)的两端电连接；以及敏感材料(5)，设置在各所述纳米线(32)上，且各所述纳米线(32)上的所述敏感材料(5)相互隔离设置。

【技术特征摘要】
1.一种生化传感器，其特征在于，所述生化传感器包括：衬底(1)，具有导电表面(10)以及与所述导电表面(10)相对的绝缘表面；导电结构，设置在所述导电表面(10)上，所述导电结构包括沿远离所述导电表面(10)依次设置的多个并联的纳米线结构(3)，各所述纳米线结构(3)包括纳米线(32)，任意相邻的所述纳米线(32)间隔设置；两个电极(4)，设置在所述导电结构的远离所述衬底(1)的表面上，且两个所述电极(4)分别与各所述纳米线(32)的两端电连接；以及敏感材料(5)，设置在各所述纳米线(32)上，且各所述纳米线(32)上的所述敏感材料(5)相互隔离设置。2.根据权利要求1所述的生化传感器，其特征在于，所述导电结构还包括：支撑结构(2)，所述支撑结构(2)用于支撑所述纳米线结构(3)。3.根据权利要求2所述的生化传感器，其特征在于，所述支撑结构(2)为多个且设置在所述导电表面(10)上，各所述支撑结构(2)包括两个在第一方向上间隔设置的支撑部(21)，各所述纳米线结构(3)还包括两个在所述第一方向上间隔设置的连接部(31)，所述纳米线(32)连接在两个所述连接部(31)之间，在所述纳米线(32)的两侧，所述支撑部(21)与所述连接部(31)交替堆叠设置，所述第一方向平行于所述导电表面(10)，两个所述电极(4)分别设置在所述连接部(31)或所述支撑部(21)的表面上。4.根据权利要求1所述的生化传感器，其特征在于，所述衬底(1)包括绝缘层(12)以及设置在所述绝缘层(12)上的顶衬底层(13)，所述顶衬底层(13)的远离所述绝缘层(12)的表面为所述导电表面(10)，所述绝缘层(12)的远离所述顶衬底层(13)的表面为所述绝缘表面。5.根据权利要求4所述的生化传感器，其特征在于，所述衬底(1)还包括底衬底层(11)，所述底衬底层(11)设置在所述绝缘表面上，优选所述衬底(1)为SOI衬底。6.根据权利要求2所述的生化传感器，其特征在于，与所述导电表面(10)接触设置的为所述支撑结构(2)，与所述电极(4)接触设置的为所述纳米线结构(3)。7.根据权利要求2所述的生化传感器，其特征在于，所述支撑结构(2)的材料与所述纳米线结构(3)的材料的刻蚀选择比大于100。8.根据权利要求2所述的生化传感器，其特征在于，所述支撑结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷华湘，张青竹，张兆浩，徐忍忍，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11