技术问题：提供一种能够抑制微粒的产生并容易进行基板装卸的基板保持器。解决手段：本发明专利技术的一个方式的基板保持器用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体、和吸附部。上述框体具有在上述基板的厚度方向上与上述基板的周缘部相对的相对面。上述吸附部设置在上述相对面，且构成为能够静电吸附上述基板的周缘部的至少一部分。
Substrate holder, vertical substrate conveying device and substrate processing device
Technical problem: provide a substrate holder which can inhibit the generation of particles and easily carry out the loading and unloading of substrates. Solution: a substrate holder in one way of the invention is used for a longitudinal substrate conveying device, which can hold a position to maintain a substrate. The substrate holder has a frame, and an adsorption section. The frame has a relative face opposite to the circumference of the substrate on the thickness direction of the substrate. The adsorption part is arranged on the relative surface and is configured to be at least part of the peripheral part which can adsorb the substrate above.
【技术实现步骤摘要】
基板保持器、纵式基板输送装置以及基板处理装置
本专利技术涉及一种能够以立起姿势保持基板的基板保持器、和具备其的纵式基板输送装置以及真空处理装置。
技术介绍
近年来，广泛使用有载体循环型的直列溅射装置。这种直列溅射装置已知以使基板横卧的姿势进行输送的横型(水平)输送方式、和以使基板立起的姿势进行输送的纵式(垂直)输送方式。相较于横型输送方式，纵式输送方式具有的优点是：能够将因基板大型化而导致的装置设置面积的增加抑制在最小限度。在纵式输送装置中，使用有以大致垂直的姿势输送基板的载体。对于载体，需要能够稳定地保持基板姿势的基板保持结构。例如在专利文献1中，记载了一种利用设置在载体的开口部周缘的多个夹具保持基板的结构。另外，在专利文献2中，公开了一种通过静电吸附来吸附搭载在载体上的基板背面(非成膜面)，从而防止基板的翘曲的结构。现有技术文献专利文献专利文献1：WO2008/133139号公报专利文献2：日本专利公开2007-96056号公报
技术实现思路
(一)要解决的技术问题然而，在专利文献1的结构中，基板周边的机械式夹持机构所产生的微粒(particle)可能会附着在基板上而造成成膜不良。另外，在专利文献2所述的结构中，静电吸附部设置在保持基板背面的内板上，因此存在基板对于载体的装卸操作复杂的问题。鉴于如上所述的问题，本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制微粒的产生并容易进行基板装卸的基板保持器、和具备其的纵式基板输送装置以及基板处理装置。(二)技术方案为了达成上述目的，本专利技术的一个方式的基板保持器用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备：框体、和吸附部。上述框体具有在上述基板的厚度方向上与上述基板的周缘部相对的相对面。上述吸附部设置在上述相对面，且构成为能够静电吸附上述基板的周缘部的至少一部分。上述基板保持器构成为通过在与基板的周缘部相对的框体的相对面上设置的吸附部而静电性地吸附基板，因此，相较于使用夹持机构的基板保持结构，能够抑制微粒的产生。另外，吸附部设置在与基板的周缘部相对的框体的相对面上，因此至少将基板背面(非成膜面)维持在开放状态。由此，通过对被开放的基板背面使用可以接近(access)的输送机器人，能够容易地进行基板对框体的装卸。上述框体也可以进一步具有框状的掩膜部，该掩膜部划定上述基板的成膜区域。在该情况下，上述相对面设置在与上述基板的周缘部相对的上述掩膜部的一部分上。根据该结构，能够通过掩膜部划定基板的成膜区域，并保持基板的成膜面的周缘部。上述吸附部也可以具有设置在上述相对面上的多个卡盘区域。上述多个卡盘区域分别含有卡盘用电极。由此，能够吸附基板的周缘部的多处，因此能够稳定地保持基板。上述基板保持器也可以进一步具备电源电路，该电源电路设置在上述框体，并能够向上述多个卡盘区域供给电力。由此，能够不需要设置来自外部的电源供给线。上述电源电路也可以具有能够个别地向上述多个卡盘区域供给电力的控制部。由此，能够分别对各卡盘区域中的吸附开始/解除动作进行控制，因此能够抑制基板的翘曲、弯曲的发生。本专利技术的一个方式的纵式基板输送装置具备：基板保持器、和输送单元。上述基板保持器具有：框体，其具有在上述基板的厚度方向上与基板的周缘部相对的相对面；吸附部，其设置在上述相对面，且构成为能够静电性地吸附上述基板的周缘部的至少一部分。