阴极靶修磨器制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置中的阴极靶修磨器。包括支架２、电机９和切削装置５，所述切削装置５包括铣刀１２，该铣刀１２通过刀柄１１夹持在铣刀夹头１０上，电机９通过传动装置８与切削装置５联接，所述传动装置８与铣刀夹头１０间为磁性联接；所述支架２上设有驱动装置１３，该驱动装置１３与铣刀夹头１０联接；所述切削装置５外侧设有波纹管４。本实用新型专利技术操作简单，工作效率高。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种阴极靶修磨器，尤其是一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置中的阴极靶修磨器。2、工作效率低。由于传统的修磨将该阴极靶卸下，然后进行修磨，这样做会影响离子源装置的正常工作，特别是在生产线上，会造成停工现象，工作效率低。本技术的技术方案是本技术包括支架2、电机9和切削装置5，切削装置5包括铣刀12，该铣刀12通过刀柄11夹持在铣刀夹头10上，其特殊之处在于所述电机9通过传动装置8与切削装置5联接，所述传动装置8与铣刀夹头10间为磁性联接；所述支架2上设有驱动装置13，该驱动装置13与铣刀夹头10联接；所述切削装置5外侧设有波纹管4。上述波纹管4一端通过波纹管固定管14设置在支架2上，另一端通过波纹管移动板3与铣刀夹头10联接。上述支架2包括驱动装置支撑板7和切削装置支撑板1，驱动装置13设置在驱动装置支撑板7上，切削装置5设置在切削装置支撑板1上。上述驱动装置13包括汽缸6，该汽缸6一端通过波纹管移动板3与铣刀夹头10联接，另一端设置在驱动装置支撑板7上。本技术具有以下优点1、操作简单。本技术直接设置在电子源装置中的镀膜装置上，其铣刀可直接伸到阴极靶靶面上进行切削修磨，不需将阴极靶卸下；并且本技术的切削装置外侧设有波纹管，其可保证切削装置与镀膜装置间保持真空，即修磨过程直接在真空状态下完成，不用重新抽真空，操作简单。2、工作效率高。本技术与镀膜装置连为一体，其铣刀可直接伸到阴极靶靶面上进行切削修磨，不需将阴极靶卸下，可以保证生产线工作的连续性，工作效率高。当阴极靶面烧蚀后，由计算机发出指令，将阴极靶收回，同时将靶升到预定的位置，铣刀12在汽缸6的作用下伸到靶面上，铣刀12在电机9的驱动下旋转，阴极靶也同时进行旋转，对阴极靶面进行修磨，修磨完后，将铣刀12收回，阴极靶重新升回工作位置，继续放电工作。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置的阴极靶修磨器，包括支架（２）、电机（９）和切削装置（５），所述切削装置（５）包括铣刀（１２），该铣刀（１２）通过刀柄（１１）夹持在铣刀夹头（１０）上，其特征在于：所述电机（９）通过传动装置（８）与切削装置（５）联接，所述传动装置（８）与铣刀夹头（１０）间为磁性联接；所述支架（２）上设有驱动装置（１３），该驱动装置（１３）与铣刀夹头（１０）联接；所述切削装置（５）外侧设有波纹管（４）。

【技术特征摘要】
1.一种用于工业生产中的制备超硬薄膜的离子源装置的阴极靶修磨器，包括支架(2)、电机(9)和切削装置(5)，所述切削装置(5)包括铣刀(12)，该铣刀(12)通过刀柄(11)夹持在铣刀夹头(10)上，其特征在于所述电机(9)通过传动装置(8)与切削装置(5)联接，所述传动装置(8)与铣刀夹头(10)间为磁性联接；所述支架(2)上设有驱动装置(13)，该驱动装置(13)与铣刀夹头(10)联接；所述切削装置(5)外侧设有波纹管(4)。2.如权利要求1所述的阴极靶修磨器，其特征在于所述波纹管(...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵玉清，
申请(专利权)人：陕西百纳科技发展有限责任公司，
类型：实用新型
国别省市：87[中国|西安]