一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其包括加工腔室、连接管、抽气腔室、进出气管、气塞、支架和控制模块，所述连接管的一端密封式安装在加工腔室的进出气口上另一端密封式安装在抽气腔室的进出气口上，所述进出气管安装在抽气腔室进出气口上，所述气塞安装在进出气管内部，所述支架安装在抽气腔室内部，所述控制模块由依次电性连接的气压传感器、信号处理单元、控制电路和扩散泵组成。本实用新型专利技术利用气塞的自重力来密封加工腔室，并且可实时的监控加工腔室的真空度，在真空度不高的情况下自动进行抽气，保证了加工腔室的真空度。

A flexible winding coating vacuum isolator

The utility model discloses a flexible winding coating vacuum isolation device, comprising a processing chamber, a connecting pipe, suction chamber, inlet and outlet pipes, gas plug, bracket and a control module, wherein one end of the connecting pipe seal installed in the processing chamber inlet and outlet on the other end seal installed in the pumping chamber of import the air outlet, inlet and outlet pipe installed in the pumping chamber inlet and outlet, wherein the gas plug is installed on the inlet and outlet pipe, which is arranged on the suction chamber, the control module is composed of an electric pressure sensor, connected with the signal processing unit, control circuit and diffusion pump in turn. The utility model seals the processing chamber by the self gravity of the gas plug, and can monitor the vacuum degree of the processing chamber in real time, and automatically exhaust gas under the condition of low vacuum, so as to ensure the vacuum degree of the processing chamber.

【技术实现步骤摘要】
一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置
本技术涉及真空镀膜领域，具体为一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置。
技术介绍
真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰等许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用，在镀膜的过程中加工腔室为真空腔室，当加工腔室中真空度较低的情况下会影响镀膜的水平，所以如何保证加工腔室的真空度是镀膜技术的一大要点。中国专利技术专利公开号为CN105543790A提出的一种真空镀膜机系统及其操作方法其核心技术为一种真空镀膜机系统及其操作方法，包括抽气系统、镀膜电源、控制部分和真空室体，所述镀膜电源和抽气系统均与真空室体相连接，控制部分和抽气系统均与镀膜电源相连接，且抽气系统、镀膜电源和真空室体均受控制部分的控制，其操作方法包括5个步骤，(1)开机预热；(2)自动抽气；(3)自动镀膜；(4)自动放气；(5)自动关机；方便增加可编辑工艺，可进行全自动运行，进行各项流程的单独或多项，可调换操作智能操作，智能保护与维护检测，提高本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其特征在于，包括：加工腔室(1)、连接管(2)、抽气腔室(3)、进出气管(4)、气塞(5)、支架(6)和控制模块(7)，所述加工腔室(1)和抽气腔室(3)各有两个进出气口，所述连接管(2)的一端密封式安装在加工腔室(1)其一进出气口上、另一端密封式安装在抽气腔室(3)其一进出气口上，所述进出气管(4)安装在抽气腔室(3)进出气口上，所述气塞(5)安装在进出气管(4)内部，所述支架(6)固定在抽气腔室(3)内部。

【技术特征摘要】
1.一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其特征在于，包括：加工腔室(1)、连接管(2)、抽气腔室(3)、进出气管(4)、气塞(5)、支架(6)和控制模块(7)，所述加工腔室(1)和抽气腔室(3)各有两个进出气口，所述连接管(2)的一端密封式安装在加工腔室(1)其一进出气口上、另一端密封式安装在抽气腔室(3)其一进出气口上，所述进出气管(4)安装在抽气腔室(3)进出气口上，所述气塞(5)安装在进出气管(4)内部，所述支架(6)固定在抽气腔室(3)内部。2.根据权利要求1所述的一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其特征在于：所述控制模块(7)由依次电性连接的气压传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘月豹，张红，任丹，杨志彬，关仁鹤，
申请(专利权)人：安徽方兴光电新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34