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温梯法旋转多坩埚晶体生长系统技术方案

技术编号:1828253 阅读:197 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种温梯法旋转多坩埚晶体生长系统,包括:晶体炉,坩埚及其支撑装置,其中晶体炉包括炉体、发热体和炉膛;炉体从外到内依次包括外壳、保温棉层、保温砖层和耐火层;坩埚支撑装置包括升降台,位于升降台上的多个坩埚导向管支架和导向管支架上的坩埚导向管,与升降台连接的引下装置,与引下装置连接的升降电机和电源,导向管支架和导向管之间设置有紧固装置,坩埚置于坩埚导向管内;其特征在于:    所述的坩埚支撑装置是可旋转多坩埚支撑装置,每个导向管支架的下端设置有旋转轴,旋转轴贯穿升降台,旋转轴下端伸出升降台的部分分别连接有互相啮合的齿轮,其中一个旋转轴比其它旋转轴长,该较长旋转轴上的齿轮通过联轴器连接一固定在升降台上的旋转电机;    所述的耐火层高度为炉膛总高度的2/3-5/6;    所述的发热体位于炉膛1/4-1/2高度处。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:万尤宝
申请(专利权)人:万尤宝
类型:发明
国别省市:

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