本发明专利技术涉及一种用于处理连续柔性基材（１７Ｓ）的连续处理系统，其包括用于解卷绕和卷绕所述基材的两个卷绕室，设置在所述两个室之间的基材路径中的至少一个处理室（Ｂ），以及每个都位于卷绕室（１０；１０’）和至少一个处理室之间的阀（１８），所述阀（１８）被设计为在所述卷绕室以及在至少一个处理室中维持不同的压力级别，所述卷绕室被设置在基座（１１）上，并且可以为了更换基材的目的从设备中抽出。根据本发明专利技术，所述卷绕室（１０；１０’）以及处理室（Ｂ）被设置在不同的相对可移动的基座之中或之上。处理室的基座是固定的并且被设计为围绕所述处理室（Ｂ）的壳体（１）的一部分，以及在操作条件下，也围绕所述卷绕室（１０；１０’），所述壳体包含阀（１８）；所述卷绕室（１０；１０’）被设置在结构（１２）的内部，所述结构（１２）围绕其常规基座（１１）并且具有可被所述阀（１８）封闭的孔。在操作中，所述结构容纳在处理室的壳体（１）的内部。打开的阀门（１８）可以连带地对处理室（Ｂ）以及卷绕室（１０；１０’）通风，并且当阀门（１８）被关闭，卷绕室可以与处理室相独立地被通风。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及带有权利要求1前序部分所述特征的条带处理设备。
技术介绍
所述类型的处理设备主要用于在真空中涂敷柔性条带基材，例如塑料薄片、磁带、薄膜等(例如通过溅射即目标喷雾、最终由磁场加固、蒸发、PVD或CVD处理)，以及附加处理方法，例如预处理/清洁/干燥/表面活化/聚合等。这样需要将以捆或者卷的形式提供的条带基材送入设备中，所述捆或者卷形式的条带基材被放在支撑轴上，这样在涂敷过程中，可以从所述卷上解绕下条带基材。在涂敷间室远端/下游，设置有另一个带有一收紧卷轴的轴，已涂敷的条带基材被重新卷绕到该收紧卷轴上。所述条带涂敷设备大致可以被划分为多个模块(解绕、涂敷和收紧模块)。在已知的设备上，为解绕或者卷绕所述条带基材而双边安装的轴或者圆筒被安装在常规的支架形基座上，这种形式的好处在于所述轴或者圆筒处于相对固定并且牢固的位置关系。当轴或者圆筒都被设置在涂敷模块的两侧时，在更换带轴的过程中，也可以利用隔离措施避免给真空工作的涂敷间室通风。应当注意在每次更换基材捆包的时候，即当从条带基材移动出一个新卷好的捆包的时候，不要给真空工作的涂敷间室通风。因此，众所周知要在单独的模块之间安装空气锁阀门。这样将被再通风的容积明显地减小，因为只有导纳和移动位置被单独地通风，并且有效的涂敷间室将永久地保持被抽空状态。显然，在需要的情况下，可以对整个设备通风。编号为19735603C1的德国专利申请公开了一个带有顺序布置的不同涂敷间室的连续真空涂敷设备，其中每个涂敷间室内部设置有一个滚筒框架，所述滚筒框架包括旁路滚筒、条带测量滚筒以及冷却滚筒。所述滚筒框架可以按照一种方式在其各自的涂敷间室中调整，该方式为后续的间室的滚筒和圆筒可以被相对地调节。所述涂敷间室的磁电源与滚筒框架分开安装，这样可以在不改变圆筒的位置的前提下调整和更换磁电源与滚筒框架。将被处理的条带基材将从解卷绕间室送入涂敷间室并且随后被送入卷起或者卷绕间室，并且在解卷绕间室、卷绕间室与涂敷间室之间设置有真空阀门，此处不对该阀门进行详细描述。编号为10157186C1的德国专利申请公开了另一个连续的真空涂敷单元，其可细分到解卷绕、涂敷、卷绕间室，在这些间室之间设置有空气锁或者条带阀门。设置在可抽真空的解卷绕和卷绕间室中的带轴的轴被设置在所述滚筒框架上，所述带轴轴彼此分离地固定并且可以被单独地从所述设备中移出。与此相反，处理模块中的圆筒被设置在一常规的滚筒框架上。对于所有的滚筒框架，常规固定或者存储点被设置在卷绕间室和处理模块之间的分隔壁上。通过在操作中在卷绕间室和处理模块之间提供50帕的最大压力差值可以避免在操作中滚筒的相对位移。所述处理模块可以被一在其旋转方向上设有访问口的单独的遮盖物封闭。编号为WO99/50472的专利申请公开了一种真空条带涂敷设备，该设备包括一带有相应的设置在常规间室中的缠绕卷轴和解绕卷轴的顺序进料以及出料室，以及至少一单独设置的反应间室(涂敷模块)。条带基材穿过进料和出料室之间的圆筒空气锁，所述空气锁充当压力级。在一种形式中，条带基材可能在彼此滚绕的两个圆筒之间通过，并且在另一形式中，条带基材可以在一个圆筒以及固定的密封块之间通过。这些圆筒空气锁可以被打开，以便引入例如新的条带基材。为达此目的，任何一个圆筒可以被展开，其转动轴被可绕一旋转轴折叠地安装，或者密封块可从圆筒中移出。在所述已知设备的一个实施例中，全部带有驱动器的圆筒和阀门被设置在一个常规基座上，该基座将被放入一个壳体中。借助环形密封件可以真空密封地封闭基座与壳体之间的空隙。然而，考虑到其空间顺序，特别是在所述空气锁阀门区域，不是所有的密封件可以被应用在平面的密封表面上。同样在这个设备中，考虑到存在所述空气锁阀门，可以在不给处理间室通风的情况下更换条带带轴。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供另一种处理设备，其允许在不对整个设备通风即保持处理部分真空的条件下，更换解绕与卷绕带轴。