一种制备超硬薄膜的离子源装置的滤质器，包括滤质管、设置于滤质管外部且与磁场电源相接的螺线管、设置于滤质管出口处的出口光阑，所述滤质管内设置有捕集器，所述螺线管由导线绕制而成，所述的滤质管为波纹管结构；所述的滤质管为弯管。本实用新型结构简...

一种固体离子源支撑支架，包括旋转机构和导向机构，其特征在于：所述旋转机构包括垂直旋转机构和水平旋转机构，所述垂直旋转机构包括固定于底座（５）上的立柱（４），其内设置有丝杠（２），该丝杠（２）上端固定有升降手轮（１），所述立柱（４）的外部...

本实用新型涉及一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置中的阴极靶修磨器。包括支架２、电机９和切削装置５，所述切削装置５包括铣刀１２，该铣刀１２通过刀柄１１夹持在铣刀夹头１０上，电机９通过传动装置８与切削装置５联接，所述传动装置８与铣...

一种用于离子镀膜室的分度回转工作台装置，包括回转工作台（３）、主工作台（４）和驱动装置（９），所述回转工作台（３）设置在主工作台（４）上方，所述驱动装置（９）包括电机（１５）和主传动轴（１０），所述主工作台（４）设置在主传动轴（１０）上...

一种纳米离子低温镀制金刚石膜镀膜机，包括三坐标工作台（２），其特征在于：所述三坐标工作台（２）一侧设置有固体离子源（１６），另一侧设置有气体离子源（１），该固体离子源（１６）主要由滤质器（５）和引弧室（８）构成，所述三坐标工作台（２）通...

一种用于工业生产中制备超硬薄膜的离子源装置，包括离子发生器和离子引出装置，离子发生器包括离子原及产生电离作用的阴极和阳极，阴极和阳极外部分别设置有水冷装置，阴极表面为阴极靶面，阳极为筒状放电室，离子引出装置包括设置于放电室顶部的引出栅极...

一种镀非晶金刚石膜的工艺，其特征在于：该方法包括下列步骤：　　　　１）清洗零件表面；　　　　２）将零件装入镀膜机的真空室中，抽真空达到１＊１０↑［－２］Ｐａ～１＊１０↑［－５］Ｐａ；　　　　３）用固体离子源对零件镀膜表面作碳离子轰击处理...