一种铝板加工用多弧型离子镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种铝板加工用多弧型离子镀膜机，包括真空室，真空室的外表面上设有小多弧源和电磁控大面积弧源，真空室的竖向中心上设有柱弧源，真空室的底端设有旋转靶台，旋转靶台的左右两端均设有工件架，真空室的底端两侧分别设有真空抽气系统和送气系统，真空室底部设有中空容纳间，中空容纳间内设有伺候旋转电机，旋转靶台底部中心位置处设有柱形孔，绕柱形孔外设有导向套筒，伺候旋转电机连接有旋转杆，旋转杆穿过真空室底端铆接在柱形孔内，导向套筒与旋转杆之间通过卡箍固定，旋转靶台上设有套接孔，工件架通过若干个第一轴承安装在套接孔内，结构简单，镀膜稳定，提高真空室内各点成膜的一致性和镀膜的效率，提升了镀膜的成品率。

A multi arc ion plating machine for aluminum plate processing

The invention discloses a multi arc ion plating machine for aluminum processing, which comprises a vacuum chamber, a vacuum chamber is arranged on the outer surface of the small arc source and electromagnetic control large arc source, a vertical vacuum chamber is provided with a column arc source, vacuum chamber at the bottom of a rotary target table, left and right ends rotating targets with the workpiece frame, the bottom end of the vacuum chamber are respectively arranged on both sides of the vacuum pumping system and gas supply system, vacuum chamber at the bottom of a hollow hold, hold in a hollow serve rotating rotary motor, the center of the bottom of the target position is provided with a cylindrical hole, around the cylindrical hole is provided with a guide sleeve, serve rotating motor is connected to the rotation rod, rotary rod through the vacuum chamber at the bottom of the column in the rivet hole, clamps between the guide sleeve and rotating shaft, rotating the target platform provided with a sheathing hole, the workpiece frame by a plurality of first bearing. In the casing hole, the structure is simple, the coating is stable, the uniformity of the film forming and the efficiency of the coating are improved, and the yield of the coating is improved.

【技术实现步骤摘要】
一种铝板加工用多弧型离子镀膜机
本专利技术涉及铝板加工
，具体为一种铝板加工用多弧型离子镀膜机。
技术介绍
