温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置，包括回转工作台（３）、主工作台（４）和驱动装置（９），所述回转工作台（３）设置在主工作台（４）上方，所述驱动装置（９）包括电机（１５）和主传动轴（１０），所述主工作台（４）设置在主传动轴（１０）上，其...该专利属于陕西百纳科技发展有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过陕西百纳科技发展有限责任公司授权不得商用。
温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置，包括回转工作台（３）、主工作台（４）和驱动装置（９），所述回转工作台（３）设置在主工作台（４）上方，所述驱动装置（９）包括电机（１５）和主传动轴（１０），所述主工作台（４）设置在主传动轴（１０）上，其...