一种真空PVD离子镀膜设备固定结构制造技术

本实用新型专利技术涉及真空离子镀膜技术领域，尤其为一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机，真空镀膜机的底部安装有支撑座，支撑座的底部安装有固定座。该真空PVD离子镀膜设备固定结构，通过上夹板和下夹槽紧密将转轴贴合，将转轴固定，使得脚轮无法转动，当脚轮抵触到地面时，可以起到支撑作用，当送开螺纹杆，使得滑柱在滑槽上滑动，使得上夹槽和下夹槽分离，此时转轴活动，脚轮可以转动，有利于通过脚轮进行推动，便于对真空镀膜机移动时的方便以及安全，同时行走板位于通槽的内部，弹簧与地面直接接触，通过弹簧自身的弹力可以对真空镀膜机工作时产生的振动力进行分解，保障真空镀膜机工作时的平稳性。

A fixed structure of vacuum PVD ion plating equipment

The utility model relates to the technical field of vacuum ion plating, in particular to a fixed structure of vacuum PVD ion plating equipment, including a vacuum coating machine, a support seat installed at the bottom of the vacuum coating machine, and a fixed base at the bottom of the support seat. The vacuum PVD ion plating equipment fixed structure, through the upper splint and the lower clamp slot close the rotating shaft close, the rotating shaft is fixed so that the wheel can not rotate, when the caster is in touch with the ground, it can play a supporting role, when the screw rod is sent, the slide column is slid on the slots, so that the upper and lower grooves are separated and turn at this time. The shaft can be rotated and the foot wheel can be rotated to facilitate the driving through the casters and facilitate the convenience and safety of the movement of the vacuum coating machine. At the same time, the walking plate is located inside the trough, and the spring is directly exposed to the ground. The vibration force produced by the vacuum coating machine can be decomposed by the spring's own elastic force. The smoothness of the air plating machine at work.

