一种彩色不锈钢真空镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:17731920 阅读:103 留言:0更新日期:2018-04-18 10:10
本实用新型专利技术公开了一种彩色不锈钢真空镀膜装置,包括圆柱形外筒体,所述外筒体内设有与其同轴线布置的圆柱形内筒体,外筒体与内筒体之间设有用于带动金属管件转动的旋转机构,外筒体和内筒体上分别设有绕两者侧壁呈圆柱螺旋状布置的第一金属离子源组和第二金属离子源组,所述第一金属离子源组和第二金属离子源组中均包括多个沿同一圆柱螺旋线间隔分布的金属离子源,第一金属离子源组和第二金属离子源组螺旋方向相同且两者相对布置。本实用新型专利技术提供的彩色不锈钢真空镀膜装置,薄膜在金属管件上的附着更均匀,镀膜后的金属管件的成品质量更高,真空电镀工序所需的时间缩短至原来的一半,功效提高50%以上。

A color stainless steel vacuum coating device

The utility model discloses a stainless steel vacuum coating device, which comprises a cylindrical outer cylinder and the outer cylinder body is provided with the same axis layout of the cylindrical inner cylinder for rotary mechanism to drive the rotation of the metal pipe is arranged between the outer cylinder and the inner cylinder of the outer cylinder and the inner cylinder body are respectively provided with a winding the two side wall of a first metal ion source group and the second metal ion source set of cylindrical spiral arrangement, comprising a plurality of cylindrical helix spaced along the same metal ion source distribution were the first group and the second metal ion source metal ion source group, the first group and the second metal ion source metal ion source group the same spiral direction and both relative arrangement. The color stainless steel vacuum coating device provided by the utility model has more uniform adhesion on the metal pipe fittings, the quality of finished metal pipe parts is higher, the time required for vacuum plating process is shortened to half of the original value, and the efficiency is increased by more than 50%.

【技术实现步骤摘要】
一种彩色不锈钢真空镀膜装置
本技术涉及真空镀领域,尤其涉及一种在外筒体和内筒体上均设有呈圆柱螺旋状分布的金属离子源组的彩色不锈钢真空镀膜装置。
技术介绍
在电镀工艺中,需要镀膜的被称为基片,镀的材料称为靶材。在需要对金属管件进行真空电镀时,金属管件为靶材,一般先将金属管件放置在真空外筒体内抽真空,然后通过设置在外筒体上的离子源将呈中性的靶材电离,让其附着在基片(即真空管件)的表面并逐渐形成薄膜。目前的真空镀膜装置中,为使金属管件表面与真空外筒体内被电离的靶材接触更充分、从而提高镀膜的均匀度,真空镀膜装置中设有能使金属管件转动的旋转机构。然而,由于传统真空镀膜装置中,离子源布置的位置较为单一,一般只设置在外筒体上的某一处,导致外筒体内距离离子源位置较近的靶材电离效果充分,而远离离子源的靶材电离效果较差,因此,只有当金属管件转到离该离子源较近的位置时,附着在金属管件上的靶材质量才比较好,有时候会通过加快金属管件的旋转来抵消镀膜的不均匀度,但由于一台真空镀膜装置中装的管件较多,加上旋转机构本身质量大,导致加快金属管件旋转会带来巨大的能耗。最终完成电镀工艺后的金属管件,其表面的电镀薄膜分布均本文档来自技高网...
一种彩色不锈钢真空镀膜装置

【技术保护点】
一种彩色不锈钢真空镀膜装置,包括圆柱形外筒体(1),其特征在于,所述外筒体(1)内设有与其同轴线布置的圆柱形内筒体(3),外筒体(1)与内筒体(3)之间设有用于带动金属管件转动的旋转机构,外筒体(1)和内筒体(3)上分别设有绕两者侧壁呈圆柱螺旋状布置的第一金属离子源组和第二金属离子源组,所述第一金属离子源组和第二金属离子源组中均包括多个沿同一圆柱螺旋线间隔分布的金属离子源(2),第一金属离子源组和第二金属离子源组螺旋方向相同且两者相对布置。

【技术特征摘要】
1.一种彩色不锈钢真空镀膜装置,包括圆柱形外筒体(1),其特征在于,所述外筒体(1)内设有与其同轴线布置的圆柱形内筒体(3),外筒体(1)与内筒体(3)之间设有用于带动金属管件转动的旋转机构,外筒体(1)和内筒体(3)上分别设有绕两者侧壁呈圆柱螺旋状布置的第一金属离子源组和第二金属离子源组,所述第一金属离子源组和第二金属离子源组中均包括多个沿同一圆柱螺旋线间隔分布的金属离子源(2),第一金属离子源组和第二金属离子源组螺旋方向相同且两者相对布置。2.根据权利要求1所述的一种彩色不锈钢真空镀膜装置,其特征在于,位于所述第一金属离子源组中的金属离子源(2)与位于第二金属离子源组中的金属离子源(2)一一对应,相对应的一对金属离子源(2)位于所述外筒体(1)的同一横截...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡建德
申请(专利权)人:佛山市博雅钛金科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东,44

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1