一种电弧靶升降抬头机构制造技术

一种电弧靶升降抬头机构，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；升降架为一竖立支架，升降台可沿升降架上、下移动地安装在升降架上；电弧源组件铰接在升降台上，并保持水平；限位器安装在升降架的顶部；驱动机构通过传动机构与升降台相连；驱动机构通过传动机构，驱动升降台沿升降架上下升降运动，并在升降台上升运动靠近升降架的顶部时，限位器与弧靶支承组件的尾端接触，下压弧靶支承组件的尾端，随升降台的继续上升，限位器使弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在弧靶支承组件前端的弧靶组件抬头运动。本发明专利技术能驱动电弧靶升降运动，并适时作抬头运动。

An elevating mechanism of arc target

A lift up mechanism of arc target, including lifting frame, table, arc source assembly, lifting limit device, also includes a driving mechanism and a transmission mechanism; the lifting frame is a vertical bracket, the lifting platform can move up and down along the lifting frame mounted on the lifting frame; the arc source component is hinged on the lifting platform. And keep the level; the limiter is installed on the top of the lifting frame; the driving mechanism is connected with the lifting platform through a driving device; the driving mechanism through a transmission mechanism, driving the lifting platform along the lifting frame lifting movement, and in the lift upward motion near the top of the lifting frame, limiter and arc target bearing assembly end at the end of contact, under the pressure of arc target bearing assembly, with lifting platform continues to rise, the limiter makes the front arc target bearing assembly as high up as plate, drive installed in the target group arc arc target at the front end of the support assembly The piece moves up. The invention can drive the lifting motion of the arc target and make up the head up motion in a timely manner.

