一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置制造方法及图纸

技术编号：1811823 阅读：157 留言：0更新日期：2012-04-11 18:40

一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置，包括回转工作台（３）、主工作台（４）和驱动装置（９），所述回转工作台（３）设置在主工作台（４）上方，所述驱动装置（９）包括电机（１５）和主传动轴（１０），所述主工作台（４）设置在主传动轴（１０）上，其特征在于：所述主工作台（４）上设置有回转部件（８），该回转部件（８）包括锁紧装置（２）、传动装置（１１）和回转驱动装置（５），传动装置（１１）设置在主工作台（４）与回转工作台（３）间，所述回转工作台（３）与传动装置（１１）间为可绕传动装置（１１）的中心轴（１３）旋转的轴联接，锁紧装置（２）设置在中心轴（１３）上；所述回转驱动装置（５）包括回转驱动盘（１４）和驱动轮（１２），所述回转驱动盘（１４）设置在主工作台（４）下方的主传动轴（１０）上，其通过驱动轮（１２）与传动装置（１１）联接，所述主工作台（４）和回转驱动盘（１４）联接；所述主工作台（４）外端设置有外棘轮（１）。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

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【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置。上述主传动轴10与主工作台4联接处可设置上内棘轮6。上述主传动轴10与回转驱动盘14联接处可设置下内棘轮7。上述传动装置11可采用伞齿轮组或斜齿轮组等。上述锁紧装置2可采用弹簧夹头锁紧装置。本技术具有以下优点本技术位于真空室内，可实现工件装夹、分度回转等离子清洗和分度回转镀膜，工作范围大，可确保镀膜位置。主传动轴10与主工作台4联接处设置有上内棘轮6。主传动轴10与回转驱动部件14联接处设置有下内棘轮7。棘轮为限位部件，主要用于配合主工作台4实现限位及回转工作台实现运动传递。回转运动动力传递是通过真空室外的步进式伺服系统经磁密封的主轴传入的。上述传动装置11为伞齿轮组或斜齿轮组。参见图2，主传动轴10逆时针回转为驱动分度，顺时针回转为去除驱动。为了确保正确定位，需要过限位部件上的棘爪与主工作台外圆上棘齿反向设置，即设计的内齿与外齿齿向相反，以限定主传动轴10在顺时针回转时，主工作台4停留在当前工位位置。六个回转工作台3按设定的工位及工序顺序进行运动，完成加工工作。回转工作台3的运动传递元件为直齿轮及二对共齿伞齿轮，回转工作台3上可配装不同的工装，对工件进行装夹。同时，该工作台能够向外偏摆0°～60°的摆角，以适应不同加工工艺的要求。摆角调整好后，可通过该部件的弹簧夹头锁紧。分度回转工作台3的主传动轴10转速通过降速比i＝0.26降速，分度及回转的速度为0.26n。分度及回转工艺过程信号的提供，可通过限位部件中设置的光电开关及分度工作台主工作台4下面的分度通光环配合提供，通过微机进行工位工序控制。分度回...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱克志，李东生，赵玉清，
申请(专利权)人：陕西百纳科技发展有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：

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