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本实用新型公开了一种柔性卷绕镀膜真空隔离装置，其包括加工腔室、连接管、抽气腔室、进出气管、气塞、支架和控制模块，所述连接管的一端密封式安装在加工腔室的进出气口上另一端密封式安装在抽气腔室的进出气口上，所述进出气管安装在抽气腔室进出气口上，所...
该专利属于安徽方兴光电新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽方兴光电新材料科技有限公司授权不得商用。

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