级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法技术

本发明专利技术提出了一种级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法，其中级联薄膜基片粘结体制作工装，包括：工装主体、压力调整机构；工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，级联薄膜基片之间涂有粘结剂；压力调整机构，用于调整多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。所加工得到的级联薄膜光学器件的波前畸变小，可以适用于各种通信、测量等高精密光学系统，且提高了透过光束能量阈值，减小在高能激光应用中出现炸裂的可能性，还可以大幅提高级联薄膜光学器件的合束、分束系统的角度精度，提高光能利用率。

Fabrication of laminated film substrate adhesive and fabrication of optical devices

The invention provides a method for making tooling and optical device making of a cascade film substrate bond body, in which the cascade film substrate binding body is made of the tooling, including the main body of the tooling, the pressure adjusting mechanism, the assembly body, the cascade film substrate carrying a plurality of layers, the adhesive between the cascaded film substrates and the pressure. The adjustment mechanism is used to adjust the pressure distribution between the cascaded thin film substrates, and the multiple laminated substrates of the pressure distribution are pressed into a cascade film substrate bond. The wavefront distortion of the cascaded thin film optical devices is small, which can be applied to various high precision optical systems such as communication and measurement. It also improves the threshold of beam energy and reduces the possibility of cracking in high energy laser applications. The angle of beam splitting and beam splitting system of high level thin film optical devices can be greatly raised. Degree of precision, improve the utilization of light energy.

【技术实现步骤摘要】
级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法
本专利技术涉及级联薄膜光学器件领域，尤其涉及一种级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法。
技术介绍
级联薄膜光学器件由多层不同特性的膜薄构成，可以实现不同波长、不同偏振态、不同能量比的分束、合束功能，被越来越多的应用于投影显示、激光等现代光电系统中。但是，由于其结构复杂、加工工艺繁琐，且现有的制作级联薄膜的方法所制作的级联薄膜难以满足要求，存在级联薄膜的角度精度低、胶层均匀性差等不足，使得分束、合束角度精度差、波前不均匀，甚至在激光应用中存在鬼像损坏的问题。
技术实现思路
为了解决上述现有制作级联薄膜光学器件的方法所带来的级联薄膜的角度精度低、胶层均匀性差的问题，本专利技术提出了一种级联薄膜基片粘结体制作工装，以及光学器件制作方法。为了达到上述目的，本专利技术的级联薄膜基片粘结体制作工装，用于制作级联薄膜基片粘结体，级联薄膜基片粘结体用于制作级联薄膜光学器件，包括：工装主体、压力调整机构；工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，级联薄膜基片之间涂有粘结剂；压力调整机构，用于调整多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的多个层叠的级联薄膜基片压制成级联薄膜基片粘结体。进一步的，压力调整机构包括：工装框架及多个调整螺钉、固定旋钮、压块；多个调整螺钉螺纹连接于工装框架，工装框架滑动套设于工装主体内腔；每个固定旋钮套设于每个对应调整螺钉上，用于切换调整螺钉处于半锁紧状态或锁死状态；每个调整螺钉的下端对应连接有压块，多个压块用于向多个层叠的级联薄膜基片施加压力，调整压力分布。为了达到上述目的，本专利技术的光学器件制作方法，用于制造级联薄膜光学器件，包括：在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片；使用级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体；将级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光学器件，级联薄膜光学器件包括：级联薄膜光波导、级联薄膜棱镜、级联薄膜透镜。进一步的，使用级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体，包括：将多个级联薄膜基片的表面涂覆粘结剂，并将级联薄膜基片依次层叠于级联薄膜基片粘结体制作工装的工装主体内；通过自准直仪获取级联薄膜基片粘结体的级联薄膜的反射像、反射光圈；根据反射像、反射光圈，调整压力调整机构施加于级联薄膜基片的力的分布，使反射光圈为同心圆状、反射像间距小于1’。进一步的，在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片的步骤之后，使用级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体的步骤之前，还包括：使用离子束清洁多个级联薄膜基片。进一步的，将级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光学器件的步骤之后，还包括：当级联薄膜光学器件为级联薄膜光波导时，使用激光数字干涉仪通过透射波前测试、反射波前测试，检测级联薄膜光波导的上下表面的平面度、平行度以及胶层内部的均匀性。进一步的，在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片步骤中，每个级联薄膜基片的镀膜包括：偏振膜、偏振分光膜、面分光膜、SiO2补偿膜。进一步的，将级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光学器件的步骤，当级联薄膜光学器件为级联薄膜光波导时，包括：使用金刚石刀头的磨切车床对级联薄膜基片粘结体沿设定角度的两面同时磨削，形成级联薄膜光波导原片；根据设定尺寸切割级联薄膜光波导原片，制成级联薄膜光波导。本专利技术的技术效果在于，通过级联薄膜基片粘结体制作工装及光学器件制作方法，所加工得到的级联薄膜光学器件的波前畸变小，可以适用于各种通信、测量等高精密光学系统，并且其胶层均匀性高，提高了透过光束能量阈值，减小在高能激光应用中出现炸裂的可能性，还可以大幅提高级联薄膜光学器件的合束、分束系统的角度精度，提高光能利用率。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例的级联薄膜基片粘结体制作工装的结构示意图。图2为本专利技术实施例的级联薄膜基片粘结体制作工装的压力调整机构的结构示意图。图3为本专利技术实施例的光学器件制作方法的步骤流程图。图4为本专利技术实施例的反射光圈图样。图5为本专利技术实施例中级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光波导原片的示意图。图6为本专利技术实施例中透射波前测试、反射波前测试的示意图。附图标号：工装主体100压力调整机构200调整螺钉210固定旋钮220压块230工装框架240级联薄膜基片300级联薄膜基片粘结体400磨切车床500金刚石刀头510旋转固定机台520激光数字干涉仪600标准反射镜700级联薄膜光波导800具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域相关技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术的保护的范围。图1为本专利技术实施例的级联薄膜基片粘结体制作工装的结构示意图，如图1所示，本专利技术实施例的级联薄膜基片粘结体制作工装，用于制作级联薄膜基片粘结体，级联薄膜基片粘结体用于制作级联薄膜光学器件，包括：工装主体100、压力调整机构200；工装主体100，用于承载多个层叠的级联薄膜基片300，级联薄膜基片300之间涂有粘结剂；压力调整机构200，用于调整多个层叠的级联薄膜基片300之间的压力分布，并将压力分布均匀的多个层叠的级联薄膜基片300压制成级联薄膜基片粘结体400。本专利技术实施例的级联薄膜基片粘结体工装的工装主体100、压力调整机构200，通过将通过该级联薄膜基片粘结体工装制作级联薄膜基片粘结体的具体步骤是，首先，工装主体100安置于平稳、水平的位置后，将多个表面涂覆有粘结剂的级联薄膜基片300按序叠压于工装主体100内，工装主体100内部将多个级联薄膜基片300约束于一固定位置；然后，于工装主体100内且级联薄膜基片300之上，安装压力调整机构200；最后，调整压力调整机构200施加在最上层的级联薄膜基片300上的压力分布，使多个级联薄膜基片300上各点所受到的压力均匀分布后，使多层的级联薄膜基片300之间的粘结剂固化，直至形成稳定的级联薄膜基片粘结体400。该级联薄膜基片粘结体400可以直接用于后续制作级联薄膜光学器件。通过校正多个级联薄膜基片300的应力分布，可以克服级联薄膜的角度精度低、胶层均匀性差等不足的问题，使得后续加工得到的级联薄膜光学器件中的级联薄膜具有更高质量。图2为本专利技术实施例的级联薄膜基片粘结体制作工装的压力调整机构的结构示意图，如图2所示，压力调整机构200包括：工装框架240及多个调整螺钉210、固定旋钮220、压块230；多个调整螺钉210螺纹连接于工装框架240，工装框架240滑动套设于工装主体100内腔；每个固定旋钮220套设于每个对应调整螺钉210上，用于切换调整螺钉210处于半锁紧状态或锁死状态；每个调整螺钉210的下端对应连接有压块230，多个压块230用于向多个层叠的级联薄膜基片300施加压力，调整压力分布。压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种级联薄膜基片粘结体制作工装，用于制作级联薄膜基片粘结体，所述级联薄膜基片粘结体用于制作级联薄膜光学器件，其特征在于，包括：工装主体、压力调整机构；所述工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，所述级联薄膜基片之间涂有粘结剂；所述压力调整机构，用于调整所述多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的所述多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。

