排放系统技术方案

一种排放系统，包含配置以接收排放混合物的入口。排放系统进一步包含连接至入口的排放管。排放系统进一步包含连接至排放管的震动组件。排放系统进一步包含连接至排放管的旁通管。排放系统进一步包含回馈路径，由外部气体源延伸至震动组件，其中回馈路径与排放管分离。

drain off system

A discharge system including an inlet configured to receive a discharge mixture. The drain system further includes the drain pipe connected to the inlet. The discharge system further includes a vibration assembly connected to the discharge pipe. The drain system further includes a bypass pipe connected to the drain pipe. The emission system further includes a feedback path extending from the external gas source to the vibration component, where the feedback path is separated from the drain pipe.

【技术实现步骤摘要】
排放系统
此揭露是有关于一种排放系统。
技术介绍
排放系统中的乱流区阻碍了排放系统上游的气体与粒子的移除。排放管中的弯折与连接处降低了排放气体的移动速度而扰乱了排放气流，其减低了泵送效率。在排放系统悬浮或输送的微粒物质倾向堆积于排放系统中的乱流区。排放管中微粒物质的堆积降低了排放管中可用以排放气体与粒子流通过排放系统的面积。微粒物质的堆积降低了泵送效率并导致维护成本增加，需手动移除堆积的微粒物质以维护排放气流于所欲程度的不受干扰，因此降低了作业效率。
技术实现思路
一种排放系统，包含入口、排放管、震动组件、旁通管以及回馈路径。入口配置以接收排放混合物。排放管连接至入口。震动组件连接至排放管。旁通管连接至排放管。回馈路径由外部气体源延伸至震动组件，其中回馈路径与排放管分离。附图说明图1A为依据一些实施方式的震动组件的剖面图；图1B为依据一些实施方式的震动组件的剖面图；图2A为依据一些实施方式描绘出气体流量与震动组件的加速度/速度间关系的图表；图2B为依据一些实施方式描绘出气体压力与震动组件的加速度/速度间关系的图表；图3为依据一些实施方式的排放系统的示意图；图4为依据一些实施方式的排放系统作业的流程图；图5为依据一些实施方式的用以控制排放系统的控制器的方块图。具体实施方式接下来的揭露提供许多不同的实施方式或范例，以实施所提出标的物的不同特征。元件、数值、作业、材料、摆设或类似的特定范例，将于下文详述以简化本揭露。当然，此仅为举例而非限制。亦可构思其他元件、数值、作业、材料、摆设等等。举例而言，本揭露中第一特征形成于第二特征上或上方，在其后可包含第一特征与第二特征为直接接触的实施方式，而亦可包含于第一特征与第二特征之间形成额外特征的实施方式，如此第一特征与第二特征可不为直接接触。此外，本揭露可在多种范例中使用重复的参考编码及/或字母。此重复的目的乃为简易及清晰度，而非宣告所讨论的多种实施方式及/或配置之间的关系。进一步而言，为了便于描述，本文可使用诸如“下面”、“下方”、“下部”、“上方”、“上部”及类似者等空间相对性术语来描述如图中所图示的一个元件或特征与另一元件(或多个元件)或特征(或多个特征)的关系。除了图中所描绘的定向外，空间相对性术语意欲囊括使用或操作中的元件的不同定向。设备可经其他方式定向(旋转90度或处于其他定向)且因此可同样解读本文所使用的空间相对性描述词。另外，术语“由…制成”可意指“包括”或“由…组成”。许多排放系统会处理包含有微粒物质的排放流。在一些例子中，微粒物质堆积于排放系统中，特别于乱流区。流动干扰造成通过排放系统的流速下降。通过排放系统的流速随排放管中直径、弯曲以及排放管间连接的变化而改变。与排放系统的标准气流相比之下，降低的流速导致悬浮于排放系统中的粒子更加频繁的接触并附着于排放系统管线的内壁，或附着于黏附于内壁上的其他粒子。举例而言，排放系统的入口的排放管倾向于具有较大的直径。与直径较小的排放管相比，排放管的较大直径降低了排放管中的流速。标准流速能克服使粒子黏附于排放管内壁或其他粒子的摩擦力。然而，在流速降低处，粒子附着于排放管内壁的风险增加。附着的粒子会造成复合效应，一旦开始，将会促使更多的粒子附着于排放管中一开始的粒子堆积处。