一种新型多晶硅还原炉喷气嘴制造技术

本实用新型专利技术属于多晶硅生产技术领域，具体的说是涉及一种新型多晶硅还原炉喷气嘴，主要是为了提供一种结构简单方便，喷射效率高，且进料气体在还原炉内均匀分布的新型多晶硅还原炉喷气嘴,该多晶硅还原炉喷气嘴主要由喷气底座、中间套管和喷气板组成；在喷气底座的中心设置有进气口，在中间套管的内部设置有与进气口相连通的射流喷射口，喷气板采用圆盘型结构设置，在喷气板上设置有与射流喷射口相连通的喷气口，在喷气板上喷气口的周边还设置有旋流风道口,还原炉喷气嘴结构简单方便，有效的提高了多晶硅硅粉原材料的下料效率和下料质量，有效的降低了硅粉送料过程中的能量消耗；降低了企业的能源消耗，有效的提高了企业的生产效率。

A new type of polysilicon reduction furnace jet nozzle

The utility model belongs to the technical field of polysilicon production. In particular, it relates to a new type of polysilicon reduction furnace jet nozzle, mainly to provide a new type of polysilicon reduction furnace jet nozzle with simple and convenient structure, high injection efficiency and uniform distribution of feed gas in the reducing furnace. The polysilicon reduction furnace jet nozzle is mainly composed of the nozzle. A jet base, a middle sleeve, and a jet plate; an air inlet is set at the center of the jet base, and a jet nozzle connected to the intake port is arranged inside the middle sleeve. The jet plate is set with a disc type structure, a jet port connected to the jet nozzle on the jet plate, and a jet on the jet plate. A swirling air duct is also provided on the periphery, and the structure of the reduction furnace is simple and convenient. It effectively improves the feeding efficiency and the quality of the raw material of the polysilicon silicon powder raw material, effectively reduces the energy consumption in the process of silicon powder feeding, reduces the energy consumption of the enterprise, and effectively raises the production efficiency of the enterprise.

【技术实现步骤摘要】
一种新型多晶硅还原炉喷气嘴
本技术属于多晶硅生产
；具体的说是涉及一种新型多晶硅还原炉喷气嘴。
技术介绍
多晶硅属于单质硅的一种形态；其在高温熔融状态下，具有较大的化学活泼性，能与几乎任何材料作用；具有半导体性质，是极为重要的优良半导体材料；多晶硅又是生产单晶硅的直接原料，是当代人工智能、自动控制、信息处理、光电转换等半导体器件的电子信息基础材料；多晶硅的生产技术主要为改良西门子法和硅烷法，西门子法则主要通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅，硅芯作为改良西门子法工艺生产多晶硅，还原炉内多晶硅料沉积的载体，它的表面洁净程度直接影响到多晶硅成品的品质；在西门子法工艺生产多晶硅的过程中，其设备主要为还原炉设备，其通过通电高温硅芯将三氯氢硅与氢气的混合气体反应，生成多晶硅并沉积在硅芯上，最终获得沉积在硅芯上的多晶硅，然而在进行混合气体喷射的过程中，还原炉内进料气体分布的是否均匀以及喷射的时间对于多晶硅的生产质量都起到了非常关键的作用。
技术实现思路
本技术的专利技术目的：主要是为了提供一种结构简单方便，喷射效率高，且进料气体在还原炉内均匀分布的新型多晶硅还原炉喷气嘴，有效的提高多晶硅硅粉原材料本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型多晶硅还原炉喷气嘴,其特征在于:该多晶硅还原炉喷气嘴主要由喷气底座、中间套管和喷气板组成；在喷气底座的中心设置有进气口，在中间套管的内部设置有与进气口相连通的射流喷射口，喷气板采用圆盘型结构设置，在喷气板上设置有与射流喷射口相连通的喷气口，在喷气板上喷气口的周边还设置有旋流风道口。

【技术特征摘要】
1.一种新型多晶硅还原炉喷气嘴,其特征在于:该多晶硅还原炉喷气嘴主要由喷气底座、中间套管和喷气板组成；在喷气底座的中心设置有进气口，在中间套管的内部设置有与进气口相连通的射流喷射口，喷气板采用圆盘型结构设置，在喷气板上设置有与射流喷射口相连通的喷气口，在喷气板上喷气口的周边还设置有旋流风道口。2.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅还原炉喷气嘴,其特征在于:所述的喷气底座与中间套管之间以及中间套管与喷气板之间均通过连接螺纹相互连接。3.根据权利要求1所述的一种新型多晶硅还原炉喷气嘴,其特征在于:所述的射流喷射口主要由加速段、过渡段和喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨红兵，吕献涛，
申请(专利权)人：河南恒星新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南,41