【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光电集成，尤其是涉及一种复合材料集成光学陀螺用芯片、制备方法及工作方法。
技术介绍
1、基于saganc效应的光纤陀螺目前是光学传感领域发展最为完善的技术系统，它是一种利用光信号来测量物体角速度的光学惯性传感器，具有结构简单、体积小、重量轻、无接触、无磨损以及无电磁干扰等优点，广泛应用于航空航天、国防、船舶、汽车以及机器人等领域。但目前光纤陀螺存在成本较高，无法保证分立器件统一性，难以批量化生产等问题，限制了该系统本身以及其行业的进一步发展。
2、集成光学芯片是目前光电领域的研究热点之一，其通过微纳加工手段，可实现各种光学功能器件的片上集成，利用片上光波导代替光纤实现片上光互联，可替代传统光功能器件，结构尺寸仅数毫米甚至数十微米量级，随之衍生了光纤陀螺发展方向，即集成光学陀螺，利用微纳加工技术将光纤陀螺的光学器件集成在一个芯片上的技术，可以大大减少光纤陀螺的体积、重量、器件数量和连接复杂度，从而降低光纤陀螺的成本和功耗。
3、光纤陀螺有五大核心器件，其中传统调制器采用铌酸锂体材料作为相位调制的功能核...
【技术保护点】
1.一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：包括按照输入光的传输顺序设置有分束器、起偏器、调制器以及波导环；
2.根据权利要求1所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：分束器、起偏器以及调制器的波导芯层均为脊形波导结构；
3.根据权利要求1所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：波导环为氮化硅波导环，氮化硅波导环的波导宽度为1.8-2.2μm，波导厚度为0.3μm，氮化硅波导环上下包覆有二氧化硅包层；
4.根据权利要求3所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：第三直线波导与氮化硅波导环具有至少一个交...
【技术特征摘要】
1.一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：包括按照输入光的传输顺序设置有分束器、起偏器、调制器以及波导环；
2.根据权利要求1所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：分束器、起偏器以及调制器的波导芯层均为脊形波导结构；
3.根据权利要求1所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：波导环为氮化硅波导环，氮化硅波导环的波导宽度为1.8-2.2μm，波导厚度为0.3μm，氮化硅波导环上下包覆有二氧化硅包层；
4.根据权利要求3所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：第三直线波导与氮化硅波导环具有至少一个交叉点，每一交叉点的损耗小于等于0.25db；
5.根据权利要求1所述的一种复合材料集成光学陀螺用芯片，其特征在于：分束器为y形分束器，y形分束器包括输入波导、传输波导以及输出波导，输入波导和输出波导均与传输波导相连接，输出波导通过薄膜铌酸锂波导与...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯丽爽，焦洪臣，李鑫宇，周震，冯迪，裴文轩，王思源，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：
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