【技术实现步骤摘要】
一种真空PVD离子镀膜设备固定结构
本技术涉及真空离子镀膜
，具体为一种真空PVD离子镀膜设备固定结构。
技术介绍
一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。此项技术最先用于生产光学镜片，如航海望远镜镜片等。后延伸到其他功能薄膜，唱片镀铝、装饰镀膜和材料表面改性等。如手表外壳镀仿金色，机械刀具镀膜，改变加工红硬性。在真空中制备膜层，包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段，但一般真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。真空镀膜的功能是多方面的，这也决定了其应用场合非常丰富。总体来说，真空镀膜的主要功能包括赋予被镀件表面高度金属光泽和镜面效果，在薄膜材料上使膜层具有出色的阻隔性能，提供优异的电磁屏蔽和导电效果。但现有的真空PVD离子镀膜设备，直接通过支撑脚与地面固定，在移动时只能采用人力推动，极大的造成移动困难，同时在移动时容易对真空PVD离子镀膜设备造成一定的损害，真空PVD离子镀膜设备在工作时会产生一定的振动力，影响整体的稳定性。鉴于此，我们提出一种真空PVD离子镀膜设备固定结构。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，以解决上述
技术介绍
中提出的直接通过支撑脚与地面固定，在移动时只能采用人力推动，极大的造成移动困难，同时在移动时容易对真空PVD离子镀膜设备造成一定的损害，真空PVD离子镀膜设备在工作时会产生一定的振动力，影响整体的稳定性的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机，所述真空镀膜机的底部安装有支撑座，所述支撑座的底部安装有固定座；所述支撑座的内部安装有伸缩结构；所述固定座的底部开设有通槽，所述通槽的内部设置有隔板，所述隔板的表面安装有弹簧；所述固定座的内部设置有固定板，所述固定板的底部安装有行走板，所述行走板包括脚轮板，所述脚轮板的一侧分别设置有上夹板以及下夹板；所述脚轮板内部设置有脚轮，所述脚轮一侧设置有转轴，且所述转轴贯穿所述脚轮板，所述脚轮板靠近所述转轴一侧开设有滑槽；所述上夹板的底部开设有若干个上夹槽，所述上夹板靠近所述脚轮板一侧设置有滑柱，所述上夹板两端安装有贯穿所述上夹板的螺纹杆；所述下夹板的顶部开设有若干个下夹槽，所述下夹板两端靠近所述螺纹杆的一端开设有安装孔。优选的，所述伸缩结构包括液压缸、与所述液压缸相通的油箱、用于驱动的液压泵、连接在所述液压缸与所述油箱之间的油管、安装在所述油管表面用于防止回流的单向阀以及贯穿所述液压缸的活塞杆，所述活塞杆与所述固定板通过焊接方式固定连接。优选的，所述隔板的宽度比所述通槽的宽度小。优选的，所述行走板与所述通槽相匹配。优选的，所述下夹板与所述脚轮板固定连接，所述滑柱与所述滑槽滑动连接。优选的，所述上夹槽与所述下夹槽截面呈圆弧状，且开口方向相反，所述上夹槽和所述下夹槽的直径均与所述转轴的直径相等。优选的，所述螺纹杆与所述安装孔通过螺纹方式连接。与现有技术相比，本技术的有益效果：该真空PVD离子镀膜设备固定结构，通过上夹板和下夹槽紧密将转轴贴合，将转轴固定，使得脚轮无法转动，当脚轮抵触到地面时，可以起到支撑作用，当送开螺纹杆，使得滑柱在滑槽上滑动，使得上夹槽和下夹槽分离，此时转轴活动，脚轮可以转动，有利于通过脚轮进行推动，便于对真空镀膜机移动时的方便以及安全，同时行走板位于通槽的内部，弹簧与地面直接接触，通过弹簧自身的弹力可以对真空镀膜机工作时产生的振动力进行分解，保障真空镀膜机工作时的平稳性。附图说明图1为本技术整体结构示意图；图2为本技术固定座结构示意图；图3为本技术支撑座与固定座内部结构示意图；图4为本技术行走板结构爆炸图。图中：1、真空镀膜机；2、支撑座；21、伸缩结构；211、液压缸；212、油箱；213、液压泵；214、油管；215、单向阀；216、活塞杆；3、固定座；31、通槽；311、隔板；312、弹簧；32、固定板；33、行走板；331、脚轮板；3311、脚轮；3312、转轴；3313、滑槽；332、上夹板；3321、上夹槽；3322、滑柱；3323、螺纹杆；333、下夹板；3331、下夹槽；3332、安装孔。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供一种技术方案：一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机1，真空镀膜机1的底部安装有支撑座2，支撑座2的底部安装有固定座3，支撑座2的内部安装有伸缩结构21，伸缩结构21包括液压缸211、与液压缸211相通的油箱212、用于驱动的液压泵213、连接在液压缸211与油箱212之间的油管214、安装在油管214表面用于防止回流的单向阀215以及贯穿液压缸211的活塞杆216，活塞杆216与固定板32通过焊接方式固定连接，液压泵213输出端通过油管214与油箱212入口端相连，油箱212出口端通过油管214与液压缸211相连，液压泵213将油箱213内部的油液从油管214注入液压缸211内，油液在油管214内部传输时，通过单向阀215防止回流，可以带动活塞杆216运动，从而推动固定板32的运动。固定座3的底部开设有通槽31，通槽31的内部设置有隔板311，隔板311的表面安装有弹簧312，隔板311的宽度比通槽31的宽度小，当不需要移动时，此时行走板33位于通槽31的内部，弹簧312与地面直接接触，通过弹簧312自身的弹力可以对真空镀膜机1工作时产生的振动力进行分解，保障真空镀膜机1工作时的平稳性。固定座3的内部设置有固定板32，固定板32的底部安装有行走板33，行走板33与通槽31相匹配，有利于行走板33，在通槽31内活动，行走板33包括脚轮板331，脚轮板331的一侧分别设置有上夹板332以及下夹板333，脚轮板331内部设置有脚轮3311，脚轮3311一侧设置有转轴3312，且转轴3312贯穿脚轮板331，脚轮板331靠近转轴3312一侧开设有滑槽3313，上夹板332的底部开设有若干个上夹槽3321，上夹板332靠近脚轮板331一侧设置有滑柱3322，上夹板332两端安装有贯穿上夹板332的螺纹杆3323，下夹板333与脚轮板331固定连接，滑柱3322与滑槽3313滑动连接，下夹板333的顶部开设有若干个下夹槽3331，下夹板333两端靠近螺纹杆3323的一端开设有安装孔3332，上夹槽3321与下夹槽3331截面呈圆弧状，且开口方向相反，上夹槽3321与下夹槽3331的直径与转轴3312的直径相等，螺纹杆3323与安装孔3332通过螺纹方式连接，当需要移动真空镀膜机1时，通过伸缩结构21推动固定板32移动，使得行走板33伸出通槽31，平时状态下，螺纹杆3323紧固在安装孔3323内，行走板33位本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机（1），其特征在于：所述真空镀膜机（1）的底部安装有支撑座（2），所述支撑座（2）的底部安装有固定座（3）；所述支撑座（2）的内部安装有伸缩结构（21）；所述固定座（3）的底部开设有通槽（31），所述通槽（31）的内部设置有隔板（311），所述隔板（311）的表面安装有弹簧（312）；所述固定座（3）的内部设置有固定板（32），所述固定板（32）的底部安装有行走板（33），所述行走板（33）包括脚轮板（331），所述脚轮板（331）的一侧分别设置有上夹板（332）以及下夹板（333）；所述脚轮板（331）内部设置有脚轮（3311），所述脚轮（3311）一侧设置有转轴（3312），且所述转轴（3312）贯穿所述脚轮板（331），所述脚轮板（331）靠近所述转轴（3312）一侧开设有滑槽（3313）；所述上夹板（332）的底部开设有若干个上夹槽（3321），所述上夹板（332）靠近所述脚轮板（331）一侧设置有滑柱（3322），所述上夹板（332）两端安装有贯穿所述上夹板（332）的螺纹杆（3323）；所述下夹板（333）的顶部开设有若干个下夹槽（3331），所述下夹板（333）两端靠近所述螺纹杆（3323）的一端开设有安装孔（3332）。...