电弧离子镀作为制备各种功能膜与装饰膜的主流技术，在近十年获得了长足的发展，它已被广泛应用于工业生产中的各种刀、模具等耐磨损材料的表面强化及日常生活中各种金属制品、工艺品的表面美化工艺。作为离子镀的关键技术——弧源技术也得到了飞速发展。目前在铝板加工时，需要对其表面连续镀制各种多层膜及复合化合物膜，以对铝板起到保护的作用，但是在镀膜的过程中，由于旋转力度和转速的因素，导致镀膜的效率低，而且成膜不稳定，导致铝板上的镀膜层不均匀，严重的降低了镀膜的成品率，并且由于只是旋转靶台的旋转，导致对旋转动力的需求大，耗费大量的电能。
技术实现思路
为了克服现有技术方案的不足，本专利技术提供一种铝板加工用多弧型离子镀膜机，结构简单，镀膜稳定，提高了真空室内各点成膜的一致性，间接起到铝板加工时稳弧的作用，提高了镀膜的效率，提升了镀膜的成品率，节约成本，可以有效解决
技术介绍
中的问题。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种铝板加工用多弧型离子镀膜机，包括真空室1，所述真空室1的内表面上设有小多弧源2和电磁控大面积弧源3，且在真空室1的竖向中心上设有柱弧源4，所述真空室1的底端设有旋转靶台5，所述旋转靶台5的左右两端均设有工件架6，在真空室1的底端两侧还分别设有真空抽气系统7和送气系统8；所述真空室1底部设有中空容纳间9，所述中空容纳间9内设有伺候旋转电机10，所述旋转靶台5底部中心位置处设有柱形孔11，绕所述柱形孔11外设有导向套筒12，所述伺候旋转电机10连接有旋转杆13，所述旋转杆13穿过所述真空室1底端，且旋转杆13铆接在所述柱形孔11内，所述导向套筒12与所述旋转杆13之间通过卡箍14固定，所述旋转靶台5上设有套接孔15，所述工件架6通过若干个第一轴承16固定安装在所述套接孔15内。作为本专利技术一种优选的技术方案，所述真空室1呈空腔的双层圆柱筒结构，所述真空室1由双层不锈钢制作而成，所述小多弧源2和电磁控大面积弧源3安装在所述真空室1内层外表面。作为本专利技术一种优选的技术方案，所述小多弧源2和电磁控大面积弧源3均关于真空室1的轴线对称分布，且在小多弧源2和电磁控大面积弧源3的外侧端部固定安装有弧源反射挡片20。作为本专利技术一种优选的技术方案，所述真空抽气系统7和送气系统8关于所述旋转靶台5呈对称分布在所述旋转靶台5的两侧。作为本专利技术一种优选的技术方案，所述导向套筒12与真空室1底端连接处设有第二轴承17，所述第二轴承17的外圈上设有若干间隔均匀分布的C字扣18，并且所述第二轴承17的外圈上还设有填充防滑橡胶19。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，镀膜稳定，通过对旋转靶台摩擦和稳定性的改善，提高真空室内各点成膜的一致性，间接起到铝板加工时稳弧的作用，另外工件架在旋转靶台旋转的时候实现自转，从而提高了镀膜的效率，提升了镀膜的成品率，节约能量和加工成本，值得推广。附图说明图1为本专利技术的整体正视图结构示意图；图2为图1中A的放大结构示意图；图3为本专利技术的第二轴承结构示意图。图中：1-真空室；2-小多弧源；3-电磁控大面积弧源；4-柱弧源；5-旋转靶台；6-工件架；7-真空抽气系统；8-送气系统；9-中空容纳间；10-伺候旋转电机；11-柱形孔；12-导向套筒；13-旋转杆；14-卡箍；15-套接孔；16-第一轴承；17-第二轴承；18-C字扣；19-填充防滑橡胶；20-弧源反射挡片。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。以下各实施例的说明是参考附图，用以示例本专利技术可以用以实施的特定实施例。本专利技术所提到的方向和位置用语，例如「上」、「中」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向和位置。因此，使用的方向和位置用语是用以说明及理解本专利技术，而非用以限制本专利技术。实施例：如图1至图3所示，本专利技术提供了一种铝板加工用多弧型离子镀膜机，包括真空室1，所述真空室1的表面上设有小多弧源2和电磁控大面积弧源3，所述真空室1呈空腔圆柱筒结构，所述真空室1由双层不锈钢制作而成，所述真空室1的夹层之间设有水冷夹层，所述水冷夹层绕所述真空室1内层分布，所述小多弧源2和电磁控大面积弧源3安装在所述真空室1内层外表面，所述小多弧源2和电磁控大面积弧源3均滚阿玉真空室1的轴线对称分布，且在小多弧源2和电磁控大面积弧源3的外侧端部固定安装有弧源反射挡片20，所述真空室1上端的竖向中心位置设有柱弧源4，所述真空室1的底端设有旋转靶台5，所述旋转靶台5的左右两端均设有工件架6，所述真空室1的底端两侧还分别设有真空抽气系统7和送气系统8，所述真空抽气系统7和送气系统8以所述旋转靶台5的中心点对称分布在所述旋转靶台5的两侧。