用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法制造方法及图纸

一种用于对准基板和罩板的装置以及使用该装置的方法，其中该装置包括：在基板和罩板的未使用部分中的对准标记，用于在基板与罩板对准时确定对准标记重叠的传感单元，以及用于根据由传感单元所测量和确定的数据而控制对准过程重复进行的控制单元。传感单元可以包括：位于拍摄范围之内以确定对准标记的任何对准误差的照相机。根据本发明专利技术的另一实施例，测量基板和罩板间的对准误差来确定该对准误差是否可以接受。当该对准误差不可接受时，重复进行对准基板和罩板的操作，直至对准误差可以接受为止。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及基板和罩板，更具体地说，涉及一种。
技术介绍
作为一种类型的平板显示器，电致发光显示器可以根据发射层所使用的材料分为无机电致发光显示器或有机电致发光显示器。由于有机电致发光显示器能用低电压驱动、轻薄、视角宽以及响应快速，因此逐渐引起人们的关注。常规有机电致发光显示器包括带有堆叠在基板上的阳极、有机材料层和阴极的有机电致发光装置。有机材料层包括通过空穴与电子的复合而发射可见光的有机发射层。此外，为了将空穴和电子传输至该发射层以及提高发射效率，可以在阴极和有机发射层之间插入电子注入层和电子传输层，并且可以在阳极和有机发射层之间插入空穴注入层和空穴传输层。具有该结构的有机电致发光装置可以通过诸如真空沉积法、离子电镀法或电镀等物理气相沉积法制成，或者可以通过使用气体反应的化学气相沉积法制成。真空沉积法已经被广泛用于通过在真空中汽化有机材料而使有机气体材料沉积在基板上。这种真空沉积法采用喷射单元将在真空室中汽化的有机气体材料喷射到基板上。从而可以形成有机电致发光装置的有机材料层。近来，为了制造大尺寸显示器，基板的尺寸也被扩大了。因此，沉积系统也被开发出来，以在更大的基板上沉积有机材料层，其中喷射单元在真空室中垂直移动并喷射有机气体材料。这种沉积系统包括用于使喷射单元垂直移动的驱动轴，并且该驱动轴通过驱动装置绕一根轴转动。随着驱动轴绕该轴转动，喷射单元垂直移动并喷射通过汽化有机材料而获得的有机气体材料。此外，为了防止在喷射有机气体材料期间大基板下陷，可以使用一种使基板与处于固定状态的罩板对准的垂直对准系统。因此，需要一种用于使该应用于垂直对准系统的喷射单元精确移动的装置以及使用该装置的对准方法。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于通过移动应用于垂直对准系统的喷射单元而对准基板和罩板的装置以及使用该装置的对准方法。本专利技术的其它特征将在以下描述中进行说明，且其中的部分特征可从这些描述中清楚地看到，或者通过实施本专利技术来获悉。本专利技术公开一种用于对准基板和罩板的装置，包括位于基板的未使用部分中的第一对准标记；位于罩板的未使用部分中的第二对准标记；传感单元，用以在通过驱动单元和台架对准基板和罩板时测量第一对准标记相对于第二对准标记的位置；以及控制单元，用于根据由传感单元测量和确定的数据，控制执行随后的过程并重复进行对准过程。本专利技术公开一种用于对准罩板和用于发射装置的基板的方法，包括将带有第一对准标记的基板附着到带有第二对准标记的罩板；将第二对准标记近似对准在第一对准标记上；测量第一对准标记和第二对准标记之间的对准误差；在对准误差根据预定的标准不可接受的情况下，将基板从罩板移开并调整基板和罩板的相对位置，以减小该对准误差。可以理解，上面的概要描述和下面的详细描述都是示例性和解释性的，目的在于进一步解释权利要求所保护的本专利技术。附图说明以下所包括的附图用于进一步帮助理解本专利技术，它们被并入到说明书中作为该说明书的一部分，这些附图和描述一起用于说明本专利技术的实施例，并用于解释本专利技术的原理。图1表示根据本专利技术实施例的用以对准罩板和用于发射装置的基板的对准装置。图2A和图2B表示根据本专利技术实施例的基板和底盘的正视图。图2C表示图2A和图2B所示的基板和底盘之间的对准标记的放大图。图3表示根据本专利技术实施例的对准装置的框图。图4表示根据本专利技术实施例的通过对准装置对准基板和罩板的流程图。具体实施例方式在下文中将参照表示本专利技术示例性实施例的附图更全面地描述本专利技术。