The utility model has a high efficiency, convenient operation and good reliability for the loading mechanism of a chip magnetron sputtering machine, including a loading frame, at least one loading slot on the loading frame, and a positioning slot around the loading slot on the loading frame, and the loading frame is arranged on the bottom of the loading slot. A bar with fixed material, upper terminal on the upper part of the loading frame, lower terminal in the lower part of the loading frame, and a cross section in the lower part of the lower terminal; the upper part of the loading frame is connected with the upper card set on the upper plate of the sputtering machine, the lower part of the loading frame and the lower clip on the lower plate set in the sputtering machine. The lower fixture is connected with the driven gear on the lower plate.
【技术实现步骤摘要】
一种用于片式磁控溅射机的装料机构
本技术涉及一种用于片式磁控溅射机的装料机构。
技术介绍
磁控溅射(magnetron-sputtering)是70年代迅速发展起来的一种“高速低温溅射技术”。磁控溅射是在阴极靶的表面上方形成一个正交电磁场。当溅射产生的二次电子在阴极位降区内被加速为高能电子后,并不直接飞向阳极,而是在正交电磁场作用下作来回振荡的近似摆线的运动。高能电子不断与气体分子发生碰撞并向后者转移能量、使之电离而本身变成低能电子。这些低能电子最终沿磁力线漂移到阴极附近的辅助阳极而被吸收,避免高能电子对极板的强烈轰击,消除了二极溅射中极板被轰击加热和被电子辐照引起损伤的根源,体现磁控溅射中极板“低温”的特点。由于外加磁场的存在,电子的复杂运动增加了电离率,实现了高速溅射。磁控溅射的技术特点是要在阴极靶面附近产生与电场方向垂直的磁场,一般采用永久磁铁实现。传统的片式磁控溅射镀膜机,采用治具相对固定的单面溅射工艺,这样子就造成:当基片第一面溅射工艺完成后,需要对溅射腔体降温,冲开腔门,取下所有的治具手动对基片进行翻面,然后再重新装载治具进行反面的溅射工艺。传统的治具在进行类似的工艺时,一方面大大拉长了工艺时间,增加了不必要的劳动力;另一方面就是增加了基片在溅射过程中的风险,在翻片过程中,有可能会造成基片的破损,更重要的是会带入污染物,即使是非常微小的空气漂浮物都可能影响到溅射成品的质量。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:提供一种效率高、操作方便、可靠性好的用于片式磁控溅射机的装料机构。为解决上述技术问题,本技术所采用的技术方案为:用于片式磁控溅射机的装料机 ...
【技术保护点】
1.用于片式磁控溅射机的装料机构,包括装料框架,其特征在于:所述装料框架上设有至少一个装料槽口,装料框架上在装料槽口的四周设有一圈定位槽,装料框架上在装料槽口上下方分别设有固定物料的压条,装料框架上部设有上端子,装料框架下部设有下端子,下端子下部设有呈十字状的定位部;装料框架上部与设置在溅射机内的上大盘上的上卡具相连接,装料框架下部与设置在溅射机内的下大盘上的下卡具相连接,下卡具与下大盘上的从动齿轮相连接,下卡具上表面设有与装料框架下边沿相配合的十字槽,下卡具在十字槽中部设有与下端子上的定位部相配合的安装孔;上卡具下表面设有与装料框架上边沿相配合的十字槽,上卡具在十字槽中部设有与上端子相配合的安装孔。
【技术特征摘要】
1.用于片式磁控溅射机的装料机构,包括装料框架,其特征在于:所述装料框架上设有至少一个装料槽口,装料框架上在装料槽口的四周设有一圈定位槽,装料框架上在装料槽口上下方分别设有固定物料的压条,装料框架上部设有上端子,装料框架下部设有下端子,下端子下部设有呈十字状的定位部;装料框架上部与设置在溅射机内的上大盘上的上卡具相连接,装料框架下部与设置在溅射机内的下大盘上的下卡具相连接,下卡具与下大盘上的从动齿轮相连接,下卡具上表面设有与装料框架下边沿相配合的十字槽,下卡具在十字槽中部设有与下端子上的定位部相配合的安装孔;上卡具下表面设有与装料框架上边沿相配合的十字槽,上卡具在十字槽中部设有与上端子相配合的安装孔。2.如权利要求1所述的用于片式磁控溅射机的装料机构,其特征在于:所述压条正反面四周都设有45°倒角;装料框架上在装料槽口四周都设有45°倒角。3.如权利要求2所述的用于片式磁控溅射机的装料机构,其特征在于:所述定位槽的深度为0.2-0.4mm。4.如权利要求1所述的用于片式...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈洋,朱小明,薛新忠,高永全,王列松,
申请(专利权)人:苏州华博电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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