在用于处理衬底的设备中的运输装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及在用于处理衬底的设备中的运输装置，该运输装置具有连续的运输段，用于沿着通过若干处理工位的运输线路连续直列地运输衬底，其中，设置了用于将每个衬底定位到固定的处理位置的转移装置。本发明专利技术的目的在于改进普通方法的运输装置的功能以确保缩短循环时间。该目的是用转移装置（９）来实现的，该转移装置具有至少两个匹配的移动组合段（１０），可借助于该组合段来定位衬底（８），其中，交替地分配给运输线路（４）的组合段（１０）形成运输段（５）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在用于处理衬底的设备中的运输装置，该运输装置具有连续的运输 段，用于沿着通过若干处理工位的运输线路连续直列地运输衬底，其中，设置了用 于将每个衬底定位到固定的处理位置的转移装置。
技术介绍
这种运输装置可在用于在若干连续处理工位处理衬底的设备中看到，例如，在 用于多层涂敷例如特种玻璃的真空涂敷设备中。这些装置包括直列的布置，即串联 的不同涂敷工位，其中，借助运输装置将衬底从一个涂敷工位运输至下一个涂敷工 位。与涂敷工位中涂敷过程的构造顺序相一致，通过例如在衬底上进行蒸发或溅射， 来施加不同材料和厚度的各种多层层系。层系中的变化导致衬底在各个涂敷工位中 的不同停留时间。例如，以涂敷过程的连续溅射速率来溅射不同的层厚度导致涂敷 时间与层厚度近似成正比。因此，相对于层系的其它层厚度，双层厚度需要两倍的 停留时间，以将该层厚度施加至该涂敷工位中的衬底。然而在顺序涂敷的设备的直 列构造的情况下，衬底在处理工位中的一个中的最长停留时间决定了在整个涂敷设 备中连续的衬底处理的循环时间。假如一涂敷处理步骤与衬底处理的其它处理步骤 相比需要尤其长的停留时间，则这会导致未充分利用具有较短停留时间的涂敷工 位，并且在总体上降低涂敷设备的生产率。为了解决直列构造的这个问题，在现有技术中提出了一种运输装置，根据WO2004/013375Al，该运输装置具有用于将每个衬底定位到运输线路之外的转移 装置。该设备构造包括连续直线的多个用于对衬底进行真空处理的模块M，且带 有用于在诸模块M之间运输衬底的运输装置，还带有用于将衬底单独定位到模块 M内的转移装置，从而借助转移装置，用于特殊处理的衬底可设置在模块内，而 运输装置可运输通过其的另一衬底以便在邻近模块M中进行处理。运输装置的每 个模块具有一个运输段，该运输段包括由轮3、 4驱动的带1、 2的成对布置(该专 利公布的图1和相关描述)。在这些带1、 2上，其上储存衬底S的衬底固定器9在下部平面B上沿着直列运输方向水平地移动，并且在模块之间转移。为了转移直线原动力，在衬底固定器中设置槽口 9a，该槽口9a与带l、 2的突出部8相配 合(该专利公布的图3和4和相关描述)。转移装置包括带有平台10的支承框架 11，借助驱动的提升装置14可以垂直地调整该平台10，并且该平台IO由旋转安 装的杆12和13来支承(该专利公布的图5和6和相关描述)。转移装置的该结构 可以下降至带l、 2之间和带1、 2的传动平面下方而进入模块的下部，从而衬底S 不受阻碍的水平运动可以借助带来发生(该专利公布的图3和4)。 一旦衬底到达 相对于开口 16b与处理室C对准的适当位置，就致动提升装置14，该提升装置14 与衬底固定器9和衬底S—起朝向上部平面A实施平台IO的垂直运动，由此衬底 固定器9可从带1、 2上脱开(该专利公布的图5和6)。当带有衬底S的平台10 处于上部位置A且在处理室C中实施衬底处理时，另一衬底Sl可以从一个模块到 下一个模块直线地运输通过衬底S，以便在下游处理室C中进行处理(该专利公布 的图1)。因此，衬底上尤其耗时的处理步骤可以在时间上并行地进行，从而直列 设备的循环时间不再由该处理过程来决定，且因此被縮短了。此外，借助该旁路功 能，可以在设备中连续地形成不同的层系。然而现有技术中解决方案的一个缺点是，从水平的直列运动变更路线成用于定 位在处理位置的垂直运动需要用运输装置将衬底转移至特定的转移装置。随着将衬 底(包括衬底固定器)转移至转移装置，要将用于传输水平直线运动力的成形配合 的连接释放，反之，随着将衬底或衬底固定器转移至运输装置，又必须再次精确地 恢复该连接。不管运输涉及带、轨道运输还是任何其它系统，衬底从一个独立运输 系统到另一独立运输系统的这种转移常常与定位精度的偏差相关，因此在处理循环 中形成永久的干扰源和误差。此外，为了衬底不受阻碍的水平直线运动，转移装置 的结构必须设计成适应运输装置，该结构需要在真空处理模块内有相当大的空间。
