一种通用型基板架制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种通用型基板架，其特征在于：在所述上、下基板盘的表面分别开设有环槽，所述挂钩基座通过连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。本实用新型专利技术的优点是：可兼容不同尺寸的镀膜工件的载体，兼容性优势非常大；基板盘分割改造作业非常方便，省时省力。

A general type base plate frame

The utility model relates to the technical field of vacuum coating equipment, in particular to a universal substrate frame, which is characterized in that the surface of the upper and lower substrate plate are respectively provided with a ring groove, the hook base is connected to the ring groove and connected with a connecting piece in the annular slot or slide fixed by the. The advantages of the utility model are that it can be compatible with the carrier of the film coated workpiece with different sizes, the compatibility advantage is very large, and the partition and transformation operation of the substrate plate is very convenient, and saves time and labor.

【技术实现步骤摘要】
一种通用型基板架
本技术涉及真空镀膜设备
，尤其是一种通用型基板架。
技术介绍
在溅射镀膜工艺中，基板、基片等镀膜工件需要置于一载体上，而载体则通过连接件固定架设到圆筒鼓型基板架上。随着基板架的转动，溅射源对承载在载体上的镀膜工件进行溅射镀膜。目前，由于基板的多样性，载体的尺寸也各不相同，因此需要根据载体的具体尺寸适配对应的基板架来完成装载。然而在实际使用的过程中，存在以下问题：1）既有圆筒鼓型基板架固定分割，只能装一种宽度的载体，适应的基板尺寸具有局限性，在频繁更换载体时，需要更换对应的基板架，更换所耗费的时间较长，而且工序也较为麻烦；2）既有基板盘过多定位孔，且分割大小不同，不具有通用性，安装费时；3）既有圆筒鼓型基板架为固定分割，换分割数时需要更换基板盘等基板架结构，人工及物料耗费较大。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种通用型基板架，通过在上、下基板盘上设置环槽并配合相应的连接件使挂钩基座可在上、下基板盘上滑动以调整位置，从而适应不同的载体宽度，使上、下基板盘可具有不同的分割数。本技术目的实现由以下技术方案完成：一种通用型基板架，至少包括上、下基板盘、载体及若干挂钩基座，其中所述上、下基板盘通过连接杆连接固定构成一体，所述载体用于承载镀膜工件，在所述上、下基板盘上分别设置有所述挂钩基座，且位于上基板盘上的挂钩基座与位于下基板盘上的挂钩基座一一对应且相对应的两个挂钩基座处于同一水平面内，所述载体通过其两端与所述上、下基板盘上的所述挂钩基座之间的连接固定悬挂在所述上、下基板盘的外缘，其特征在于：在所述上、下基板盘的表面分别开设有环槽，所述挂钩基座通过连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。所述环槽为环形燕尾槽。在所述上基板盘和所述下基板盘之间设置有若干防漏膜挡条，所述防漏膜挡条布置在相邻的所述载体之间，所述漏膜挡条的固定棒通过所述连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。所述连接件为螺栓，所述螺栓的头部呈菱形且布置在所述环槽内，所述螺栓的螺杆穿过开设在所述挂钩基座上的连接槽并通过螺母紧固。所述挂钩基座上具有至少两个用于连接固定所述载体的挂钩，所述挂钩之间的间距与所述载体上的挂钩孔之间的间距相吻合适配。本技术的优点是：可兼容不同尺寸的镀膜工件的载体，兼容性优势非常大；基板盘分割改造作业非常方便，省时省力。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1的侧视图；图3为图1的俯视图；图4为本技术的细部结构示意图。具体实施方式以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解：如图1-4所示，图中标号1-14分别表示为：下基板盘1、挂钩基座2、载体3、挂钩4、连接件5、挂钩基座6、上基板盘7、固定棒8、防漏膜挡条9、连接杆10、中心孔11、燕尾槽12、挂钩13、连接槽14。