蒸镀坩埚和蒸镀设备制造技术

本申请提供一种蒸镀坩埚及所述蒸镀设备，所述蒸镀坩埚用以蒸镀蒸发源材料，其包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通。所述蒸镀坩埚可以快速调节具有不同孔径大小的通孔的喷嘴帽，以显著提高蒸镀速率。

Steam plating crucible and evaporation equipment

The application provides a steam plating crucible and the steam plating device. The steam plating crucible is used for evaporation and evaporation source material, which comprises a crucible body, a nozzle arranged at a plurality of spaced intervals on the crucible body and a nozzle cap on each of the nozzles, and the crucible comprises a volume chamber connected with the nozzle. The nozzle cap group includes a plurality of nozzle caps that are set up and can be split, each of the nozzles is provided with a through hole connected with the nozzle, and the aperture size of the through hole is increased from the nozzle cap of the most external to the inside of the nozzle cap, and the plurality of nozzles in the nozzle cap is increased in turn. The through hole is connected. The evaporating crucible can quickly adjust the nozzle cap with through holes with different pore sizes, so as to significantly increase the evaporation rate.

【技术实现步骤摘要】
蒸镀坩埚和蒸镀设备
本专利技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀坩埚及蒸镀设备。
技术介绍
随着OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示技术发展突飞猛进，且OLED显示器由于具有轻薄、响应快、广视角、高对比度、可弯折等优点，使得OLED显示器越来越受到用户的关注和应用。而OLED材料成膜是OLED显示技术中最为关键的技术之一。目前，OLED成膜技术主要通过蒸镀设备的蒸镀工艺完成。然而，在蒸镀过程中，为了避免OLED材料成膜的不均匀性，需不停地调整蒸镀设备的蒸镀坩埚的蒸发性能，这样将使得蒸镀速率显著降低。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种蒸镀坩埚，用以提高蒸镀速率。一种蒸镀坩埚，用以蒸镀蒸发源材料，其包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通。其中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀坩埚，用以蒸镀蒸发源材料，其特征在于，包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀坩埚，用以蒸镀蒸发源材料，其特征在于，包括：坩埚本体、设于所述坩埚本体上的多个间隔设置的喷嘴和盖设于每个所述喷嘴上的喷嘴帽组；所述坩埚本体包括与所述喷嘴连通的收容腔，所述蒸发源材料放置于所述收容腔内；所述喷嘴帽组包括同轴套设且可拆分的多个喷嘴帽，每个所述喷嘴帽上设有与所述喷嘴连通的通孔，所述通孔的孔径大小由最外部的所述喷嘴帽向内部的所述喷嘴帽方向依次增大，且多个所述通孔连通。2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述喷嘴帽包括顶壁，所述通孔位于所述顶壁的中心位置。3.如权利要求2所述的蒸镀坩埚，其特征在于，每个所述喷嘴帽由至少两个盖板组成，每一个所述盖板包括内侧壁、外侧壁和连接所述外侧壁和所述内侧壁的端壁，至少两个所述盖板的所述端壁相互连接，以使所述内侧壁围成所述通孔。4.如权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述至少两个所述盖板可沿垂直所述通孔轴向移动以改变所述通孔的孔径。5.如权利要求1-4任一项所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚本体包括加热部和与所述加热部连通的蒸镀部，所述加...

【专利技术属性】
技术研发人员：李朝，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42