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本申请提供了一种生化传感器与其制作方法。该生化传感器包括：衬底，具有导电表面以及与导电表面相对的绝缘表面；导电结构，设置在导电表面上，导电结构包括沿远离导电表面依次设置的多个并联的纳米线结构，纳米线结构包括纳米线，任意相邻的纳米线间隔设置；...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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