The invention discloses an inductively coupled plasma mass spectrometer vacuum valve, including an ignition cavity. The top of the ignition cavity is provided with a cylinder. The bottom of the cylinder runs through the ignition cavity and extends to the internal fixer of the ignition cavity. By setting up an ignition cavity, a cylinder, a cylinder connecting head, a fixed block of a piece of bullet, a guide shaft, a front cover piece of a cavity, a front cover of a cavity, a piece of bullet fixed block three and a fixed block two of the bullet, the present invention solves the sliding failure of the existing inductively coupled plasma mass spectrometer in sliding process, noise and slipping over the existing inductively coupled plasma mass spectrometer. This inductively coupled plasma mass spectrometer vacuum valve has the advantages of convenient use. The valve is small in volume, uses elastic deformation to seal, and can be used flexibly to realize the primary switch of the valve.
【技术实现步骤摘要】
一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门
本专利技术涉及真空阀体
,具体为一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门。
技术介绍
在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门,电感耦合等离子体质谱仪真空阀门是真空阀门的一种,但是,现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的现象。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,具备方便使用的优点,解决了现有的电感耦合等离子体质谱仪在滑动过程的滑动不顺,有噪音以及滑动过程的卡死现象,以及实现一次开关要几次开关来实现的问题。为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体,所述点火腔体的顶部设置有气缸,所述气缸的底部贯穿点火腔体并延伸至点火腔体的内部固定连接有气缸转接头,所述气缸转接头的底部固定连接有弹片固定块一,所述弹片固定块一底部的两侧均固定连接有导向轴,所述导向轴的内侧固定连接有腔体前盖弹片,所述腔体前盖弹片的表面固定连接有腔体前盖,所述腔体前盖弹片的表面固定连接有弹片固定块三,所述导向轴和腔体前盖弹片的一端固定连接有弹片固定块二。优选的,所述气缸的底部与点火腔体的顶部通过固定件固定连接。优选的,所述点火腔体正面的四角均开设有圆孔,且圆孔呈等距离排列。优选的,所述气缸的底部与气缸转接头的顶部通过连接件固定连接。与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下:1、本专利技术通过设置点火腔体、气缸、气缸转接头、弹片固定块一、导向轴、腔体前盖弹片 ...
【技术保护点】
一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体(1),其特征在于:所述点火腔体(1)的顶部设置有气缸(2),所述气缸(2)的底部贯穿点火腔体(1)并延伸至点火腔体(1)的内部固定连接有气缸转接头(3),所述气缸转接头(3)的底部固定连接有弹片固定块一(4),所述弹片固定块一(4)底部的两侧均固定连接有导向轴(5),所述导向轴(5)的内侧固定连接有腔体前盖弹片(6),所述腔体前盖弹片(6)的表面固定连接有腔体前盖(7),所述腔体前盖弹片(6)的表面固定连接有弹片固定块三(8),所述导向轴(5)和腔体前盖弹片(6)的一端固定连接有弹片固定块二(9)。
【技术特征摘要】
1.一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门,包括点火腔体(1),其特征在于:所述点火腔体(1)的顶部设置有气缸(2),所述气缸(2)的底部贯穿点火腔体(1)并延伸至点火腔体(1)的内部固定连接有气缸转接头(3),所述气缸转接头(3)的底部固定连接有弹片固定块一(4),所述弹片固定块一(4)底部的两侧均固定连接有导向轴(5),所述导向轴(5)的内侧固定连接有腔体前盖弹片(6),所述腔体前盖弹片(6)的表面固定连接有腔体前盖(7),所述腔体前盖弹片(6)的表面固定连接有弹片固定块三(...
【专利技术属性】
技术研发人员:孙克强,丁志国,陈万锁,江波,山拓,
申请(专利权)人:江苏衡昇仪器有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。