技术实现思路
因此，本专利技术的任务是进一步开发一种普通方法的运输装置，从而用简单的装 置可改进其功能以确保縮短循环时间。该目的根据本专利技术通过如权利要求1所述的运输装置来实现。 根据本专利技术的运输装置具有转移装置，该转移装置带有至少两个匹配的移动组 合段，交替地分配给运输线路的组合段形成运输段。组合段中的一个设置成沿着运 输线路的连续的运输段中的运输段，而另一组合段定位在运输线路之外。分配给运输段的组合段以链节的方式实现与运输装置的相邻运输段的连接，就像在其它运输 段之间的连接一样。假如沿着运输线路的衬底或衬底固定器与该组合段联系起来， 则转移装置引起该组合段从运输线路外馈出去，用于将衬底定位到固定处理位置， 在该固定处理位置，衬底较佳地与处理工具相对。此时，运输线路中形成的"间隙" 由转移装置的另一相同组合段来交替地抵消。该组合段代替外馈的组合段来连接运 输段，并且再次实现先前所述的与运输装置的相邻运输段的连接。因此可以用于连 续直列运输衬底的简单方式连续地使用运输装置，而不会受限制或干扰影响，从而 另一衬底可运输通过前述的外馈的衬底，例如运输到后面的处理工位。在反向的过 程中，随着将结合的组合段从运输线路外馈出去，外馈的组合运输部件同时移回在 运输段中形成的间隙，从而可通过运输装置将定位在运输线路之外的衬底进一步运 输，而不会有不利的过渡或干扰影响。本专利技术还涉及设备，尤其是真空涂敷设备。 如权利要求1所述的、根据本专利技术的运输装置的有利实施例与从属权利要求中 限定的措施相关联。在较佳的实施例中，组合段彼此平行且隔开。因此，可以只通过一个伺服驱动 器同时调整或移动组合段的位置。假如组合段尤其可垂直于运输线路移动，则可进一步减小用于交替设置组合段 的定位作用，由此，取决于运输装置的设计和运输线路的定向，较佳地用于运输线 路的组合段的水平或垂直外馈可能是合适的。组合段的水平推动或垂直升降可通过 相应合适且有利设计的辊或齿轮传动器或滑动齿轮或带传动器来实现，其中每种都 可电气、气压或液压地工作。较佳的是， 一个转移装置设置在至少两个连续处理工位中，或分配给至少两个 连续处理工具。因此，可以设想在设备中多个长时间的处理过程，并且可以实施衬 底的串行和并行处理。直列设备的循环时间不再由该长时间的处理过程来决定，因 此縮短了循环时间。因此，第一衬底可以在第一处理工位或由第一处理工具处理， 而沿着运输方向紧跟着的第二衬底可以运输通过第一衬底到达下一个处理工位或 下一个处理工具，并且并行地处理。尤其有利的是，分配给处理工具的组合段和/或衬底的衬底固定器形成为腔室 隔板。随着包括腔室隔板的组合段朝向处理工具外馈，可以将处理工位单独地分成 处理室和运输室。较佳的是，通过将形成的腔室隔板连接至室壁的密封部件，待处 理的衬底被真空密封在处理室内。在衬底的固定处理过程中，由运输装置运输通过 处理工位的衬底不受该处理工程的影响。因此，可以在相邻的处理工位中彼此独立地实施不同处理过程。技术上有利的是，带有处理面的平衬底在固定处理过程中在一个平面中保持平 行于衬底运输平面而对准，即仅仅平行于该表面而推动而不会改变定向。在根据本 专利技术的带有转移装置的运输装置中，平衬本文档来自技高网...

【技术保护点】
在用于处理衬底的设备、尤其是真空涂敷设备中的运输装置，该运输装置具有连续的运输段，用于沿着通过若干处理工位的运输线路连续直列地运输所述衬底，其中，设置了用于将各一个衬底定位到一固定的处理位置的转移装置，其特征在于，所述转移装置（９）具有至少两个匹配的移动组合段（１０），可借助于所述组合段来定位所述衬底（８），其中，交替地分配给所述运输线路（４）的所述组合段（１０）形成运输段（５）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：WE弗里齐，
申请(专利权)人：应用材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]