一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法技术方案

本发明专利技术涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法，在利用本发明专利技术的一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统为镀膜作业建立真空环境时，抽真空装置对真空罐进行抽真空而使得真空罐储备真空，在需要对进料腔室抽真空时，抽真空装置对进料腔室进行抽真空的同时，真空罐与进料腔室连通而吸入进料腔室中的气体，从而加快进料腔室的气压降低的速度；在进料腔室与真空罐之间的气压较为接近时，真空罐与进料腔室之间的第二截止阀关闭，抽真空装置仅对进料腔室进行抽真空，从而使得进料腔室的真空度迅速达到要求。

A vacuum system for producing solar coated glass and its working method

The present invention relates to a vacuum pumping system and method for the production of solar glass, a vacuum environment for coating operation in the use of the invention is used for the production of solar glass vacuum system, vacuum pumping device of vacuum tank vacuum and the vacuum in the vacuum tank reserves, need to feed chamber vacuum, vacuum pumping device of vacuum and the feeding chamber, a vacuum tank and the feed chamber and inhaled into the gas feed chamber, thus speeding up the pressure feeding chamber decreasing speed; pressure between the feed chamber and the vacuum tank is close, between the vacuum tank and the inlet feed chamber second off valve, vacuum pumping device for vacuum only to feed chamber, so that the feed chamber vacuum rapidly to meet the requirements.

【技术实现步骤摘要】
一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法
本专利技术涉及一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统及其作业方法。
技术介绍
太阳能作为取之不尽用之不竭的新能源，最近几年得到了长足的进步与发展。CIGS薄膜太阳能电池是全球光伏领域的开创性成果，是新一代最具竞争力的商业化薄膜太阳能电池，具有稳定性好、抗辐照性能好、成本低、效率高等优点。CIGS产线需要经过很多工艺过程，其核心设备是镀膜设备，包括磁控溅射镀膜和蒸发镀膜等方法，这都需要在真空环境下进行。其中铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线是整个工艺实现的基础。对于铜铟镓三元金属薄膜磁控溅射生产线，规定两片玻璃原片进入进口腔室的时间间隔为机械节拍。铜铟镓生产线的产能和机械节拍息息相关。一般一个机械节拍包括很多动作，比如进口腔室破空、门阀打开、玻璃传输、门阀关闭、进口室抽真空等等。为了提高经济效益，加快机械节拍就成了关键手段。经过分析可以得出，机械动作时间很短，进一步压缩的可能性比较小。抽真空的时间占到整个节拍的50％左右，所以怎么提高抽真空的时间就成了关键手段。一般为了达到快速抽空的目的，进口腔室的真空泵一般都是常开的。所以在进口腔室处本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征是，包括进料腔室(1)和缓冲腔室(4)，进料腔室(1)具有进料门阀(2)，进料腔室(1)与缓冲腔室(4)之间设有隔离门阀(3)；进料腔室(1)上连接有第一连接管(8)和第二连接管(9)，第一连接管(8)上连接有抽真空装置和第一截止阀(14)，第一截止阀(14)位于抽真空装置与进料腔室(1)之间，第二连接管(9)上连接有真空罐(5)和第二截止阀(15)，第二截止阀(15)位于进料腔室(1)与真空罐(5)之间，抽真空装置与真空罐(5)连接有第三连接管(10)，第三连接管(10)上设有第三截止阀(16)；所述第一连接管(8)上连接有第一真空计(11)，第...

【技术特征摘要】
1.一种用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征是，包括进料腔室(1)和缓冲腔室(4)，进料腔室(1)具有进料门阀(2)，进料腔室(1)与缓冲腔室(4)之间设有隔离门阀(3)；进料腔室(1)上连接有第一连接管(8)和第二连接管(9)，第一连接管(8)上连接有抽真空装置和第一截止阀(14)，第一截止阀(14)位于抽真空装置与进料腔室(1)之间，第二连接管(9)上连接有真空罐(5)和第二截止阀(15)，第二截止阀(15)位于进料腔室(1)与真空罐(5)之间，抽真空装置与真空罐(5)连接有第三连接管(10)，第三连接管(10)上设有第三截止阀(16)；所述第一连接管(8)上连接有第一真空计(11)，第一真空计(11)位于第一截止阀(14)和抽真空装置之间，所述进料腔室(1)上连接有第二真空计(12)，所述真空罐(5)上连接有第三真空计(13)。2.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述抽真空装置包括罗茨泵(7)与旋片泵(6)，罗茨泵(7)连接于旋片泵(6)与第一截止阀(14)之间。3.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述第一连接管(8)上连接有第一破真空阀(17)；第一破真空阀(17)位于抽真空装置与第一截止阀(14)之间。4.根据权利要求3所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述第一真空计(11)位于第一破真空阀(17)和抽真空装置之间。5.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述进料腔室(1)上连接有第二破真空阀(19)。6.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述真空罐(5)上连接有第三破真空阀(21)。7.根据权利要求1所述的用于生产太阳能镀膜玻璃的抽真空系统，其特征在于：所述第一截止阀(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：张仰平，王贝，刘锐，程明，张超群，葛治亮，
申请(专利权)人：中国建材国际工程集团有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31