用于对准托盘和托盘固定器的装置制造方法及图纸

一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：形成的带有连接孔的垂直定位的托盘，以及具有连接臂以与这些连接孔连接并且防止托盘和托盘固定器弯曲的托盘固定器。该托盘包括能够容纳基板的基板框，并且该托盘固定器与驱动轴连接，以将垂直位置的托盘传送到用于汽相淀积的罩板。多个导引轴的一端可靠接触托盘固定器的后侧，以防止该托盘固定器弯曲。该托盘可以具有磁连接部件，并且该托盘固定器可以具有对应于这些连接部件的支撑部件。这些支撑部件能够在由相应凹槽或突起决定的位置与连接部件磁连接，以对准托盘和托盘固定器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种托盘和托盘固定器的对准装置，更具体地说，涉及一种托盘和托盘固定器的对准装置，该装置包括具有连接孔的垂直安置的托盘以及具有与该连接孔连接的连接臂的固定板。
技术介绍
一般来说，电场发光显示器是一种类型的平板显示器，根据发光层所用的材料，可以将其分为无机电致发光显示器或有机电致发光显示器。由于有机电致发光显示器能够用低电压驱动，而且通常比较轻、薄、视角大且图像显示反应速度快，故而有机电致发光显示器技术得到了重点发展。有机电致发光显示器的有机电致发光设备包括层压在基板上的正电极、有机材料层和负电极。有机材料层通过使空穴与电子复合而发光。为了将空穴和电子有效传送到有机发光层，可以在负电极和有机发光层之间插入电子注入层和电子传送层，并在正电极和有机发光层之间插入空穴注入层和空穴传送层。这样，就可以使发光效率提高。具有上述结构的有机电致发光设备可以通过诸如真空淀积法、离子电镀法或喷镀法等物理汽相淀积法，或者利用气体反应的化学汽相淀积法制备。特别地，对于形成有机电致发光设备的有机材料层来说，又以真空淀积法的运用最为普遍。在真空淀积中，有机材料在真空室内被汽化而形成汽化有机材料，该汽化有机材料随后通过淀积源被喷射并且淀积到基板上。随着平板显示器逐渐变大，有机电致发光显示器中基板的尺寸也逐渐变大。由于将大基板置于水平位置而用于真空淀积可能会导致基板偏斜以及淀积材料的缺陷，因此开发出这样的汽相淀积系统，在该系统中汽相淀积源沿垂直方向运动进入真空室并将有机汽化材料喷射到位于垂直位置时的基板上。该汽相淀积系统包括用于使汽相淀积源在垂直方向上运动的驱动轴，并且该驱动轴由驱动设备转动。由于该驱动轴的转动，使得汽相淀积源可以在垂直运动的同时喷射出通过汽化有机材料形成的汽化有机材料。此外，随着基板逐步变大，垂直对准系统也正在发展，在该垂直对准系统中，基板和罩板在它们被垂直定位时被对准。该垂直对准系统可以包括基板托盘固定器，该基板托盘固定器往复运动以使基板被固定在垂直位置。具有与基板连接的连接部件的固定板，能够伸出并且被垂直定位。然而，由于该固定板能够被垂直定位，因此可能发生偏移。此外，由于基板和罩板被垂直定位，因此可以开发出其中能够使竖立的基板和罩板垂直固定和传送的托盘。另外，为了使基板和罩板竖立，可以开发出托盘固定器，且在该托盘固定器中，当托盘被传送到用于淀积的腔室时，可以使该托盘被垂直安置。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，其中，基板被紧固到托盘上，而且在托盘中形成多个具有连接突起的连接孔，该托盘在其被垂直定位时被传送；而且托盘固定器包括用于插入该连接孔以在期望的对准位置连接托盘和该托盘固定器的连接臂。本专利技术的其它特征将会在随后的描述中进行阐明，并且其中的部分特征将从这些描述中清楚地看到，或者通过实施本专利技术而获悉。本专利技术公开一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括能够容纳基板的托盘；多个在该托盘中形成的连接孔，所述的多个连接孔之一具有连接突起，托盘固定器以及多个与该托盘固定器连接并从该托盘固定器延伸出的连接臂，所述的多个连接臂之一对应于所述的多个连接孔之一并且具有连接凹槽以啮合所述连接突起。此外，该托盘与该托盘固定器连接，并且能够在当连接凹槽与连接突起啮合时而被垂直定位的同时被传送。本专利技术还公开一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括能够使托盘连接到其上以使该托盘垂直定位的托盘固定器，以及用于当托盘与托盘固定器相连接时支撑该托盘的支撑部件。本专利技术还公开一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括驱动单元，其中托盘固定器与通过驱动源驱动的活动轴的一端连接；包括连接臂的连接件，该连接臂与托盘固定器相连接并能够与垂直定位的托盘连接；以及第一导引轴。此外，该第一导引轴的第一端与该托盘固定器相连接，且该导引轴可以防止托盘固定器弯曲。应该理解，上面的综述和下面的详述都是示例性和解释性的，并且意在对权利要求所保护的专利技术作进一步说明。