一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路制造技术

本实用新型专利技术属于太阳能电池片制造技术领域，具体公开了一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，包括建浴主管、若干建浴支管以及支撑架；所述建浴主管的一端安装有建浴主管接头，另一端安装有建浴主管排气堵头；若干所述建浴支管阵列安装在建浴主管的一侧，且建浴支管远离建浴主管的一端安装有建浴支管排气堵头；所述支撑架设有若干个，且间隔设置在建浴支管的底部；所述支撑架包括承载杆，所述承载杆的顶部与建浴支管的对应处均固接有管夹，且管夹与建浴支管卡合；所述承载杆上开设有若干安装孔，且安装孔内活动设有紧固螺栓；本实用新型专利技术能够将药液均匀扩散至建浴区内，保护太阳能电池硅片，使其不易受到建浴区内气泡破开的影响。影响。影响。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路


[0001]本技术涉及太阳能电池片制造
，具体为一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路。

技术介绍

[0002]太阳能电池片的制造过程需要经过很多个步骤，其中对硅片的刻蚀工艺也是必不可少的一部分，硅片在刻蚀过程中，需要使用药液对硅片进行刻蚀。
[0003]刻蚀时需要利用匀流管路（建浴管）对刻蚀段槽内建浴区进行补充循环药液，而现有的刻蚀段通常利用滚轮输送机构对太阳能电池硅片进行输送，在输送过程中通过刻蚀段槽内建浴区后完成对太阳能电池硅片的刻蚀工艺，然而刻蚀过程中当太阳能电池硅晶片经过刻蚀段槽内建浴区时，在建浴区内的溶液需要循环使用，处理液从副槽反复通过泵浦输送到处理槽时，会有大量气泡从建浴管中排出，当气泡接触到硅晶片后，会气泡炸裂，影响硅晶片品质，另外从匀流管路中排至建浴区的溶液无法充分匀流至刻蚀段建浴区内，影响硅晶片品质。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，包括建浴主管、若干建浴支管以及支撑架；所述建浴主管的一端安装有建浴主管接头，另一端安装有建浴主管排气堵头；若干所述建浴支管阵列安装在建浴主管的一侧，且建浴支管远离建浴主管的一端安装有建浴支管排气堵头；所述支撑架设有若干个，且间隔设置在建浴支管的底部；所述支撑架包括承载杆，所述承载杆的顶部与建浴支管的对应处均固接有管夹，且管夹与建浴支管卡合；所述承载杆上开设有若干安装孔，且安装孔内活动设有紧固螺栓。
[0006]优选的，若干所述支撑架的支撑高度由建浴主管到建浴支管尾端依次递增；同一个支撑架上的管夹高度由建浴主管接头到建浴主管排气堵头方向依次递增。
[0007]优选的，所述建浴主管包括建浴主管外管以及设置在建浴主管外管内部的建浴主管内管；所述建浴主管内管的外部套接有第一管内支撑件，且第一管内支撑件的底部与建浴主管外管内壁固接；所述建浴主管内管的顶部阵列开设有主管内管药液排出孔，所述建浴主管内管靠近建浴主管排气堵头的一端安装有建浴主管内管堵头。
[0008]优选的，所述建浴支管包括建浴支管外管以及设置在建浴支管外管内部的建浴支管内管；所述建浴支管内管的外部套接有第二管内支撑件，且第二管内支撑件的底部与建浴支管外管内壁固接；所述建浴支管内管的顶部阵列开设有支管内管药液排出孔，所述建浴支管外管的底部开设有支管外管药液排出孔；所述建浴支管内管靠近建浴支管排气堵头的一端安装有建浴支管内管堵头。
[0009]优选的，所述支管外管药液排出孔包括若干第一排出孔和第二排出孔，且第一排出孔和第二排出孔交错设置；所述第一排出孔设有三个，第二排出孔设有两个。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]1.本技术提供的匀流管路能够匀流、匀速补充药液，进而能够保护太阳能电池硅片，使其不易受到建浴区内气泡破开的影响，不易造成质量问题。
[0012]2.本技术中建浴主管以及建浴支管均为倾斜设置，能够将管路内部的气体沿着建浴主管排气堵头以及建浴支管排气堵头上的排气孔排出，防止气泡流动至建浴区对太阳能电池硅片产生影响。
[0013]3.本技术中支管外管药液排出孔采用三孔、两孔交错设置，可以使药液均匀扩散至建浴区内，高效完成刻蚀作业，提高产能效率。