【技术实现步骤摘要】
一种电弧靶升降抬头机构
本专利技术涉及大型罐体内壁镀膜的真空阴极电弧镀膜机，特别涉及一种用于驱动所述镀膜机的电弧靶在镀膜机的镀室内，升降运动并适时抬头运动的电弧靶升降抬头机构。技术背景这里的大型罐体，指一端开口另一端具有封顶盖，直径1.5米—3.3米x高2.5米—3.8米的罐体。这里的大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机，指以所述大型罐体作为真空镀室的外壁，把罐体扣在镀膜机底盘的真空密封圈上，形成临时的真空镀室的镀膜机。由于该镀膜机需对罐体内壁进行镀膜，所以其电弧靶需设置在罐体内部。本专利技术旨在公开一种能驱动所述电弧靶升降运动，并适时作抬头运动的电弧靶升降抬头机构。
技术实现思路
本专利技术的专利技术目的是提供一种能驱动电弧靶升降运动，并适时作抬头运动的电弧靶升降抬头机构。本专利技术的专利技术目的通过如下技术方案实现：一种电弧靶升降抬头机构，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；所述升降架为一竖立支架，所述升降台可沿所述升降架上、下移动地安装在所述升降架上；所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件包括电弧靶，所述弧靶组件安装在所述弧靶支承组件的前端，所述弧靶支承组件则以其中部铰接在所述升降台上，并保持水平；所述限位器安装在所述升降架的顶部；所述驱动机构通过所述传动机构与所述升降台相连；所述驱动机构通过所述传动机构，驱动所述升降台沿所述升降架上下升降运动，并在所述升降台上升运动靠近所述升降架的顶部时，所述限位器与所述弧靶支承组件的尾端接触，下压所述弧靶支承组件的尾端，随所述升降台的继续上升，所述限位器使所述弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在所述弧靶支承组件前端的所述弧靶组件抬头运动。驱动机构通过所述传动机构，驱动所述升降台沿所述升降架上下移动，带动所述弧靶组件做上下升降运动，对罐体竖向内部进行镀膜；在弧靶组件靠近所述升降架顶部也即靠近所述罐体顶部时，限位器通过阻止所述弧靶支承组件的尾端继续上升，而使弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，从而驱动所述弧靶组件抬头运动，与所述罐体的弧形封顶盖相对，对罐体的弧形封顶盖进行仰角镀膜。所述传动机构包括链轮传动机构，所述升降台的两侧分别通过一套双排链条的链轮传动机构拉动而实现上下升降运动，为了使升降台升降时保持平稳不摆动，所述升降台上安装有两套导向滑轮组件，两套所述导向滑轮组件中的滑轮，分别抵靠着，所述升降架上的一竖立工字型钢的两个互相垂直的侧壁，使竖立的升降架为链轮传动机构直线传动导向，从而弥补了链条传动时易摆动的不足，使升降台运动时保持平稳不摆动。在大型罐体内壁镀膜的真空阴极电弧镀膜机中，所述升降架设置在真空镀室内，作为动力由非真空区到真空区传递的优选实施方式：所述升降架下部设有一个与炉内真空环境隔绝，而与炉外连通的非真空腔室，称为升降架大气传动舱，所述传动机构还包括第一传动机构、升降架传动轴，所述驱动机构安装在所述升降架大气传动舱中，所述升降架传动轴旋转密封地安装在所述升降架大气传动舱的侧壁上，且两端水平穿出，所述驱动机构通过所述第一传动机构与所述升降架传动轴相连，驱动所述升降架传动轴旋转，所述升降架传动轴跨越非真空区到真空区，将所述驱动机构的动力传递到真空区，所述升降架传动轴的两端分别通过所述链轮传动机构与所述升降台的两侧相连，从而驱动所述升降台上下升降运动。所述弧靶组件(镀膜时，位于炉内的真空镀室中)包括若干所述电弧靶，还包括一弧靶安装座，若干所述电弧靶集中安装在所述弧靶安装座上，所述弧靶安装座为一密闭箱体，所述电弧靶被密封安装在该密闭箱体的端面上，所述密闭箱体连通有一波纹管，所述密闭箱体和所述波纹管形成一与炉内真空环境隔离的引线通道。该引线通道用于在真空镀室内形成一条与真空环境隔离的非真空通道，以便电弧靶的水、电、气线路由此通道引出，巧妙又尽量简单的解决真空区内运动的弧靶组件的水、电、气线路的连接和密封问题。所述升降架上附有铜制拖链，所述波纹管等附在所述拖链上，当所述电弧源组件运动时，所述波纹管随所述拖链运动，拖链对所述波纹管的运动起导向作用。所述弧靶组件只有一个，若干所述电弧靶在所述弧靶安装座上分两列错位排布。只设置一弧靶组件，电弧靶集中设置，利于安排其管线的引入，而两列电弧靶错位排布，则更有利于镀膜均匀。所述弧靶支承组件可伸缩以靠近或远离罐体内壁，从而调整所述弧靶组件镀膜时的靶基距，以便适应不同直径罐体的镀膜。作为所述弧靶支承组件的优选实施方式，所述弧靶支承组件包括弧靶架、靶配重板、两弧靶支撑架抱箍、弧靶支撑架和两支弧靶罩伸缩支承杆，所述弧靶架两侧分别设有一弧靶架套管，两支所述弧靶罩伸缩支承杆并排设置，前端固连所述弧靶安装座，后端先分别穿过一所述弧靶支撑架抱箍后，再分别套入所述弧靶架一侧的所述弧靶架套管内，所述弧靶支撑架抱箍通过所述弧靶支撑架固定在所述弧靶架上，所述弧靶架套管上设有用于定位所述弧靶罩伸缩支承杆的紧定结构，所述靶配重板安装在所述弧靶架的尾端，其位置可调节，以平衡弧靶架另一端靶弧组件的重量，使电弧源组件保持水平；所述弧靶架通过水平的铰轴铰接在所述升降台上。作为所述限位器的优选实施方式：所述限位器是安装在所述升降架顶部的一个框架，该框架下端设置有轴承，在所述升降台足够靠近时，所述限位器通过其轴承与所述升降台上安装的弧靶支承组件的尾端滚动接触。相比于现有技术，本专利技术具有如下有益效果：1)本专利技术电弧靶升降抬头机构能驱动电弧靶升降运动，并适时作抬头运动，可实现对大型罐体内壁的无死角镀膜；2)本专利技术通过设计分别抵靠着竖立的升降架中工字型钢的两个呈互相垂直的侧壁的两组滑轮组，使竖立的升降架为链轮传动机构中的链条导向，弥补了链条传动时摆动幅度大的不足，使升降台运动时保持平稳不摆动；3)本专利技术仅设置一个弧靶组件，电弧靶集中安装，接线简单；弧靶组件的电弧靶密封安装在密闭箱体式的弧靶安装座上，密闭箱体通过波纹管连通炉外，在真空的镀室内形成一条与外界连通的非真空接线通道，电弧靶的电缆、控制电路、压缩空气管、水管均由该接线通道导出与炉外相应部分连接，巧妙地解决了通入真空环境中的处于运动状态的电线、水管、气管的密封难题；4)本专利技术弧靶支承组件可伸缩以靠近或远离罐体内壁，即可调整所述弧靶组件镀膜时的靶基距，以便适应不同直径罐体的镀膜；5)本专利技术驱动机构可方便可靠的将动力从非真空区传递到真空区。附图说明图1为本专利技术所涉及的大型罐体内壁镀膜用真空阴极电弧镀膜机的结构示意图；图2为图1中Ⅰ处放大图，展示机架连接绝缘结构；图3为图1中Ⅱ处放大图，展示外电机传动部分的结构；图4为图3中Ⅱ-Ⅰ处放大图，展示外传动装置的结构；图5a为图3中Ⅱ-Ⅱ处转盘托轮组件的侧视图；图5b为图3中Ⅱ-Ⅱ处转盘托轮组件的俯视图；图6为图3中Ⅱ-Ⅲ处放大图，展示转盘靠位压轮的结构；图7a为本专利技术电弧靶升降抬头机构的正视图；图7b为电弧靶升降抬头机构的侧视图；图8为图7a中Ⅲ处的放大图，展示支撑靶轴承位；图9为图7b中Ⅳ处的放大图，展示升降台的升降传动装置；图10为图9中Ⅳ-Ⅰ处升降台调节轮的仰视图；图11为图9中Ⅳ-Ⅱ处升降台的导向滑轮的结构示意图；图12为图7a中Ⅴ处的放大图，展示限位器的结构；图13为图7a中Ⅵ处的放大图，展示升降台传动副链轮的结构；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电弧靶升降抬头机构，其特征在于，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；所述升降架为一竖立支架，所述升降台可沿所述升降架上、下移动地安装在所述升降架上；所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件包括电弧靶，所述弧靶组件安装在所述弧靶支承组件的前端，所述弧靶支承组件则以其中部铰接在所述升降台上，并保持水平；所述限位器安装在所述升降架的顶部；所述驱动机构通过所述传动机构与所述升降台相连；所述驱动机构通过所述传动机构，驱动所述升降台沿所述升降架上下升降运动，并在所述升降台上升运动靠近所述升降架的顶部时，所述限位器与所述弧靶支承组件的尾端接触，下压所述弧靶支承组件的尾端，随所述升降台的继续上升，所述限位器使所述弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在所述弧靶支承组件前端的所述弧靶组件抬头运动。