然而，本专利技术可能表现为多种不同的形式，且不应被解释为局限于这里描述的实施例。而应理解为，提供这些实施例是为了充分公开，并向本领域的技术人员全面传达本专利技术的范围。在附图中，为了清楚起见，将层和区域的尺寸及与其相关的尺寸进行了放大。图1表示根据本专利技术实施例的用以对准罩板和用于发射装置的基板的对准装置。图2A和图2B表示根据本专利技术实施例的基板和底盘的正视图。图2C表示图2A和图2B所示的基板和底盘之间的对准标记的放大图。图3表示根据本专利技术实施例的对准装置的框图。根据本专利技术实施例的用于对准罩板和用于发射装置的基板的对准装置100包括对准标记110，该对准标记110包括标在基板102的未使用部分102a中的基板标记112和标在处于直立状态的罩板104的未使用部分104a中的罩板标记114；传感单元130，用以当基板102由支架106支撑并通过驱动单元108与罩板104对准时，拍摄基板102的对准标记112和罩板104的对准标记114是否彼此重叠；以及控制单元140，用以根据测量的数据确定基板标记112和罩板标记114是否精确对准，以及用以控制驱动单元108和台架109，从而细致地调整基板102。如图1所示，传感单元130包括照相机132，该照相机132用以拍摄标在基板102和罩板104上并且在基板102附着到罩板104时彼此对准的基板标记112和罩板标记114。如图2A、图2B和图2C所示，对准标记110标在基板102和罩板104的边缘上。如图所示，对准标记110包括直径约为0.3mm且被用作对准点的基板标记112，以及直径约为1mm且被用作参照点的罩板标记114。这样，基板102和罩板104间的对准误差就可以通过计算基板标记112相对于罩板标记114的位置来获得。例如，当罩板标记114的中心与基板标记112的中心对准时，对准误差为“0”。此处，为了方便起见，将对准点和参照点分别限定为基板标记和罩板标记。无论驱动单元108和台架109移动与否，照相机132都被固定住，并且被定位在与对准标记110对应且在基板102和罩板104的拍摄范围之内。驱动单元108驱动基板102前后移动，并在垂直和水平方向上细致地调整台架109。控制单元140包括读出器142，该读出器142处理接收自照相机132的图像数据并确定基板102和罩板104间的对准误差是否可以接受。控制单元140进一步包括控制器144，该控制器144根据所确定的对准误差控制驱动单元108和台架109进行操作。当读出器142确定基板102和罩板104间的对准误差不可接受时，控制器144控制驱动单元108将基板102从罩板104移除，并控制台架109调整对准误差，从而将基板102重新定位到校正的位置。然后，控制器144控制驱动单元108在该校正的位置上对准基板102和罩板104。在校正的位置上对准基板102和罩板104之后，照相机132再次拍摄对准标记110，并且读出器142也再次确定对准误差。如果对准误差还是不可接受，则控制器144控制驱动单元108和台架109矫正得到新的对准误差，并对准基板102和罩板104。相反，当读出器142确定基板102和罩板104间的对准误差可以接受时，则完成该对准过程，并且可以在基板102与罩板104对准的期间执行预定的过程。下面将参照图4描述根据本专利技术实施例的使用该对准装置对准基板和罩板的方法。参见图4，在操作S1，基板102移动靠近罩板104，至例如约3μm的距离。在操作S2，将基板102附着到罩板104，并测量基板102和罩板104间的对准标记110的对准误差。当在操作S2中对准误差不可接受时，则在操作S3校正该对准误差，其中将基板102从罩板104移开，然后操作返回至操作S1，其中基板102移本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对准基板和罩板的装置，包括：驱动单元；台架；传感单元，用以在通过驱动单元和台架对准基板和罩板时测量第一对准标记相对于第二对准标记的位置；控制单元，用以根据由传感单元测量和确定的数据重复进行对准过程，　 　其中第一对准标记位于基板的未使用部分中，第二对准标记位于罩板的未使用部分中。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑星和，韩尚辰，姜有珍，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]