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粒子捕集装置制造方法及图纸
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文档序号:18048081
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本发明提供一种粒子捕集装置,以短时间高效地捕集分散在气体中的粒径范围较宽的微粒。在粒子产生部(1)生成的气体中的微粒由荷电部(2)进行荷电。浓缩部(3)将所导入的气体中的荷电粒子进行浓缩,捕集部(4)通过静电力使浓缩后的荷电粒子吸附到样品板...
该专利属于株式会社岛津制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。
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