防溅射分子沉结构制造技术

本发明专利技术涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统技术领域，尤其涉及一种防溅射分子沉结构。防溅射分子沉结包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；圆筒形防溅射靶翅片组与第一冷却管连接；底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；底端防溅射靶翅片组与第二冷却管连接。本发明专利技术在于提供一种防溅射分子沉结构，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
防溅射分子沉结构
本专利技术涉及一种用于地面电推进试验等离子空间环境模拟设备中的防溅射系统
，尤其是涉及一种防溅射分子沉结构。
技术介绍
电推进羽流主要由气体电离形成的等离子体组成，包含束流等离子体和电荷交换等离子体，会对航天器产生溅射污染效应，既包括带电粒子和中性粒子的沉积污染，又有高速带电粒子对航天器表面溅射刻蚀造成的溅射污染。在地面电推进试验中，当高能束流离子和电荷交换离子碰撞于真空舱舱壁材料表面时，只要离子能量大于被碰撞材料的溅射阈值就会产生溅射污染，从而影响真空舱内粒子分布情况，严重影响实验结果。因此，需要对防溅射分子沉进行合理设计。国际上一些适用于电推进的大型真空舱的防溅射分子沉结构的设计结构主要有平板式，异形式两种。但是现有的的防溅射分子沉结构的防溅射靶的结构简单，且在进行长时间地面电推进实验以及沉积污染物成分、质量分析时，溅射产物的空间分布及返流污染物都会对实验结果造成影响。因此，本申请针对上述问题提供一种新的防溅射分子沉结构。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种防溅射分子沉结构，以解决现有技术中存在的防溅射靶对溅射产物及返流污染物的降低效果不佳的技术问题。基于上述目的，本专利技术提供一种防溅射分子沉结构，包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；所述圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；所述圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；所述第一冷却管呈环形，且所述第一冷却管有多个，多个所述第一冷却管的轴线方向重合；多个所述第一冷却管通过所述第一管和所述第二管固定连接，形成圆筒形，且所述第一管、所述第二管和多个所述第一冷却管之间均相连通；所述第一管上连接有第一进液口，所述第二管上连接有第一出液口；所述圆筒形防溅射靶翅片组与所述第一冷却管连接，形成所述圆筒形的侧壁，所述侧壁内形成腔体；所述底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；所述底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；所述第三管上连接有第二进液口，所述第四管上连接有第二出液口；所述第二冷却管有多个，且多个所述第二冷却管沿垂直于长度方向间隔设置；多个所述第二冷却管通过所述第三管和所述第四管固定连接，且所述第三管、所述第四管和多个所述第二冷却管之间均相连通；所述底端防溅射靶翅片组与所述第二冷却管连接，以封堵相邻所述第二冷却管之间的空隙；还包括连接管；所述连接管呈环形，所述第二进液口和所述第二出液口均和所述连接管连通；所述连接管通过所述第一管和所述第二管与所述第一冷却管连通，且所述连接管的轴线方向与所述圆筒形的轴线方向重合，所述连接管令所述底端防溅射靶形成所述圆筒形的底板。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述第一管和所述第二管的轴线方向平行；所述第一管和所述第二管分别连接于所述第一冷却管沿径向方向的两端，且所述第一管和所述第二管分别连接于所述连接管沿径向方向的两端；所述防溅射分子沉结构为卧式结构，且所述第一管位于所述第二管的底端。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述的防溅射分子沉结构，还包括进液总管；所述进液总管设置于所述第一管远离所述第二管的一侧，且所述进液总管的轴线方向与所述第一管的轴线方向平行；沿所述圆筒形的轴线方向，所述圆筒形具有相对应的第一端和第二端，且所述底端防溅射靶位于所述第二端；多个所述第一冷却管中靠近所述第一端的第一冷却管为第一端管，所述连接管为第二端管；所述第一管靠近所述第一端管的位置与所述进液总管连通，且所述第一管靠近所述第二端管的位置与所述进液总管连通；所述进液总管上连接有所述第一进液口。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述进液总管通过第一软管连通有进液管；所述第二管通过第二软管连通有出液管；所述进液管上设置有所述第一进液口；所述出液管上设置有第一出液口。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述第三管的中心线和所述第四管的中心线均呈圆弧状；所述第三管的中心线和所述第四管的中心线共圆，且所述第三管和所述第四管对称设置于所共圆的圆形沿径向方向的两端；所述第二冷却管沿延伸方向的两端分别连通所述第三管和所述第四管；所述连接管的轴线方向和所述所共圆的圆形的轴线方向重合；所述第三管位于所述第四管的底端；所述第二进液口位于所述第三管沿延伸方向的中间位置；和/或，所述第二出液口位于所述第四管沿延伸方向的中间位置。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述第二冷却管包括冷却直管；所述冷却直管沿轴线方向的一端通过第一连接弯管连通所述第三管，另一端通过第二连接弯管连通所述第四管；且多个所述第二冷却管的冷却直管沿所述第三管的延伸方向均匀设置；所述第三管上还设置有缓冲管；所述缓冲管与所述第二进液口连通。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述圆筒形防溅射靶翅片组包括第一翅片和第二翅片；沿所述第一翅片的长度方向，所述第一翅片首尾相围接形成环体；沿所述第二翅片的长度方向，所述第二翅片首尾相围接形成环体；沿所述第一冷却管的轴线方向，所述第一冷却管的一端连接有所述第一翅片，另一端连接有所述第二翅片，且所述第一翅片和所述第二翅片的轴线方向和所述第一冷却管的轴线方向重合；沿所述圆筒形的轴线方向，所述第一翅片和所述第二翅片依次间隔设置；相邻所述第一冷却管之间的所述第一翅片和所述第二翅片之间相配合，以令所述圆筒形防溅射靶翅片组形成的所述圆筒形的侧壁为封闭的侧壁；所述底端防溅射靶翅片组包括第三翅片和第四翅片；所述冷却直管沿径向方向的一端连接有所述第三翅片，另一端连接有所述第四翅片；沿所述第三管的延伸方向，所述第三翅片和所述第四翅片依次间隔设置；相邻所述冷却直管之间的所述第三翅片和所述第四翅片之间相配合，以令所述底端防溅射靶翅片组封闭。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述第一翅片连接于所述第一冷却管远离轴线的一侧；所述第二翅片连接于所述第一冷却管靠近轴线的一侧；沿所述第三管的中心线所在圆形的轴线方向，所述冷却直管的一端连接有所述第三翅片，另一端连接有所述第四翅片。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术沿所述第一翅片的轴线方向，所述第一翅片包括相对应的第一连接端和第二连接端，所述第一连接端与所述第一冷却管连接，所述第一连接端呈弧形，且与所述第一冷却管相对应；和/或，沿所述第二翅片的轴线方向，所述第二翅片包括相对应的第三连接端和第四连接端，所述第三连接端与所述第一冷却管连接，所述第三连接端呈弧形，且与所述第一冷却管相对应；沿所述第三翅片的宽度方向，所述第三翅片包括相对应的第五连接端和第六连接端，所述第五连接端与所述冷却直管连接，所述第五连接端呈弧形，且与所述冷却直管相对应；和/或，沿所述第四翅片的宽度方向，所述第四翅片包括相对应的第七连接端和第八连接端，所述第七连接端与所述冷却直管连接，所述第七连接端呈弧形，且与所述冷却直管相对应；所述第二连接端向靠近所述第一翅片的轴线的方向弯折，所述第四连接端向远离所述第二翅片的轴线的方向弯折，且所述第二连接端与所述第四连接端相对应；沿所述第三管的中心线所在圆形的轴线方向，所述第六连接端和所述第八连接端分别向两侧弯折，且所述第六连接端与所述第八连接端相对应。在上述任一技术方案中，进一步地，本专利技术所述的防溅射分子沉结构，还包括圆筒形防溅射本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防溅射分子沉结构，其特征在于，包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；所述圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；所述圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；所述第一冷却管呈环形，且所述第一冷却管有多个，多个所述第一冷却管的轴线方向重合；多个所述第一冷却管通过所述第一管和所述第二管固定连接，形成圆筒形，且所述第一管、所述第二管和多个所述第一冷却管之间均相连通；所述第一管上连接有第一进液口，所述第二管上连接有第一出液口；所述圆筒形防溅射靶翅片组与所述第一冷却管连接，形成所述圆筒形的侧壁，所述侧壁内形成腔体；所述底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；所述底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；所述第三管上连接有第二进液口，所述第四管上连接有第二出液口；所述第二冷却管有多个，且多个所述第二冷却管沿垂直于长度方向间隔设置；多个所述第二冷却管通过所述第三管和所述第四管固定连接，且所述第三管、所述第四管和多个所述第二冷却管之间均相连通；所述底端防溅射靶翅片组与所述第二冷却管连接，以封堵相邻所述第二冷却管之间的空隙；还包括连接管；所述连接管呈环形，所述第二进液口和所述第二出液口均和所述连接管连通；所述连接管通过所述第一管和所述第二管与所述第一冷却管连通，且所述连接管的轴线方向与所述圆筒形的轴线方向重合，所述连接管令所述底端防溅射靶形成所述圆筒形的底板。...

