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本实用新型一种水膜精确控制系统，其中，包括：传动机构、感应装置以及喷水机构，所述感应装置与所述喷水机构均设于所述传动机构上方，所述感应装置、传动机构以及喷水机构均与一控制器连接。通过使用本实用新型一种水膜精确控制系统，改善蚀刻设备中喷水结构...
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