粒子捕集装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种粒子捕集装置，以短时间高效地捕集分散在气体中的粒径范围较宽的微粒。在粒子产生部(1)生成的气体中的微粒由荷电部(2)进行荷电。浓缩部(3)将所导入的气体中的荷电粒子进行浓缩，捕集部(4)通过静电力使浓缩后的荷电粒子吸附到样品板(402)上来进行捕集。在浓缩部(3)中，在维持所导入的荷电粒子的数量的状态下，减少分散了粒子的气体(载气)的流量，由此对荷电粒子进行浓缩。通过气体的流量减少，粒子的空间密度提高，从而在捕集部(4)中能够高效地将荷电粒子捕集到较小的样品板(402)上，还能够缩短捕集时间。

【技术实现步骤摘要】
粒子捕集装置
本专利技术涉及为了分析气体中的微粒而将微粒捕集到板上的粒子捕集装置。
技术介绍
气体中漂浮的微小的液体或者固体的粒子称为气溶胶。汽车的废气、从工厂排出的煤烟中的污染物质大多也是气溶胶，尤其是粒径小于1μm的所谓纳米气溶胶可能对健康产生影响。正因为如此，该气溶胶的大小、形状、成分等的分析，在环境测量、评估等领域中变得非常重要。在气溶胶的分析中，使用原子力显微镜(AFM)、电子探针显微分析仪(EPMA)、透射式电子显微镜(TEM)、扫描式电子显微镜(SEM)、飞行时间二次离子质谱仪(TOF-SIMS)、X射线光电子能谱分析仪(XPS)、荧光显微镜等各种分析装置。在利用这样的分析装置分析气溶胶时，首先需要将作为分析对象的大气中的微粒捕集到样品板上。在将微粒捕集到样品板上的情况下，认为难以引起粒子的凝聚的气相环境下比较适宜。作为在气相环境下将微粒捕集到样品板上的主要方法，众所周知有利用了撞击等粒子的惯性力的空气动力学捕集法和对带电的粒子利用其静电力进行捕集的静电捕集法。例如非专利文献1所公开的那样，空气动力学捕集法是如下方法，即，通过在使从喷嘴喷射的包含微粒的气体的流动方向急剧本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种粒子捕集装置，其特征在于，具备：a)荷电部，其接受包含作为分析对象的微粒的气体，并且使该气体中的微粒带电；b)浓缩部，其将由所述荷电部进行了带电的荷电粒子维持在气相状态下进行浓缩；和c)捕集部，其通过静电力使由所述浓缩部进行了浓缩的荷电粒子吸附到保持体上。

【技术特征摘要】
2016.11.10 JP 2016-2195841.一种粒子捕集装置，其特征在于，具备：a)荷电部，其接受包含作为分析对象的微粒的气体，并且使该气体中的微粒带电；b)浓缩部，其将由所述荷电部进行了带电的荷电粒子维持在气相状态下进行浓缩；和c)捕集部，其通过静电力使由所述浓缩部进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：关洋，上野良弘，奥田浩史，樱井博，
申请(专利权)人：株式会社岛津制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP