电化学加工方法及其设备技术

一种电化学加工设备，包括：一个加工室，用来容纳超纯净水；一个阴极／阳极，浸在加工室内的超纯净水中；以及一个工件保持器，用来将工件保持在距离阴极／阳极的一个预定距离上，使工件的加工表面与超纯净水相接触。这种电化学加工设备还包括：一个阳极／阴极接触面，与被工件保持器所保持的工件相接触，从而，工件起阳极／阴极的作用；一种催化剂，具有强碱性阴离子交换功能或强酸性阳离子交换功能；一个电源，用来在阴极／阳极与工件之间施加一个电压；以及一个运动机构，用来使工件和催化剂实现相对运动。催化剂是设置在阴极／阳极与被工件保持器所保持的工件之间。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种电化学加工方法，包括：将一个作为阳极的工件和一个阴极设置在超纯净水中，使所述工件与所述阴极之间有一个预定的间隔距离；将具有阴离子交换功能的一种催化剂设置在所述工件与所述阴极之间；以及在所述工件与所述阴极之间施加电压时，使所述 工件和所述催化剂进行相对运动。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：森勇藏，白樫充彦，当间康，小畠严贵，齐藤孝行，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，森勇藏，
类型：发明
国别省市：JP[日本]