【技术特征摘要】
1.一种级联薄膜基片粘结体制作工装，用于制作级联薄膜基片粘结体，所述级联薄膜基片粘结体用于制作级联薄膜光学器件，其特征在于，包括：工装主体、压力调整机构；所述工装主体，用于承载多个层叠的级联薄膜基片，所述级联薄膜基片之间涂有粘结剂；所述压力调整机构，用于调整所述多个层叠的级联薄膜基片之间的压力分布，并将压力分布均匀的所述多个层叠的基片压制成级联薄膜基片粘结体。2.根据权利要求1所述的级联薄膜基片粘结体制作工装，其特征在于，所述压力调整机构包括：工装框架及多个调整螺钉、固定旋钮、压块；所述多个调整螺钉螺纹连接于所述工装框架，所述工装框架滑动套设于所述工装主体内腔；每个所述固定旋钮套设于每个对应所述调整螺钉上，用于切换所述调整螺钉处于半锁紧状态或锁死状态；每个所述调整螺钉的下端对应连接有所述压块，多个所述压块用于向所述多个层叠的级联薄膜基片施加压力，调整压力分布。3.一种光学器件制作方法，用于制造级联薄膜光学器件，其特征在于，包括：在多个基片上镀膜制作多个级联薄膜基片；使用如权利要求1至2中任一项所述的级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体；将所述级联薄膜基片粘结体磨切成级联薄膜光学器件，所述级联薄膜光学器件包括：级联薄膜光波导、级联薄膜棱镜、级联薄膜透镜。4.根据权利要求3所述的光学器件制作方法，其特征在于，所述使用如权利要求1至2中任一项所述的级联薄膜基片粘结体制作工装、多个级联薄膜基片制作级联薄膜基片粘结体，包括：将多个所述级联薄膜基片的表面涂覆粘结剂，并将所述级联薄膜基片依次层叠于所述级联薄膜基片粘结体制作工装的工装主体内；通过自准直仪获取所述级联薄膜基片粘结体的级联薄膜的反射像、反射光圈；根据所述反射像、反...

【专利技术属性】
技术研发人员：李勇，吴斐，郑臻荣，
申请(专利权)人：北京亮亮视野科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11