【技术特征摘要】
1.一种电弧靶升降抬头机构，其特征在于，包括升降架、升降台、电弧源组件、限位器，还包括驱动机构和传动机构；所述升降架为一竖立支架，所述升降台可沿所述升降架上、下移动地安装在所述升降架上；所述电弧源组件包括弧靶组件和弧靶支承组件，所述弧靶组件包括电弧靶，所述弧靶组件安装在所述弧靶支承组件的前端，所述弧靶支承组件则以其中部铰接在所述升降台上，并保持水平；所述限位器安装在所述升降架的顶部；所述驱动机构通过所述传动机构与所述升降台相连；所述驱动机构通过所述传动机构，驱动所述升降台沿所述升降架上下升降运动，并在所述升降台上升运动靠近所述升降架的顶部时，所述限位器与所述弧靶支承组件的尾端接触，下压所述弧靶支承组件的尾端，随所述升降台的继续上升，所述限位器使所述弧靶支承组件的前端像高低板一样仰起，驱使安装在所述弧靶支承组件前端的所述弧靶组件抬头运动。2.根据权利要求1所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述传动机构包括链轮传动机构，所述升降台的两侧分别通过一套双排链条的链轮传动机构拉动而实现上下升降运动，所述升降台上安装有两套导向滑轮组件，两套所述导向滑轮组件中的滑轮，分别抵靠着，所述升降架上的一竖立工字型钢的两个互相垂直的侧壁。3.根据权利要求2所述的电弧靶升降抬头机构，其特征在于，所述升降架下部设有一个与炉内真空环境隔绝，而与炉外连通的非真空腔室，称为升降架大气传动舱，所述传动机构还包括第一传动机构、升降架传动轴，所述驱动机构安装在所述升降架大气传动舱中，所述升降架传动轴旋转密封地安装在所述升降架大气传动舱的侧壁上，且两端水平穿出，所述驱动机构通过所述第一传动机构与所述升降架传动轴相连，驱动所述升降架传动轴旋转，所述升降架传动轴跨越非真空区到真空区，将所述驱动机构的动力传递到真空区，所述升降架传动轴的两端分别通过所述链轮传动机构与所述升降台的两侧相连，从而驱动所述升...

【专利技术属性】
技术研发人员：李志荣，冯晓庭，潘锐华，陸创程，魏艳玲，
申请(专利权)人：东莞市汇成真空科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44