随着时间经过，排放系统中的粒子堆积降低了排放系统的流速。降低的流速对应至降低的粒子移除效率。在一些例子中，降低的流速与降低的粒子移除效率导致了半导体晶圆或由制造设备处理的其他物品的污染。在一些例子中，降低的粒子移除效率提高了预防性维护的频率。维护排放系统以移除附着粒子能使堵塞的系统回复至标准性能。然而，维护包含在其过程中将连接至排放系统的工具自正常作业中移除。肇因于微粒污染的维护降低了制造设备的可用性与生产力。在一些实施方式中，排放管的内壁为涂层表面。在一些实施方式中，在受涂布的表面上的涂层包含聚四氟乙烯(polytetrafluoroethylene,PTFE)、聚氨酯(polyurethane)、聚丙烯(polypropylene)、尼龙(nylon)或其他与不锈钢相比具有更小的静摩擦力的涂层。搅动附着于排放管内壁的粒子有助排放管中的气流从内壁移除粒子，从而降低排放管中的粒子堆积。通过产生排放管的震动以搅动排放管中的粒子。排放管的位移传递至粒子并把粒子推回排放管中央，其处具有最高的流速。通过搅动排放管中的粒子，减缓排放管中的粒子堆积。就结果而言，延长了预防性维护的时程、附接于排放管的制造工具持续作业了较长的时间并且增加了整体产能。图1A为依据一些实施方式的震动组件100的剖面图。震动组件100包含震动元件110以及固定装置120。震动元件110连接至固定装置120。在震动元件110与固定装置120之间有垫片130。固定装置120是配置以将震动组件100连接至排放系统的排放管150。此领域中的通常技艺者应能识得图1A中标示的排放管150是为清楚起见，且并非震动组件100的部分。震动元件110是配置以产生震动位移，透过固定装置120传送震动位移至排放管150。震动元件110包含入口112以及出口114。入口112配置以接收气流，而出口114配置以输出气流。入口112与出口114皆连接至腔体116。可移动元件115位于腔体116中。从腔体116的入口112通过腔体116至出口114的气流创造出流通路径118。气体沿流通路径118移动造成可移动元件115在腔体116中位移。通过控制流速及/或气压，由震动元件110使可移动元件115的位移产生震动运动。在一些实施方式中，震动元件110具有不同配置。举例而言，在一些实施方式中，震动元件110含有马达，马达配置以转动具有不平衡重量的元件。不平衡重量的转动造成了震动元件110的震动运动。在一些实施方式中，省略可移动元件115而控制通过腔体116的气体速度以创造震动运动。震动元件110包含强壮且坚韧的材料，其具有足够的机械强度以免受可移动元件115伤害。震动元件110的重量增加时，震动运动所产生的动能亦增加；然而，需增加通过腔体116的气体速度以产生震动运动。在一些实施方式中，震动元件110包含不锈钢、铁、铝或其他适当的材料。入口112配置以接收气流。在一些实施方式中，入口112包含穿越口以接收用以导引气流的导管。在一些实施方式中，入口112包含检查阀(checkvalve)以防止气流从入口112的方向流出腔体116。在一些实施方式中，入口112包含可控制阀配置以选择性地允许气流进入腔体116。当入口112的直径D1增加时，沿着流通路径118的气体速度下降。沿着流通路径118较高的气体速度会增加可移动元件115的速率并增加震动运动的频率。在一些实施方式中，入口112的直径D1介于约1厘米至约5厘米之间。出口114是配置以输出气流。在一些实施方式中，出口114包含穿越口以接收导引气流的导管。在一些实施方式中，出口114包含检查阀以防止气流从出口114的方向进入腔体116。在一些实施方式中，出口114包含可控制阀配置以选择性地允许气流离开腔体116。当出口114的直径D2增加时，沿着流通路径118的气体速度下降。在一些实施方式中，出口114的直径D2介于约1厘米至约5厘米之间。在一些实施方式中，出口114本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种排放系统，其特征在于，包含：一入口，配置以接收一排放混合物；一排放管，连接至该入口；一震动组件，连接至该排放管；一旁通管，连接至该排放管；以及一回馈路径，由一外部气体源延伸至该震动组件，其中该回馈路径与该排放管分离。

【技术特征摘要】
2016.11.29 US 62/427,647;2017.04.04 US 15/478,6721.一种排放系...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄柏勋，杨东霖，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71