一种水膜精确控制系统技术方案

本实用新型专利技术一种水膜精确控制系统，其中，包括：传动机构、感应装置以及喷水机构，所述感应装置与所述喷水机构均设于所述传动机构上方，所述感应装置、传动机构以及喷水机构均与一控制器连接。通过使用本实用新型专利技术一种水膜精确控制系统，改善蚀刻设备中喷水结构的不佳，防止水的浪费并且能够控制喷水量避免水膜过厚，其结构简单，易于制造、安装。

【技术实现步骤摘要】
一种水膜精确控制系统
本技术涉及蚀刻辅助设备
，具体涉及一种水膜精确控制系统。
技术介绍
众所周知，现有刻蚀设备生产的电池片在酸性环境下正面磷硅玻璃无法收到保护，需要使用水膜装置将正面覆盖一层水膜，从而达到背面进行酸刻蚀而正面被保护起来的功能。水膜装置通过厂务的水，通过水盒打到喷管中，然后通过喷管喷到硅片的正面。由于硅片一片一片的经过喷管，并且硅片与硅片之间具有一定间隔，所以一直喷水的喷管会造成水的浪费，另一方面如果不能很好的控制水量很容易导致硅片表面的水膜过厚，过厚的水膜在后续的工序中低落到酸液中，会导致溶液被稀释造成废片，除非增大药液的添补计量的问题。
技术实现思路
本申请提供一种水膜精确控制系统，用以解决现有技术中蚀刻设备内的喷水的结构不佳使得喷水不能控制，导致水的浪费以及过厚的水膜会导致酸液的稀释的问题。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种水膜精确控制系统，其中，包括：传动机构、感应装置以及喷水机构，所述感应装置与所述喷水机构均设于所述传动机构上方，所述感应装置、传动机构以及喷水机构均与一控制器连接。上述的水膜精确控制系统，其中，所述传动机构包括：传送滚轴平台、隔挡板，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种水膜精确控制系统，其特征在于，包括：传动机构、感应装置以及喷水机构，所述感应装置与所述喷水机构均设于所述传动机构上方，所述感应装置、传动机构以及喷水机构均与一控制器连接；所述喷水机构包括：水箱、第一导流管、马达、喷嘴组、三通单向阀，所述水箱与所述喷嘴组之间设有所述第一导流管，所述第一导流管的中部设有所述马达，所述三通单向阀设于所述马达与所述喷嘴组之间的所述导流管上；所述马达、所述三通单向阀均与所述控制器连接。

【技术特征摘要】
1.一种水膜精确控制系统，其特征在于，包括：传动机构、感应装置以及喷水机构，所述感应装置与所述喷水机构均设于所述传动机构上方，所述感应装置、传动机构以及喷水机构均与一控制器连接；所述喷水机构包括：水箱、第一导流管、马达、喷嘴组、三通单向阀，所述水箱与所述喷嘴组之间设有所述第一导流管，所述第一导流管的中部设有所述马达，所述三通单向阀设于所述马达与所述喷嘴组之间的所述导流管上；所述马达、所述三通单向阀均与所述控制器连接。2.根据权利要求1所述的水膜精确控制系统，其特征在于，所述传动机构包括：传送滚轴平台、隔挡板，所述隔挡板沿所述传送滚轴平台纵向方向设置，所述传送滚轴平台内的传送滚轴与所述隔挡板相互垂直，所述隔挡板与所述隔挡板之间形成传动道，所述传动滚轴平台内的传动道的数量为三个以上；所述传送滚轴平台与所述控制器连接。3.根据权利要求1所述的水膜精确控制系统，其特征在于，所述感应装置包括：滑行导轨、电动滑块以及光电感应器，所述滑行导轨位于所述传动机构上方，所述滑行导轨面向所述传...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙刘竹，
申请(专利权)人：苏州库睿斯自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32