根据本专利技术，上述任务可以被权利要求1的特征所解决。从属权利要求说明了本专利技术的优选实施方式。根据本专利技术，卷绕室和处理室被设置在不同的基座内部或之上，所述不同基座可以相对彼此移动。处理设备的基座是设备壳体的固定部分，在工作时，所述设备壳体还围绕着卷绕部分。卷绕部分被设置在一结构中，所述结构包括其常规基座和朝向处理模块的孔，其相对设备壳体是可移动的，并且所述卷绕部分可以被阀门密封与实际处理设备(或者处理模块)隔开。优选地，整个基座是封闭的板，形成所述结构的壁部。在特定的优选实施例中，在工作条件下，卷绕室的所述基板同时形成整个设备的壳体的壁部。此外，形成在该结构本身的内部的所述基板构成了间室的壁部，所述间室基本为封闭的形式。可以通过所述设备壳体的单独的孔从外部访问卷绕室，在操作过程中该孔可以被紧密密封。所述孔与所述结构的壁中的孔相对应，所述壁承载着卷绕室。在封闭所述阀门并且对卷绕室通风以后，可以对条带带轴进行迅速的更换，而且不需要对整个设备进行通风并且避免了必须将卷绕室从设备壳体中抽出。在一个特别优选的实施例中，结构或者以及设备壳体包括一个围绕着装料和/或卸料孔的密封件。优选地可以通过液压来操作这个密封件，以便其处于密封位置以及非活动位置。当处于后一种位置的时候，可以在不对所述密封件施加压力的条件下，进行对所述卷绕部分的简单的抽出和引入。在密封位置，单独的孔可以被用于改变装料动作，而不用对整个设备通风。优选地，所述密封件可以被用于密封所述壳的平的内部壁，并且可以被放置在所述壁上，以便在需要的时候被用于密封所述结构的边缘部分。优选地，空气锁阀门被设置为带有一允许所述条带基材穿过的孔以及一封闭所述孔的部分，所述主体的密封位置还可以用于在更换基材带轴或者支撑件的时候，支撑所述条带基材。附图说明可以从一个优选实施例的附图中以及基于后续的详细描述了解本专利技术的其他细节以及优点。附图以简单的形式示出了图1是根据本专利技术的整个连续处理设备的示意基础图(截面)；图2是同一连续处理设备的视图，该视图相对图1旋转了90°，该设备带有用于卷绕室的结构，所述结构处于从所述壳体抽出的位置；图3是与图2类似的另一个视图，其中示出了处于工作位置的、带有被插入所述壳体的结构的所述连续处理设备；图4是带有空气锁阀门的卷绕室、结构和壳体的横截面视图；图5是图3的变体，其中设置有以一前一后的方式排列的用于卷绕和解卷绕的两个卷绕室，以及集成到单元中的两个空气锁阀门；图6是一个空气锁阀门的优选实施例。具体实施例方式图1示出了带有一个连续处理设备的壳体1，所述壳体1可以被未详细示出的装置抽真空。在一侧，其带有一个由边缘3围绕的大孔(在本视图中，可看到孔内部)。图2和图3示出了这个主孔5的用途；其允许用于卷绕室10的结构12的插入和抽出，以及整卷的条带材料的插入和抽出，该材料将被设备中的一个处理步骤所处理。在所述边缘3上设置有一个环状密封件4。在所述壳体1的底部区域，仅示出处理组B，例如其可以包含至少一个溅射阴极。全部的旁路和冷却圆筒都是卷绕系统的一部分并且被安装在所述结构12上。图1示出了较小直径的一些旁路圆筒的位置，而这些圆筒在图2和图3中没有进一步详细示出。此处只示出了两个圆筒，即一(上)卷绕或者解卷绕圆筒17以及设置在下端的冷却或涂敷圆筒。图2本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于处理特别是对通过的柔性基材（１７Ｓ）例如条带、薄片以及类似单元涂敷的连续处理设备，其包括每个都用于解卷绕和卷绕所述柔性基材的卷绕室（１０；１０’），设置在所述两个室之间的基材路径中的至少一个处理室（Ｂ），以及每个都集成在卷绕室（１０；１０’）和至少一个处理室之间的阀（１８），所述阀（１８）被设计为在所述卷绕室以及在至少一个处理室中提供不同的压力级别，所述卷绕室被设置在可移动的基座（１１）上，并且可以例如为了更换基材的目的从设备中抽出，其特征在于，所述卷绕室（１ ０；１０’）以及处理室（Ｂ）被设置在不同的相对可移动的基座之中或之上，处理室的基座是固定的并且被设计为围绕所述处理室（Ｂ）的壳体（１）的一部分，以及在操作条件下，也围绕所述卷绕室（１０；１０’），所述壳体包含阀（１８）；所述卷绕室（ １０；１０’）被设置在结构（１２）的内部，包括其基座（１１）并且具有可被所述阀（１８）封闭的孔，所述孔在操作状态被集成到处理室的所述壳体（１）之中；在所述阀（１８）打开的条件下，处理室（Ｂ）与卷绕室（１０；１０’）可以被共同地抽空， 并且在阀（１８）的关闭状态，所述卷绕室可以与处理室单独地被通风。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
【专利技术属性】
技术研发人员：斯特凡海因，
申请(专利权)人：应用薄膜有限责任与两合公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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