【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机(二)
技术介绍
在VFD真空镀膜生产线的总体设计中，考虑到成本问题，大多釆 用了对靶双面镀膜的设备结构，即采用四块磁控溅射阴极靶，左右两 两相对，可同时对两侧装载的玻璃基片进行镀膜，设备的生产效率提 高一倍。同时在对靶之间要加入活动挡板(对开挡板)，来解决双面镀 膜时阴极靶材料相互沉积污染问题。但是，由于真空系统热传导能力 差、橡胶件动密封易泄漏的特殊性，以及磁控溅射高温工艺的具体要 求，使得一般的挡板机构极易产生挡板热变形，无法长时间保证真空 镀膜生产线正常的生产和运行。(三)
技术实现思路
为了克服现有VFD双面真空镀膜设备的挡板机构易产生挡板热变 形的不足，本技术提供一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补 偿机构，可对挡板的热变形进行补偿。本技术解决其技术问题的技术方案是: 一种VFD双面真空镀 膜设备的挡板热变形补偿机构，包括挡板，所述挡板由数条并排的条 形不锈钢带组成，每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。进一步，每条所述条形不锈钢带的厚度为O.lmm，每条所述条形不锈钢带的宽度为20mm。使用时，拉簧的另一端钩设在镀膜设备上固定，使拉簧具有一定 的预先拉力，本技术的有益效果在于带预拉力的条形不锈钢带 可以补偿挡板长度方向上的受热变形。而并置五条条形不锈钢带则可用以补偿挡板宽度方向上的温度差。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式以下结合附图和具体实施方式对本技术作进一歩详细说明。参照图1， l.一种VFD双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构， 包括挡板，所述挡板由数条并排的条形不锈钢...
【技术保护点】
一种ＶＦＤ双面真空镀膜设备的挡板热变形补偿机构，包括挡板，其特征在于：所述挡板由数条并排的条形不锈钢带组成，每条不锈钢带的下端均挂设有拉簧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：董学军，章浙根，王正品，
申请(专利权)人：宁波华联电子科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：33[中国|浙江]
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