【技术特征摘要】
1.一种防溅射分子沉结构，其特征在于，包括圆筒形防溅射靶和底端防溅射靶；所述圆筒形防溅射靶包括圆筒形防溅射靶骨架主体和圆筒形防溅射靶翅片组；所述圆筒形防溅射靶骨架主体包括第一管、第二管和第一冷却管；所述第一冷却管呈环形，且所述第一冷却管有多个，多个所述第一冷却管的轴线方向重合；多个所述第一冷却管通过所述第一管和所述第二管固定连接，形成圆筒形，且所述第一管、所述第二管和多个所述第一冷却管之间均相连通；所述第一管上连接有第一进液口，所述第二管上连接有第一出液口；所述圆筒形防溅射靶翅片组与所述第一冷却管连接，形成所述圆筒形的侧壁，所述侧壁内形成腔体；所述底端防溅射靶包括底端防溅射靶骨架主体和底端防溅射靶翅片组；所述底端防溅射靶骨架主体包括第三管、第四管和第二冷却管；所述第三管上连接有第二进液口，所述第四管上连接有第二出液口；所述第二冷却管有多个，且多个所述第二冷却管沿垂直于长度方向间隔设置；多个所述第二冷却管通过所述第三管和所述第四管固定连接，且所述第三管、所述第四管和多个所述第二冷却管之间均相连通；所述底端防溅射靶翅片组与所述第二冷却管连接，以封堵相邻所述第二冷却管之间的空隙；还包括连接管；所述连接管呈环形，所述第二进液口和所述第二出液口均和所述连接管连通；所述连接管通过所述第一管和所述第二管与所述第一冷却管连通，且所述连接管的轴线方向与所述圆筒形的轴线方向重合，所述连接管令所述底端防溅射靶形成所述圆筒形的底板。2.根据权利要求1所述的防溅射分子沉结构，其特征在于，所述第一管和所述第二管的轴线方向平行；所述第一管和所述第二管分别连接于所述第一冷却管沿径向方向的两端，且所述第一管和所述第二管分别连接于所述连接管沿径向方向的两端；所述防溅射分子沉结构为卧式结构，且所述第一管位于所述第二管的底端。3.根据权利要求2所述的防溅射分子沉结构，其特征在于，还包括进液总管；所述进液总管设置于所述第一管远离所述第二管的一侧，且所述进液总管的轴线方向与所述第一管的轴线方向平行；沿所述圆筒形的轴线方向，所述圆筒形具有相对应的第一端和第二端，且所述底端防溅射靶位于所述第二端；多个所述第一冷却管中靠近所述第一端的第一冷却管为第一端管，所述连接管为第二端管；所述第一管靠近所述第一端管的位置与所述进液总管连通，且所述第一管靠近所述第二端管的位置与所述进液总管连通；所述进液总管上连接有所述第一进液口。4.根据权利要求3所述的防溅射分子沉结构，其特征在于，所述进液总管通过第一软管连通有进液管；所述第二管通过第二软管连通有出液管；所述进液管上设置有所述第一进液口；所述出液管上设置有第一出液口。5.根据权利要求1所述的防溅射分子沉结构，其特征在于，所述第三管的中心线和所述第四管的中心线均呈圆弧状；所述第三管的中心线和所述第四管的中心线共圆，且所述第三管和所述第四管对称设置于所共圆的圆形沿径向方向的两端；所述第二冷却管沿延伸方向的两端分别连通所述第三管和所述第四管；所述连接管的轴线方向和所述所共圆的圆形的轴线方向重合；所述第三管位于所述第四管的底端；所述第二进液口位于所述第三管沿延伸方向的中间位置；和/或，所述第二出液口位于所述第四管沿延伸方向的中间位置...

【专利技术属性】
技术研发人员：贺碧蛟，郑鸿儒，任翔，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京,11