探针卡模块制造技术

本发明专利技术公开了一种探针卡模块，其包括：一第一驱动单元，具有一第一输出端，该第一输出端连接一第一电阻；一第二驱动单元，具有一第二输出端，该第二输出端连接一第二电阻；一放大单元，具有一非反相输入端、一反相输入端及一第三输出端，该第一电阻及该第二电阻连接至该非反相输入端，且该第三输出端连接至该反相输入端；以及一导电探针，连接至该放大单元的第三输出端。

Probe card module

The invention discloses a probe card module, which comprises a first driving unit with a first output terminal connected with a first resistance; a second drive unit has a second output terminal, the second output connection is connected with a second resistor, and a amplification unit has a non inverse phase input end and a reverse phase. The input end and the third output end are connected to the non reverse input end of the first resistor and the second resistor, and the third output end is connected to the reverse phase input end; and a conductive probe is connected to the third output end of the amplification unit.

【技术实现步骤摘要】
探针卡模块
本专利技术涉及探针卡
，尤其是一种具有多阶电压驱动电路的探针卡。
技术介绍
在集成电路元件的制造过程中，晶粒切割或元件封装之前会进行电性测试，这通常通过探针卡将测试机(Tester)所提供的电源信号与测试信号传输给待测元件(DeviceUnderTesting，简称DUT)；其中，电源信号用以供给待测元件所需电源，测试信号用以检测待测元件。一般而言，具有多阶驱动(Multi-LevelDriving)电路的探针卡模块10可如图1所示，以射频功率合成器(RFPowerCombiner)为例，其包含两个数字驱动器12及14所形成的四阶电压驱动电路20；其中，数字驱动器12及14的输出端分别连接至电阻R11及R12的一端，电阻R11及R12的另一端彼此连接后，再经由电阻R13及信号传输线17而连接至导电探针18。如果数字驱动器12及14的正负电源电压设定为如图1所示的Vsp1、Vsn1、Vsp2、Vsn2，则该电压驱动电路20会依据其所接收输入信号的数字状态「00」、「01」、「10」、「11」，从而分别产生|Vsn1-Vsn2|、|Vsn1-Vsp2|、|Vsp1-Vs本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡模块，其特征在于，包括：一第一驱动单元，具有一第一输出端，该第一输出端连接一第一电阻；一第二驱动单元，具有一第二输出端，该第二输出端连接一第二电阻；一放大单元，具有一非反相输入端、一反相输入端及一第三输出端，该第一电阻及该第二电阻连接至该非反相输入端，且该第三输出端连接至该反相输入端；以及一导电探针，连接至该放大单元的第三输出端。

【技术特征摘要】
2016.10.21 US 62/411,1001.一种探针卡模块，其特征在于，包括：一第一驱动单元，具有一第一输出端，该第一输出端连接一第一电阻；一第二驱动单元，具有一第二输出端，该第二输出端连接一第二电阻；一放大单元，具有一非反相输入端、一反相输入端及一第三输出端，该第一电阻及该第二电阻连接至该非反相输入端，且该第三输出端连接至该反相输入端；以及一导电探针，连接至该放大单元的第三输出端。2.如权利要求1所述的探针卡模块，其特征在于，进一步包括：一第三电阻，该第一电阻及该第二电阻经由该第三电阻连接至该放大单元的该非反相输入端；以及一第四电阻，该放大单元的该非反相输入端经由该第四电阻接地。3.如权利要求1所述的探针卡模块，其特征在于，该第一电阻与该第二电阻具有相同电阻值。4.如权利要求1所述的探针卡模块，其特征在于，进一步包括：一第三驱动单元，具有一第四输出端，该第四输出端连接一第五电阻，且该第五电阻连接至该放大单元的该非反相输入端。5.如权利要求4所述的探针卡模块，其特征在于，该第一电阻、该第二电阻与该第五电阻具有相同电阻值。6.如权利要求4所述的探针卡模块，其特征在于，进一步包括：一第六电阻，该放大单元的该非反相输入端经由该第六电阻接地。7.如权利要求1所述的探针卡模块，其特征在于，该放大单元包括一运算放大器。8.如权利要求1所述的探针卡模块，其特征在于，该导电探针与该放大单元的第三输出端之间设有一信号传输线。9.一种探针卡模块，其特征在于，包括：一第一驱动单元，具有一第一非反相输出端及一第一反相输出端，该第一非反相输出端耦接一第一开关，该第一开关两端分别连接一第一导电探针及一第一电流源，该第一反相输出端耦接一第二开关，该第二开关两端分别连接一第二导电探针及该第一电流源；其中，该第一导电探针耦接一第一电阻，该第二导电探针耦接一第二电阻。10.如权利要求9所述的探针卡模块，其特征在于，该第一电阻与该第二电阻具...

【专利技术属性】
技术研发人员：赖鸿尉，陈儒宏，
申请(专利权)人：新特系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71