一种真空电子器件真空除气设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架和机械泵；所述支撑架上方设有电子管，电子管底部连接有可伐，可伐与电子管连通；所述可伐连通有陶瓷管，陶瓷管底部连通有可伐；所述可伐底部通过管道与超高真空阀连通，超高真空阀连通有冷阱；所述冷阱连通有扩散泵，扩散泵连通有机械泵。本实用新型专利技术通过设有真空烘烤罩，对电子管进行高效的双真空排气，排气效率更高，效果更好，同时使用真空烘干的方式，减少热量散失，节约能源。

Vacuum degassing equipment for electronic devices

The utility model discloses a vacuum electronic device and vacuum degassing device, which comprises a supporting frame and a mechanical pump; the support frame is arranged above the tube, tube is connected with Kovar, Kovar connected with electron tubes; the Kovar is communicated with a ceramic tube, ceramic tube is communicated with the bottom of the Kovar; the Kovar bottom is communicated with the ultra high vacuum valve through the pipeline, ultra high vacuum valve is communicated with the cold trap; the cold trap is connected with a diffusion pump, diffusion pump connected with a mechanical pump. The utility model is provided with a vacuum baking cover, which has high efficiency double vacuum exhaust for the electronic tube, and has higher exhaust efficiency and better effect. At the same time, the vacuum drying method is adopted to reduce heat loss and save energy.