附图说明所包括的附图用以进一步帮助理解本专利技术，并且被并入说明书中构成说明书的一部分，这些附图用于例示本专利技术的实施例，并与说明书一起用以解释本专利技术的原理。图1A示出位于常规真空淀积系统的缓冲区域中的汽相淀积源的示意图。图1B示出位于常规真空淀积系统的层形成区域中的汽相淀积源的示意图。图2示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的示意性透视图。图3A示出根据本专利技术一实施例的图2中托盘对准装置的局部侧截面视图。图3B示出根据本专利技术另一实施例的图2中托盘对准装置的局部侧截面视图。图3C示出图3B中托盘对准装置的局部侧截面视图。图4A示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的正视图。图4B示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的后视图。图4C示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的侧视图。图5A示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的固定器固定部件的视图。图5B示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的辅助连接部件的视图。图6A示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘的基板、基板框以及支撑基板的托盘的视图。图6B示出根据本专利技术一实施例的与托盘对准装置的支撑基板的托盘分离的基板的视图。图6C示出根据本专利技术一实施例的连接到托盘对准装置的支撑基板的托盘的基板的视图。图7A示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘和对准板的装配视图。图7B示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的支撑基板的托盘和对准板的装配侧视图。图8A示出根据本专利技术一实施例的容纳对准板的连接臂和支撑部件的托盘的固定器固定部件和连接部件。图8B示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置中的对准板的连接臂和支撑部件。图9示出根据本专利技术一实施例的托盘对准装置的示意性侧视图。图10示出根据如图9所示的本专利技术一实施例的托盘对准装置的侧视图。图11示出根据本专利技术一实施例的托盘固定器对准装置的示意性侧截面视图。图12示出根据本专利技术一实施例的图11中的托盘固定器对准装置的导引轴和固定板的接触位置。具体实施例方式下面将参照示出本专利技术实施例的附图更加全面地描述本专利技术。然而，本专利技术可以通过多种不同形式进行实现，而不应被理解为仅限于这里所阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了公开充分，以及向本领域的技术人员全面传达本专利技术的范围。在附图中，为了清楚起见，将层和区域的尺寸以及相对尺寸进行了夸大。相同的附图标记表示相同或类似的部件。图1A示出位于常规真空淀积系统的缓冲区域中的汽相淀积源的示意图。图1B示出位于常规真空淀积系统的层形成区域中的汽相淀积源的示意图。参见图1A和图1B，在真空汽相淀积系统的真空室10中安装有在其上形成有机材料层的基板30，位于基板30前侧的罩板40，以及与罩板40分开的汽相淀积源20。罩板40和基板30通过对准系统(未示出)对准，二者被相邻放置为要么接触，要么彼此分开较小的距离，并且它们中每一个都被固定到卡盘50上。罩板40包括在虚线之内所示的图案形成部分，其中形成对应于将要在基板上形成的有机材料层图案的图案；以及通过诸如焊接等加固方法固定到罩板框(未示出)上的固定部分。真空室10可以分为层形成区域B，该区域B对应于罩板40和基板30的位置；以及缓冲区域A，该区域A对应于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对准托盘和托盘固定器的装置，包括：能够容纳基板的托盘；多个在该托盘中形成的连接孔，所述多个连接孔之一具有连接突起；托盘固定器；以及多个与该托盘固定器连接并从该托盘固定器伸出的连接臂，所述多个连接臂之一 与所述多个连接孔之一对应并具有连接凹槽以啮合该连接突起，其中该托盘与该托盘固定器连接并且能够当该连接凹槽与连接突起啮合时被垂直放置地进行传送。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：郑星和，韩尚辰，姜有珍，
申请(专利权)人：三星移动显示器株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]