一种新型抽真空系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种新型抽真空系统，包括真空装置和电源系统，所述真空装置的一端设置有第一管道，其另一端设置有第二管道，所述第一管道与电源系统电性连接。所述第一管道内部设置有电磁线圈。所述第二管道为冷却装置。本实用新型专利技术为研发大型DLC‑2800超硬纳米薄膜涂层设备中的抽真空系统，通过设置冷却装置，可以有效的吸收系统在生产中产生的热量，避免反油现象以及防止烫伤。

【技术实现步骤摘要】
一种新型抽真空系统
本技术涉及一种新型抽真空系统。
技术介绍
在研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备中的涉及到抽真空系统，由于在抽真空的过程中会产生大量的热能，热能会使油蒸发，产生发油现象，而且热能容易在使用电子过滤装置中烫伤人员。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种新型抽真空系统。本技术为了解决其技术问题所采取的技术方案是：一种新型抽真空系统，包括真空装置和电源系统，所述真空装置的一端设置有第一管道，其另一端设置有第二管道，所述第一管道与电源系统电性连接。所述第一管道内部设置有电磁线圈。所述第二管道为冷却装置。本技术的有益效果是：本技术为研发大型DLC-2800超硬纳米薄膜涂层设备中的抽真空系统，通过设置冷却装置，可以有效的吸收系统在生产中产生的热量，避免反油现象以及防止烫伤。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1为本技术的结构示意图。其中：1、真空装置；2、第一管道；3、电源系统；4、第二管道。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步详细的说明。如图1所示，一种新型抽真空系统，包括真空装置1和电源系统3，所述真空装置1的一端设置有第一管道2，其另一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型抽真空系统，其特征在于：包括真空装置（1）和电源系统（3），所述真空装置（1）的一端设置有第一管道（2），其另一端设置有第二管道（4），所述第一管道与电源系统（3）电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种新型抽真空系统，其特征在于：包括真空装置（1）和电源系统（3），所述真空装置（1）的一端设置有第一管道（2），其另一端设置有第二管道（4），所述第一管道与电源系统（3）电...

【专利技术属性】
技术研发人员：周树法，
申请(专利权)人：昆山立特纳米电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32