实施例：如图1所示，本实施例中的通用型基板架主体由下基板盘1、上基板盘7及设置于上、下基板盘7、1之间的连接杆10构成，其中连接杆10的两端分别与上、下基板盘7、1固定连接，从而使得上、下基板盘7、1可通过连接杆10连成一体。如图3所示，在上基板盘7的中心位置开设有中心孔11，通过在中心孔11的位置处设置旋转机构可驱动上基板盘7旋转；下基板盘1上亦开设有与中心孔11同轴的中心孔。结合图1、图2及图3所示，在下基板盘1上设置有挂钩基座2，在上基板盘7上设置有挂钩基座6，挂钩基座2和挂钩基座6分别通过连接件5与对应的基板盘相连接。在挂钩基座2和挂钩基座6上均设置有挂钩13，挂钩13用于悬挂安装载体3，载体3用于承载作为镀膜工件的基板或基片。由于载体3一般为平板状，因此位于下基板盘1上的挂钩基座2和上基板盘7上的挂钩基座6相对应且处于同一水平面内；通过一组挂钩基座2和挂钩基座6，载体3可悬挂固定在上、下基板盘7的外缘并在镀膜时随着基板盘旋转。如图4所示的上基板盘7的细部结构示意图，在上基板盘7的表面开设有环形的燕尾槽12。挂钩基座6呈L形，其水平面通过连接件5与燕尾槽12相连接，其竖直面上设置两个挂钩13。连接件5包括一头部呈菱形的螺栓，该螺栓的菱形头部卡接在燕尾槽12内并可沿燕尾槽12滑动，该螺栓的螺杆穿过开设在挂钩基座6水平面上的连接槽14伸出并可通过适配的螺母拴紧固定。因此，挂钩基座6可通过连接件5在燕尾槽12内滑动，以调整其在上基板盘7上的位置，从而改变相邻挂钩基座6之间的间距以兼容不同尺寸的载体3，实现基板架分割数的改造。同理，下基板盘1上所设置的挂钩基座2也如挂钩基座6一样布置，即通过相同的连接件5连接在下基板盘1上所开设的环形的燕尾槽12之中，使得挂钩基座2可通过连接件5调整其在下基板盘1上的位置。如图2、图3及图4所示，在相邻的载体3之间设置有防漏膜挡条9，防漏膜挡条9用于防止膜料进入非镀膜区域,以及相邻载体3上镀膜工件受到膜料的干涉影响所导致的镀膜质量降低。防漏膜挡条9通过固定棒8安装在上、下基板盘7、1的外缘。固定棒8的两端分别通过连接件5卡接在上、下基板盘7、1的燕尾槽12之中，使得固定棒8亦可调整其在上、下基板盘7上的位置以适应载体3的尺寸。本实施例在具体应用时，包括：根据不同载体3的尺寸需要，通过连接件5移动上、下基板盘7、1上的挂钩基座6、2，调整挂钩基座在基板盘上的位置，从而避免相邻载体3发生碰撞。在移动到位后，保证挂钩基座6和挂钩基座2处于同一水平面内。在连接件5上旋拧螺母使挂钩基座6和挂钩基座2的位置固定。在挂钩基座6和挂钩基座2位置固定后，可将载体3悬挂固定在挂钩13上。这样一来，上、下基板盘7的分割数得以改造，从而兼容不同尺寸的载体3。为了适应不同尺寸的载体3，通过连接件5调整固定棒8的位置，使防漏膜挡条9处于相邻的载体3之间，保证相邻的载体3之间总设置有防漏膜挡条9。本实施例在具体实施时：如图4所示，两个挂钩13之间的间距可满足于与载体3上的挂钩孔之间的间距相吻合适配。一般而言，不同尺寸的载体3上的挂钩孔位置固定，因此挂钩基座2和挂钩6上的挂钩13的间距也可固定，只需要保证挂钩13的间距与载体3上的挂钩孔之间的间距适配即可。连接件5除了可以为一体式的菱形头部螺栓，也可以采用一段螺杆与一菱形固定块的结合，只要能通过其使挂钩基座6和挂钩基座2在各自的燕尾槽12中滑动和固定即可。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种改进和变换，故在此不一一赘述。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种通用型基板架，至少包括上、下基板盘、载体及若干挂钩基座，其中所述上、下基板盘通过连接杆连接固定构成一体，所述载体用于承载镀膜工件，在所述上、下基板盘上分别设置有所述挂钩基座，且位于上基板盘上的挂钩基座与位于下基板盘上的挂钩基座一一对应且相对应的两个挂钩基座处于同一水平面内，所述载体通过其两端与所述上、下基板盘上的所述挂钩基座之间的连接固定悬挂在所述上、下基板盘的外缘，其特征在于：在所述上、下基板盘的表面分别开设有环槽，所述挂钩基座通过连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。

【技术特征摘要】
1.一种通用型基板架，至少包括上、下基板盘、载体及若干挂钩基座，其中所述上、下基板盘通过连接杆连接固定构成一体，所述载体用于承载镀膜工件，在所述上、下基板盘上分别设置有所述挂钩基座，且位于上基板盘上的挂钩基座与位于下基板盘上的挂钩基座一一对应且相对应的两个挂钩基座处于同一水平面内，所述载体通过其两端与所述上、下基板盘上的所述挂钩基座之间的连接固定悬挂在所述上、下基板盘的外缘，其特征在于：在所述上、下基板盘的表面分别开设有环槽，所述挂钩基座通过连接件与所述环槽连接并可通过所述连接件在所述环槽内滑动或固定。2.根据权利要求1所述的一种通用型基板架，其特征在于：所述环槽为环形燕尾槽。...

【专利技术属性】
技术研发人员：戴秀海，余海春，马淑莹，朱争强，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31