【技术特征摘要】
1.一种真空PVD离子镀膜设备固定结构，包括真空镀膜机（1），其特征在于：所述真空镀膜机（1）的底部安装有支撑座（2），所述支撑座（2）的底部安装有固定座（3）；所述支撑座（2）的内部安装有伸缩结构（21）；所述固定座（3）的底部开设有通槽（31），所述通槽（31）的内部设置有隔板（311），所述隔板（311）的表面安装有弹簧（312）；所述固定座（3）的内部设置有固定板（32），所述固定板（32）的底部安装有行走板（33），所述行走板（33）包括脚轮板（331），所述脚轮板（331）的一侧分别设置有上夹板（332）以及下夹板（333）；所述脚轮板（331）内部设置有脚轮（3311），所述脚轮（3311）一侧设置有转轴（3312），且所述转轴（3312）贯穿所述脚轮板（331），所述脚轮板（331）靠近所述转轴（3312）一侧开设有滑槽（3313）；所述上夹板（332）的底部开设有若干个上夹槽（3321），所述上夹板（332）靠近所述脚轮板（331）一侧设置有滑柱（3322），所述上夹板（332）两端安装有贯穿所述上夹板（332）的螺纹杆（3323）；所述下夹板（333）的顶部开设有若干个下夹槽（3331），所述下夹板（333）两端靠近所述螺纹杆（3323）的一端开设有安装孔（3332）。2.根据权利要求1所述的真空PVD离子镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈子宇，吴一，彭绍群，
申请(专利权)人：深圳市南方创新真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44