下载一种新型抽真空系统的技术资料

文档序号:17814116

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本实用新型公开了一种新型抽真空系统,包括真空装置和电源系统,所述真空装置的一端设置有第一管道,其另一端设置有第二管道,所述第一管道与电源系统电性连接。所述第一管道内部设置有电磁线圈。所述第二管道为冷却装置。本实用新型为研发大型DLC‑280...
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