上述输送单元以立起姿势输送上述基板保持器。本专利技术的一个方式的基板处理装置具备：基板保持器、输送单元、和处理单元。上述基板保持器具有：框体，其具有在上述基板的厚度方向上与基板的周缘部相对的相对面；吸附部，其设置在上述相对面，且构成为能够静电性地吸附上述基板的周缘部的至少一部分。上述输送单元以立起姿势输送上述基板保持器。上述处理单元对由上述基板保持器所保持的上述基板进行处理。(三)有益效果如上所述，根据本专利技术，能够抑制微粒的产生并容易进行基板的装卸。附图说明图1是概略性地表示本专利技术一个实施方式的基板保持器的主视图。图2是图1的A-A线方向的概略截面图。图3是表示本专利技术一个实施方式的基板处理装置结构的概略俯视图。图4是图3的B-B线方向的概略截面图。图5是表示上述基板处理装置的移载单元的一个结构例的概略侧视图。图6是表示图1所示的基板保持器的结构变形例的概略正视图。附图标记说明10-框体；11-开口部；12-掩膜部；13-相对面；14-桥接部；20-吸附部；21-卡盘区域；22-电源电路；23-配线群；100、1100-基板保持器；200-溅射装置；300-纵式基板输送装置；400-移载单元；W-基板；W1-成膜面；W2-非成膜面。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。[基板保持器]图1是概略性地表示本专利技术一个实施方式的基板保持器100的主视图。图2是图1的A-A线方向的概略截面图。此外在各图中，X轴、Y轴及Z轴表示互相正交的三个轴方向，在本实施方式中，分别相当于基板保持器100的厚度方向、宽度方向以及高度方向。基板保持器100使用于后述的纵式基板输送装置，作为用于在保持为大致垂直的姿势(立起姿势)的状态下输送基板W的载体而构成(图4)。纵式基板输送装置不限于以垂直的姿势输送基板W的方式，也包括使基板W相对于垂直方向倾斜约5°左右而进行输送的情况。也就是说，在上述立起姿势中，不限于字面意义上的垂直的姿势，也含有大致垂直的姿势。上述纵式基板输送装置适用于后述的基板处理装置(图3)。基板处理装置，例如由直列式溅射装置构成。基板W在典型的情况下为矩形的玻璃基板，其大小无特别限定，例如使用有G4至G6尺寸的基板。基板保持器100具有：框体10、和吸附部20。(框体)框体10由在纵向上具有长边的矩形板状部件构成，典型地，由不锈钢、铝合金等金属材料构成。框体10以比基板W更大的厚度形成，其具有：与成膜源(在本例中为溅射阴极)相对的表面101、和其相反侧的背面102(参照图2)。在框体10的面内，设置有可以以立起姿势收容基板W的矩形的开口部11。在开口部11的周缘部设置有框状的掩膜部12，其划定基板W的成膜区域。掩膜部12设置于开口部11的内周缘部的整个区域，以比框体10的厚度更小的厚度形成。如图2所示，掩膜部12具有与框体10的表面101连接的表面部121，且以其厚度朝向顶端部逐渐减小的方式形成。掩膜部12的背面部122以与框体10的背面102间介由阶梯部的方式形成，且构成与基板W的成膜面W1的周缘部相对的相对面13。由此，从框体10的表面101向外部露出基板W的表面(成膜面W1)的除去周缘部的区域，从框体10的背面102露出基板W的背面(非成膜面W2)的整个区域。相对面13由在基板W的厚度方向上与基板W的周缘部相对的平面构成，在本实施方式中，设置在掩膜部12的一部分(背面部122)上。相对面13构成为在基板W的成膜面W1的周缘部的全周上相对，在其面内，设置有能够静电性地吸附基板W的吸附部20。(吸附部)吸附部20设置在相对面13上，其构成为能够静电吸附基板W的周缘部的至少一部分。吸附部20在典型的情况下由静电卡盘构成，如图1所示，其内置于设置在相对面13上的多个卡盘区域21。吸附部20设置于各卡盘区域21，并具有通过被施加规定以上的电压而显现出对于基板W的静电本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基板保持器，其用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体和吸附部，所述框体具有在所述基板的厚度方向上与所述基板的周缘部相对的相对面，所述吸附部设置在所述相对面，且构成为能够静电性地吸附所述基板的周缘部的至少一部分。
【技术特征摘要】
2017.01.12 JP 2017-0033381.一种基板保持器，其用于纵式基板输送装置，能够以立起姿势保持基板，所述基板保持器具备框体和吸附部，所述框体具有在所述基板的厚度方向上与所述基板的周缘部相对的相对面，所述吸附部设置在所述相对面，且构成为能够静电性地吸附所述基板的周缘部的至少一部分。2.根据权利要求1所述的基板保持器，其特征在于，所述框体还具有框状的掩膜部，该掩膜部划定所述基板的成膜区域，所述相对面设置在与所述基板的周缘部相对的所述掩膜部的一部分上。3.根据权利要求1或2所述的基板保持器，其特征在于，所述吸附部具有设置在所述相对面上的多个卡盘区域，所述多个卡盘区域分别含有卡盘用电极。4.根据权利要求3所述的基板保持器，其特征在于，还具备电源电路，该电源电路设置在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：冈正，箱守宗人，织井雄一，
申请(专利权)人：株式会社爱发科，
类型：发明
国别省市：日本,JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。