[0014]4.本技术中支撑架通过紧固螺栓固定在建浴区内，操作简单，便于拆装，进而方便更换不同高度的支撑架。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例1的结构示意图；
[0016]图2为实施例1中建浴主管的截面结构示意图；
[0017]图3为实施例1中建浴支管的截面结构示意图；
[0018]图4为实施例1中支撑架的结构示意图；
[0019]图5为实施例2的整体结构示意图；
[0020]图6为实施例2中建浴主管的截面结构示意图；
[0021]图7为实施例2中建浴支管的仰视结构示意图；
[0022]图8为实施例2中建浴支管的截面结构示意图。
[0023]图中：1、建浴主管；101、建浴主管外管；102、建浴主管内管；103、第一管内支撑件；104、主管内管药液排出孔；105、建浴主管内管堵头；2、建浴支管；201、建浴支管外管；202、建浴支管内管；203、第二管内支撑件；204、支管内管药液排出孔；205、支管外管药液排出孔；206、建浴支管内管堵头；3、支撑架；31、承载杆；32、管夹；33、安装孔；34、紧固螺栓；4、建浴主管接头；5、建浴主管排气堵头；6、建浴支管排气堵头。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0026]在本技术的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，
或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]实施例1：请参阅图1
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4，本技术提供一种技术方案：一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，包括建浴主管1、若干建浴支管2以及支撑架3；所述建浴主管1的一端安装有建浴主管接头4，用于与药液输送管进行连接，另一端安装有建浴主管排气堵头5，且建浴主管排气堵头5偏上方设有排气孔，排气孔外接软管，用于将建浴主管1内的气体排出，防止气泡流动至建浴区对太阳能电池硅片产生影响；若干所述建浴支管2阵列安装在建浴主管1的一侧，且建浴支管2远离建浴主管1的一端安装有建浴支管排气堵头6，且建浴支管排气堵头6偏上方设有排气孔，排气孔外接软管，用于将建浴支管2内的气体排出，防止气泡流动至建浴区对太阳能电池硅片产生影响；所述支撑架3设有若干个，且间隔设置在建浴支管2的底部，且若干所述支撑架3的支撑高度由建浴主管1到建浴支管2尾端依次递增；同一个支撑架3上的管夹32高度由建浴主管接头4到建浴主管排气堵头5方向依次递增；所述支撑架3包括承载杆31，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，其特征在于，包括建浴主管（1）、若干建浴支管（2）以及支撑架（3）；所述建浴主管（1）的一端安装有建浴主管接头（4），另一端安装有建浴主管排气堵头（5）；若干所述建浴支管（2）阵列安装在建浴主管（1）的一侧，且建浴支管（2）远离建浴主管（1）的一端安装有建浴支管排气堵头（6）；所述支撑架（3）设有若干个，且间隔设置在建浴支管（2）的底部；所述支撑架（3）包括承载杆（31），所述承载杆（31）的顶部与建浴支管（2）的对应处均固接有管夹（32），且管夹（32）与建浴支管（2）卡合；所述承载杆（31）上开设有若干安装孔（33），且安装孔（33）内活动设有紧固螺栓（34）。2.根据权利要求1所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，其特征在于：若干所述支撑架（3）的支撑高度由建浴主管（1）到建浴支管（2）尾端依次递增；同一个支撑架（3）上的管夹（32）高度由建浴主管接头（4）到建浴主管排气堵头（5）方向依次递增。3.根据权利要求1所述的一种用于太阳能硅片刻蚀设备中的匀流管路，其特征在于：所述建浴主管（1）包括建浴主管外管（101）以及设置在建浴主管外管（101）内部的建浴主管内管（102）；所述建浴主管...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙刘竹，李冰，
申请(专利权)人：苏州库睿斯自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：