一种可保护软轴的分段式重锤结构制造技术

本实用新型专利技术涉及直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备，旨在提供一种可保护软轴的分段式重锤结构。该种可保护软轴的分段式重锤结构包括导杆、重锤、籽晶夹套，用于连接钢丝绳与籽晶。本实用新型专利技术能将钢丝绳球端隔绝在重锤导杆部分的内腔体内部，避免其与炉内惰性气体和高温环境直接接触，延长了钢丝绳的使用寿命，有效避免了因钢丝绳磨损滑出重锤带来的硅棒掉落事故，提高了生产安全性；同时将重锤的上部导杆的材质设计为石墨，大大降低了整个重锤组件的成本。

A piecewise heavy hammer structure that can protect the soft shaft

The utility model relates to an auxiliary device of a CZ silicon monocrystalline furnace growth device, aiming at providing a sectional heavy hammer structure which can protect the soft shaft. The sectional heavy hammer structure which can protect the soft shaft comprises a guide rod, a heavy hammer and a seed crystal jacket, which are used for connecting the wire rope and the seed crystal. The utility model can cut off the wire end of the wire rope inside the inner cavity body part of the heavy hammer guide bar, avoid the direct contact with the inert gas and the high temperature environment in the furnace, prolong the service life of the wire rope, effectively avoid the silicon rod falling accident caused by the wear and slippery hammer of the wire rope, and improve the production safety; at the same time, the heavy hammer is made. The material of the upper guide bar is designed as graphite, which greatly reduces the cost of the whole hammer assembly.

【技术实现步骤摘要】
一种可保护软轴的分段式重锤结构
本技术是关于直拉硅单晶炉生长设备的辅助设备领域，特别涉及一种可保护软轴的分段式重锤结构。
技术介绍
单晶炉是将多晶硅转化成单晶硅工艺过程中不可缺少的设备，而单晶硅作为现代信息社会的主要支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，同时它也是发展计算机与集成电路、光伏发电与太阳能利用的主要功能材料。单晶炉是在惰性气体的环境中，采用石墨电阻加热器，将硅材料融化，并采用直拉法生长无错位单晶的设备。其中重锤是用于连接钢丝绳与籽晶的部件，是单晶炉关键部件之一，一般由石墨件部分、钼材质部分和不锈钢材质部分组成。参照图1所示，钢丝绳1-1与重锤1-3的连接部分是将钢丝绳1-1的球端套入重锤1-3上端开口处和开口套1-2中，由于开口套1-2呈倒T字形，因此在重力的作用下使重锤1-3挂在开口套1-2上，实现钢丝绳1-1与重锤1-3的连接。这种结构的重锤，由于钢丝绳球端直接暴露在惰性气体与高温环境中，经过长时间的磨损和挤压后，钢丝绳会滑出开口套，出现掉棒事故，严重时硅棒掉落会砸坏热场内的石墨件，甚至有可能会砸坏石英埚和石墨埚，导致发生硅泄漏事故。因此，如何改变钢丝绳与重锤的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可保护软轴的分段式重锤结构，用于连接钢丝绳与籽晶，钢丝绳的一端为球端，其特征在于，所述可保护软轴的分段式重锤结构包括导杆、重锤、籽晶夹套；所述重锤的中间设有两组通气孔，分别是径向和轴向的通气孔；重锤的上部和下部分别设有轴心孔，且轴心孔和轴向的通气孔保证同心；所述导杆开有内腔，导杆的上部还开有轴心孔，且内腔和轴心孔保证同心，钢丝绳的球端能穿过导杆顶部的轴心孔进入内腔；导杆的内腔内设有护套和开口套，护套和开口套用于固定钢丝绳的球端，并与导杆内腔顶部过渡处的台阶形成配合关系；导杆顶部的轴心孔内还设有两片半环，用于对钢丝绳进行限位，减少钢丝绳球端的磨损；导杆的底部连接在重锤顶部的轴心孔内；所述籽晶...

【技术特征摘要】
1.一种可保护软轴的分段式重锤结构，用于连接钢丝绳与籽晶，钢丝绳的一端为球端，其特征在于，所述可保护软轴的分段式重锤结构包括导杆、重锤、籽晶夹套；所述重锤的中间设有两组通气孔，分别是径向和轴向的通气孔；重锤的上部和下部分别设有轴心孔，且轴心孔和轴向的通气孔保证同心；所述导杆开有内腔，导杆的上部还开有轴心孔，且内腔和轴心孔保证同心，钢丝绳的球端能穿过导杆顶部的轴心孔进入内腔；导杆的内腔内设有护套和开口套，护套和开口套用于固定钢丝绳的球端，并与导杆内腔顶部过渡处的台阶形成配合关系；导杆顶部的轴心孔内还设有两片半环，用于对钢丝绳进行限位，减少钢丝绳球端的磨损；导杆的底部连接在重锤顶部的轴心孔内；所述籽晶夹套的顶部固定在重锤底部的轴心孔内；籽晶夹套的轴心处开有从顶部向底部渐缩的圆孔，圆孔内用于夹装籽晶；在圆孔内籽晶的上部还设有用石墨压柱，用于压紧固定籽晶。2.根据权利要求1所述的一种可保护软轴的分段式重锤结构，其特征在于，所述护套是开有内孔的圆柱体结构的护套，且内孔是两...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅林坚，曹建伟，孙明，倪军夫，胡建荣，沈兴潮，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33