【技术实现步骤摘要】
一种真空电子器件真空除气设备
本技术涉及真空电子器件领域，具体是一种真空电子器件真空除气设备。
技术介绍
真空电子器件指借助电子在真空或者气体中与电磁场发生相互作用，将一种形式电磁能量转换为另一种形式电磁能量的器件。具有真空密封管壳和若干电极，管内抽成真空，残余气体压力为10-4～10-8帕。有些在抽出管内气体后，再充入所需成分和压强的气体。广泛用于广播、通信、电视、雷达、导航、自动控制、电子对抗、计算机终端显示、医学诊断治疗等领域。在电子管的生产过程中，传统真空电子管排气台结构复杂，耗能高，操作繁琐，排气的效率不高，生产耗费的时间长。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空电子器件真空除气设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架和机械泵；所述支撑架上方设有电子管，电子管底部连接有可伐，可伐与电子管连通；所述可伐连通有陶瓷管，陶瓷管底部连通有可伐；所述可伐底部通过管道与超高真空阀连通，超高真空阀连通有冷阱；所述冷阱连通有扩散泵，扩散泵连通有机械泵；所述电子管上方设有真空罩，真空罩内壁上固定连接有螺旋状的加热丝；所述真空罩下方设有真空密封槽；所述真空罩连通有波纹管，波纹管与冷阱连通，波纹管设有电磁气阀；所述真空罩顶部固定连接有移动板，移动板滑动连接有支撑侧板；所述移动板顶部铰接有对称的连接杆，连接杆铰接有对称的滑块，滑块滑动连接有横板；所述对称的滑块螺纹连接有转轴；所述转轴通过轴承与支撑侧板转动连接，转轴右侧固定连接有驱动电机。作为本技术进一步的方案：所述可伐与支撑架固定连接。作为本技术进一步的方案：所述支撑侧板与支撑架固定连接。作为本技术进一步的方案：所述横板与支撑侧板固定连接。作为本技术进一步的方案：所述转轴左、右两部分设有反向的螺纹。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过设有真空烘烤罩，对电子管进行高效的双真空排气，排气效率更高，效果更好，同时使用真空烘干的方式，减少热量散失，节约能源。附图说明图1为真空电子器件真空除气设备的剖视图；图2为真空电子器件真空除气设备中可伐的连接示意图。图中：1-支撑架；2-电子管；3-可伐；4-陶瓷管；5-超高真空阀；6-冷阱；7-扩散泵；8-机械泵；9-真空罩；10-加热丝；11-波纹管；12-电磁气阀；13-移动板；14-连接杆；15-滑块；16-横板；17-转轴；18-驱动电机；19-支撑侧板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1～2，本技术实施例中，一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架1和机械泵8；所述支撑架1上方设有电子管2，电子管2底部连接有可伐3，可伐3对电子管3进行固定，可伐3与电子管2连通；所述可伐3连通有陶瓷管4，陶瓷管4底部连通有可伐3，可伐3与支撑架1固定连接有；所述可伐3底部通过管道与超高真空阀5连通，超高真空阀5连通有冷阱6；所述冷阱6连通有扩散泵7，扩散泵7与支撑架1固定连接；所述扩散泵7连通有机械泵8，机械泵8与支撑架1固定连接；机械泵8和扩散泵7配合进行抽真空；所述电子管2上方设有真空罩9，真空罩9内壁上固定连接有螺旋状的加热丝10，加热丝10与外部电源电性连接，加热丝10对电子管2进行烘干除气；所述真空罩9下方设有真空密封槽20，真空密封槽20与支撑架1固定连接；所述真空罩9连通有波纹管11，波纹管11与冷阱6连通，波纹管11设有电磁气阀12；所述真空罩9顶部固定连接有移动板13，移动板13滑动连接有支撑侧板19，支撑侧板19与支撑架1固定连接；所述移动板13顶部铰接有对称的连接杆14，连接杆14铰接有对称的滑块15，滑块15滑动连接有横板16，横板16与支撑侧板19固定连接；所述对称的滑块15螺纹连接有转轴17，转轴17左、右两部分设有反向的螺纹；所述转轴17通过轴承与支撑侧板19转动连接，转轴17右侧固定连接有驱动电机18，驱动电机18与外部电源电性连接。本技术的工作原理是：将电子管2固定在可伐3，启动驱动电机18，驱动电机18带动转轴17转动，滑块15在转轴17上作背向移动，滑块15通过连接杆14带动移动板13向下移动，进而带动真空罩9向下移动，使得真空罩9插入密封插槽20中，真空罩9形成密闭空间，启动机械泵8和扩散泵7，打开超高真空阀6和电磁气阀12，对电子管进行排气同时对真空罩9进行排气，当真空度达到要求，启动电热丝10，对电子管进行真空烘干，实现“双真空排气”，具有较好的排气效果，排气效率高，同时在真空条件下烘烤，减少热量扩散，节约能源。对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架(1)和机械泵(8)；其特征在于，所述支撑架(1)上方设有电子管(2)，电子管(2)底部连接有可伐(3)，可伐(3)与电子管(2)连通；所述可伐(3)连通有陶瓷管(4)，陶瓷管(4)底部连通有可伐(3)；所述可伐(3)底部通过管道与超高真空阀(5)连通，超高真空阀(5)连通有冷阱(6)；所述冷阱(6)连通有扩散泵(7)，扩散泵(7)连通有机械泵(8)；所述电子管(2)上方设有真空罩(9)，真空罩(9)内壁上固定连接有螺旋状的加热丝(10)；所述真空罩(9)下方设有真空密封槽(20)；所述真空罩(9)连通有波纹管(11)，波纹管(11)与冷阱(6)连通，波纹管(11)设有电磁气阀(12)；所述真空罩(9)顶部固定连接有移动板(13)，移动板(13)滑动连接有支撑侧板(19)；所述移动板(13)顶部铰接有对称的连接杆(14)，连接杆(14)铰接有对称的滑块(15)，滑块(15)滑动连接有横板(16)；所述对称的滑块(15)螺纹连接有转轴(17)；所述转轴(17)通过轴承与支撑侧板(19)转动连接，转轴(17)右侧固定连接有驱动电机(18)。

【技术特征摘要】
1.一种真空电子器件真空除气设备，包括支撑架(1)和机械泵(8)；其特征在于，所述支撑架(1)上方设有电子管(2)，电子管(2)底部连接有可伐(3)，可伐(3)与电子管(2)连通；所述可伐(3)连通有陶瓷管(4)，陶瓷管(4)底部连通有可伐(3)；所述可伐(3)底部通过管道与超高真空阀(5)连通，超高真空阀(5)连通有冷阱(6)；所述冷阱(6)连通有扩散泵(7)，扩散泵(7)连通有机械泵(8)；所述电子管(2)上方设有真空罩(9)，真空罩(9)内壁上固定连接有螺旋状的加热丝(10)；所述真空罩(9)下方设有真空密封槽(20)；所述真空罩(9)连通有波纹管(11)，波纹管(11)与冷阱(6)连通，波纹管(11)设有电磁气阀(12)；所述真空罩(9)顶部固定连接有移动板(13)，移动板(13)滑动连接有支撑侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘春华，蔡小华，
申请(专利权)人：江西景光电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江西,36