所述真空室1底部设有中空容纳间9，所述中空容纳间9内设有伺候旋转电机10，所述旋转靶台5底部中心位置处设有柱形孔11，绕所述柱形孔11外设有导向套筒12，所述伺候旋转电机10连接有旋转杆13，所述旋转杆13穿过所述真空室1底端铆接在所述柱形孔11内，所述导向套筒12与所述旋转杆13之间通过卡箍14固定，所述卡箍14用以将导向套筒12与旋转杆13固定在一起，使得旋转靶台5在旋转的时候结构稳定，旋转力度均匀，所述旋转靶台5上设有套接孔15，所述工件架6通过若干个第一轴承16安装在所述套接孔15内，所述第一轴承16分别安装在工件架6的底端，以及工件架6与旋转靶台5上表面交接处。优选的是，所述导向套筒12与真空室1底端连接处设有第二轴承17，所述第二轴承17的外圈上设有若干间隔均匀分布的C字扣18，并且所述第二轴承17的外圈上还设有填充防滑橡胶19，所述C字扣18可以与真空室1底端的上下表面之间固定，填充防滑橡胶19用以增大与真空室1之间的摩擦，防止发生滑动，增加第二轴承17的稳定性，从而增加旋转靶台5的旋转稳定性，而且减少导向套筒12旋转时的摩擦力，有效实现节能的效果。综上所述，本专利技术的主要特点在于：本专利技术结构简单，镀膜稳定，通过对旋转靶台摩擦和稳定性的改善，使用第二轴承，减少旋转杆与真空室底部的摩擦系数，从而实现节能，另外旋转杆与旋转靶台之间稳固连接，使得旋转稳定，并且旋转各表面力度大小相同，提高真空室内各点成膜的一致性，间接起到铝板加工时稳弧的作用，另外工件架通过第一轴承的时候，工件架在旋转靶台旋转的时候实现自转，从而提高了镀膜的效率，提升了镀膜的成品率，值得推广。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本专利技术。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本专利技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本专利技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种铝板加工用多弧型离子镀膜机，包括真空室（1），其特征在于：所述真空室（1）的内表面上设有小多弧源（2）和电磁控大面积弧源（3），且在真空室（1）的竖向中心上设有柱弧源（4），所述真空室（1）的底端设有旋转靶台（5），所述旋转靶台（5）的左右两端均设有工件架（6），在真空室（1）的底端两侧还分别设有真空抽气系统（7）和送气系统（8）；所述真空室（1）底部设有中空容纳间（9），所述中空容纳间（9）内设有伺候旋转电机（10），所述旋转靶台（5）底部中心位置处设有柱形孔（11），绕所述柱形孔（11）外设有导向套筒（12），所述伺候旋转电机（10）连接有旋转杆（13），所述旋转杆（13）穿过所述真空室（1）底端，且旋转杆（13）铆接在所述柱形孔（11）内，所述导向套筒（12）与所述旋转杆（13）之间通过卡箍（14）固定，所述旋转靶台（5）上设有套接孔（15），所述工件架（6）通过若干个第一轴承（16）固定安装在所述套接孔（15）内。

【技术特征摘要】
1.一种铝板加工用多弧型离子镀膜机，包括真空室（1），其特征在于：所述真空室（1）的内表面上设有小多弧源（2）和电磁控大面积弧源（3），且在真空室（1）的竖向中心上设有柱弧源（4），所述真空室（1）的底端设有旋转靶台（5），所述旋转靶台（5）的左右两端均设有工件架（6），在真空室（1）的底端两侧还分别设有真空抽气系统（7）和送气系统（8）；所述真空室（1）底部设有中空容纳间（9），所述中空容纳间（9）内设有伺候旋转电机（10），所述旋转靶台（5）底部中心位置处设有柱形孔（11），绕所述柱形孔（11）外设有导向套筒（12），所述伺候旋转电机（10）连接有旋转杆（13），所述旋转杆（13）穿过所述真空室（1）底端，且旋转杆（13）铆接在所述柱形孔（11）内，所述导向套筒（12）与所述旋转杆（13）之间通过卡箍（14）固定，所述旋转靶台（5）上设有套接孔（15），所述工件架（6）通过若干个第一轴承（16）固定安装在所述套接孔（15）内。2.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：东莞产权交易中心，
类型：发明
国别省市：广东,44